Sistem galas udara granit digunakan secara meluas dalamketepatan ultraplatform gerakan untuk pembuatan semikonduktor, penjajaran optik dan metrologi skala nanometer.
Sistem ini menghapuskan sentuhan mekanikal dengan menggunakan filem udara bertekanan nipis, mencapai gerakan geseran hampir sifar.
Prinsip Galas Udara
Galas udara beroperasi dengan memasukkan udara termampat antara dua permukaan, membentuk filem udara 2–20 μm.
Ini menghapuskan:
- Geseran mekanikal
- Pakai
- Tingkah laku tergelincir
Sistem ini bergantung pada dinamik filem bendalir dan aliran laminar yang stabil.
Peranan Granit
Granit menyediakan:
- Kestabilan struktur
- Penindasan hanyutan terma
- Redaman getaran
Ia berfungsi sebagai asas rujukan mekanikal untuk sistem gerakan.
Komponen Sistem
- Asas granit
- Pad galas udara
- Sistem bekalan udara
- Pengekod ketepatan
- Sistem kawalan gerakan
Ciri-ciri Prestasi
Prestasi tipikal termasuk:
- Ketepatan kedudukan sub-mikron
- Kelurusan yang tinggi dalam perjalanan jauh
- Sifar tindak balas mekanikal
Sumber ralat utama termasuk ketidakstabilan tekanan udara, hanyutan terma dan ralat pengekod.
Aplikasi
- Pemeriksaan wafer semikonduktor
- Sistem litografi
- Platform penjajaran optik
- Mesin metrologi canggih
Soalan Lazim
Adakah galas udara haus?
Tiada sentuhan mekanikal menghilangkan haus.
Mengapa menggunakan granit?
Untuk kestabilan dan redaman getaran.
Apa yang mengehadkan ketepatan?
Kestabilan udara dan kesan terma.
Bolehkah mereka membawa beban berat?
Ya, bergantung pada reka bentuk.
Masa siaran: 03-Julai-2026