Bahan

♦ Alumina (Al2O3)

Bahagian keramik ketepatan yang dihasilkan oleh ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) boleh diperbuat daripada bahan mentah seramik dengan ketulenan tinggi, 92 ~ 97% alumina, 99.5% alumina,> 99.9% alumina, dan penekanan isostatik sejuk CIP. Pemanasan suhu tinggi dan pemesinan ketepatan, ketepatan dimensi ± 0.001mm, kelancaran hingga Ra0.1, penggunaan suhu hingga 1600 darjah. Warna seramik yang berbeza dapat dibuat mengikut kehendak pelanggan, seperti: hitam, putih, kuning air, merah tua, dan lain-lain. Bahagian seramik ketepatan yang dihasilkan oleh syarikat kami tahan terhadap suhu tinggi, kakisan, keausan dan penebat, dan boleh digunakan untuk masa yang lama dalam persekitaran suhu tinggi, vakum dan gas yang menghakis.

Digunakan secara meluas dalam pelbagai peralatan pengeluaran semikonduktor: Bingkai (pendakap seramik), Substrat (dasar), Lengan / Jambatan (manipulator), Komponen Mekanikal dan Bearing Udara Seramik.

AL2O3

Aplikasi seramik alumina dengan ketulenan tinggi:
1. Digunakan untuk peralatan semikonduktor: chuck vakum seramik, cakera pemotong, cakera pembersih, CHUCK seramik.
2. Bahagian pemindahan wafer: chuck pengendalian wafer, cakera pemotong wafer, cakera pembersih wafer, cawan sedutan pemeriksaan optik wafer.
3. Industri paparan panel rata LED / LCD: muncung seramik, cakera penggiling seramik, PIN LIFT, rel PIN.
4. Komunikasi optik, industri solar: tiub seramik, batang seramik, pencetak skrin seramik papan litar.
5. Bahagian tahan panas dan penebat elektrik: galas seramik.
Pada masa ini, seramik aluminium oksida boleh dibahagikan kepada keramik tinggi dan biasa. Siri seramik aluminium oksida dengan ketulenan tinggi merujuk kepada bahan seramik yang mengandungi lebih daripada 99.9% Al₂O₃. Kerana suhu sinteringnya hingga 1650 - 1990 ° C dan panjang gelombang transmisi 1 ~ 6μm, biasanya diproses menjadi kaca bersatu dan bukan platinum yang dapat dilancarkan: yang boleh digunakan sebagai tiub natrium kerana pemancar cahaya dan ketahanan kakisan terhadap logam alkali. Dalam industri elektronik, ia boleh digunakan sebagai bahan penebat frekuensi tinggi untuk substrat IC. Mengikut kandungan aluminium oksida yang berbeza, siri seramik aluminium oksida biasa boleh dibahagikan kepada 99 seramik, 95 seramik, 90 seramik dan 85 seramik. Kadang kala, seramik dengan 80% atau 75% aluminium oksida juga dikelaskan sebagai siri seramik aluminium oksida biasa. Antaranya, 99 bahan seramik aluminium oksida digunakan untuk menghasilkan pelindung suhu tinggi, tiub relau tahan api dan bahan tahan haus khas, seperti galas seramik, penutup seramik dan plat injap. 95 seramik aluminium digunakan terutamanya sebagai bahagian tahan pakai yang tahan kakisan. 85 seramik sering dicampurkan dalam beberapa sifat, dengan itu meningkatkan prestasi elektrik dan kekuatan mekanikal. Ia boleh menggunakan molibdenum, niobium, tantalum dan meterai logam lain, dan beberapa digunakan sebagai alat vakum elektrik.

 

Item Kualiti (Nilai Perwakilan) Nama Produk AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
Komposisi Kimia Sintering Rendah Sodium Mudah H₂O % 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
LOl % 0.1 0.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Fe₂0₃ % 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
SiO₂ % 0.03 0.03 0.03 0.03 0.02 0.04 0.04
Na₂O % 0.04 0.04 0.04 0.04 0.02 0.04 0.03
MgO * % - 0.11 0.05 0.05 - - -
Al₂0₃ % 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9
Diameter Zarah Sederhana (MT-3300, kaedah analisis laser) μm 0.44 0.43 0.39 0.47 1.1 2.2 3
Saiz Kristal μm 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 ~ 1.0 0.3 ~ 4 0.3 ~ 4
Membentuk Ketumpatan ** g / cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
Ketumpatan Sintering ** g / cm³ 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
Pengecutan Kadar Garisan Sintering ** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO tidak termasuk dalam pengiraan kesucian Al₂O₃.
* Tanpa serbuk penskalaan 29.4MPa (300kg / cm²), suhu sintering adalah 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: Tambahkan 0,05 ~ 0,1% MgO, kebolehpecahan sangat baik, jadi ia boleh digunakan untuk seramik aluminium oksida dengan kemurnian lebih dari 99%.
AES-22S: Disifatkan oleh kepadatan pembentukan tinggi dan kadar penyusutan garis penyusutan yang rendah, ia dapat digunakan untuk pemutus bentuk slip dan produk berskala besar lain dengan ketepatan dimensi yang diperlukan.
AES-23 / AES-31-03: Ia mempunyai ketumpatan pembentukan yang lebih tinggi, thixotropy dan kelikatan yang lebih rendah daripada AES-22S. bekas digunakan untuk seramik sementara yang kedua digunakan sebagai pengurang air untuk bahan tahan api, semakin popular.

♦ Ciri-ciri Silicon Carbide (SiC)

Ciri Umum Kesucian komponen utama (% berat) 97
Warna Hitam
Ketumpatan (g / cm³) 3.1
Penyerapan air (%) 0
Ciri-ciri Mekanikal Kekuatan lenturan (MPa) 400
Modulus muda (GPa) 400
Kekerasan Vickers (GPa) 20
Ciri-ciri terma Suhu operasi maksimum (° C) 1600
Pekali pengembangan haba RT ~ 500 ° C 3.9
(1 / ° C x 10-6) RT ~ 800 ° C 4.3
Kekonduksian terma (W / m x K) 130 110
Rintangan kejutan termal ΔT (° C) 300
Ciri-ciri Elektrik Kerintangan isipadu 25 ° C 3 x 106
300 ° C -
500 ° C -
800 ° C -
Pemalar dielektrik 10GHz -
Kehilangan dielektrik (x 10-4) -
Faktor Q (x 104) -
Voltan kerosakan dielektrik (KV / mm) -

20200507170353_55726

♦ Seramik Nitrida Silikon

Bahan Unit Si₃N₄
Kaedah Pensinteran - Tekanan Gas Disinter
Ketumpatan g / cm³ 3.22
Warna - Kelabu gelap
Kadar Penyerapan Air % 0
Modulus Muda Gpa 290
Kekerasan Vickers Gpa 18 - 20
Kekuatan mampatan Mak 2200
Kekuatan Lenturan Mak 650
Kekonduksian terma W / mK 25
Rintangan Kejutan Termal Δ (° C) 450 - 650
Suhu Operasi Maksimum ° C 1200
Ketahanan Isipadu Ω · cm > 10 ^ 14
Pemalar Dielektrik - 8.2
Kekuatan Dielektrik kV / mm 16