♦Alumina(Al2O3)
Bahagian seramik jitu yang dihasilkan oleh ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) boleh diperbuat daripada bahan mentah seramik berketulenan tinggi, 92~97% alumina, 99.5% alumina, >99.9% alumina, dan pengepresan isostatik sejuk CIP. Sintering suhu tinggi dan pemesinan jitu, ketepatan dimensi ± 0.001mm, kelancaran sehingga Ra0.1, menggunakan suhu sehingga 1600 darjah. Pelbagai warna seramik boleh dibuat mengikut keperluan pelanggan, seperti: hitam, putih, kuning air, merah gelap, dll. Bahagian seramik jitu yang dihasilkan oleh syarikat kami tahan terhadap suhu tinggi, kakisan, haus dan penebat, dan boleh digunakan untuk masa yang lama dalam persekitaran suhu tinggi, vakum dan gas yang menghakis.
Digunakan secara meluas dalam pelbagai peralatan pengeluaran semikonduktor: Kerangka (pendakap seramik), Substrat (tapak), Lengan/Jambatan (manipulator), Komponen Mekanikal dan Galas Udara Seramik.
| Nama Produk | Tiub/Paip/Rod Seramik Segiempat Pusingan Tinggi Alumina 99 | |||||
| Indeks | Unit | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99.5% Al2O3 | |
| Ketumpatan | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| Penyerapan Air | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| Suhu Sintered | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| Kekerasan | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Kekuatan Lenturan (20 ℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Kekuatan Mampatan | Kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Suhu Kerja Lama | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| Suhu Kerja Maks. | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| Kerintangan Isipadu | 20℃ | Ω. cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
Penggunaan seramik alumina ketulenan tinggi:
1. Digunakan untuk peralatan semikonduktor: chuck vakum seramik, cakera pemotong, cakera pembersih, CHUCK seramik.
2. Bahagian pemindahan wafer: chuck pengendalian wafer, cakera pemotong wafer, cakera pembersih wafer, cawan sedutan pemeriksaan optik wafer.
3. Industri paparan panel rata LED / LCD: muncung seramik, cakera pengisaran seramik, PIN ANGKAT, rel PIN.
4. Komunikasi optik, industri solar: tiub seramik, rod seramik, pengikis seramik percetakan skrin papan litar.
5. Bahagian tahan haba dan penebat elektrik: galas seramik.
Pada masa ini, seramik aluminium oksida boleh dibahagikan kepada seramik ketulenan tinggi dan seramik biasa. Siri seramik aluminium oksida ketulenan tinggi merujuk kepada bahan seramik yang mengandungi lebih daripada 99.9% Al₂O₃. Disebabkan suhu pensinterannya sehingga 1650 - 1990°C dan panjang gelombang penghantarannya 1 ~ 6μm, ia biasanya diproses menjadi kaca terlakur dan bukannya mangkuk pijar platinum: yang boleh digunakan sebagai tiub natrium kerana transmisi cahaya dan rintangan kakisannya terhadap logam alkali. Dalam industri elektronik, ia boleh digunakan sebagai bahan penebat frekuensi tinggi untuk substrat IC. Mengikut kandungan aluminium oksida yang berbeza, siri seramik aluminium oksida biasa boleh dibahagikan kepada 99 seramik, 95 seramik, 90 seramik dan 85 seramik. Kadangkala, seramik dengan 80% atau 75% aluminium oksida juga dikelaskan sebagai siri seramik aluminium oksida biasa. Antaranya, bahan seramik aluminium oksida 99 digunakan untuk menghasilkan tiub relau kalis api, mangkuk pijar suhu tinggi dan bahan tahan haus khas, seperti galas seramik, pengedap seramik dan plat injap. Seramik aluminium 95 digunakan terutamanya sebagai bahagian tahan haus yang tahan kakisan. Seramik 85 sering dicampurkan dalam beberapa sifat, sekali gus meningkatkan prestasi elektrik dan kekuatan mekanikal. Ia boleh menggunakan molibdenum, niobium, tantalum dan pengedap logam lain, dan ada yang digunakan sebagai peranti vakum elektrik.
| Item Berkualiti (Nilai Perwakilan) | Nama Produk | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Komposisi Kimia Produk Sintering Mudah Natrium Rendah | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| LOl | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| SiO₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| Na₂O | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| MgO* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| Diameter Zarah Sederhana (MT-3300, kaedah analisis laser) | μm | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| Saiz Kristal α | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| Ketumpatan Pembentukan** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Ketumpatan Sintering** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| Kadar Pengecutan Talian Sintering** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MgO tidak termasuk dalam pengiraan ketulenan Al₂O₃.
* Tiada serbuk penskalaan 29.4MPa (300kg/cm²), suhu pensinteran ialah 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Tambah 0.05 ~ 0.1% MgO, kebolehsinterannya sangat baik, jadi ia boleh digunakan untuk seramik aluminium oksida dengan ketulenan lebih daripada 99%.
AES-22S: Dicirikan oleh ketumpatan pembentukan yang tinggi dan kadar pengecutan garisan pensinteran yang rendah, ia sesuai untuk tuangan bentuk gelincir dan produk berskala besar lain dengan ketepatan dimensi yang diperlukan.
AES-23 / AES-31-03: Ia mempunyai ketumpatan pembentukan, tiksotropi dan kelikatan yang lebih rendah daripada AES-22S. AES-22S digunakan untuk seramik manakala AES-22S digunakan sebagai pengurang air untuk bahan kalis api, dan ini semakin popular.
♦Ciri-ciri Silikon Karbida (SiC)
| Ciri-ciri Umum | Ketulenan komponen utama (wt%) | 97 | |
| Warna | Hitam | ||
| Ketumpatan (g/cm³) | 3.1 | ||
| Penyerapan air (%) | 0 | ||
| Ciri-ciri Mekanikal | Kekuatan lenturan (MPa) | 400 | |
| Modulus muda (GPa) | 400 | ||
| Kekerasan Vickers (GPa) | 20 | ||
| Ciri-ciri Terma | Suhu operasi maksimum (°C) | 1600 | |
| Pekali pengembangan haba | RT~500°C | 3.9 | |
| (1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 | |
| Kekonduksian terma (W/m x K) | 130 110 | ||
| Rintangan kejutan haba ΔT (°C) | 300 | ||
| Ciri-ciri Elektrik | Kerintangan isipadu | 25°C | 3 x 106 |
| 300°C | - | ||
| 500°C | - | ||
| 800°C | - | ||
| Pemalar dielektrik | 10GHz | - | |
| Kerugian dielektrik (x 10-4) | - | ||
| Faktor Q (x 104) | - | ||
| Voltan kerosakan dielektrik (KV/mm) | - | ||
♦Seramik Silikon Nitrida
| Bahan | Unit | Si₃N₄ |
| Kaedah Sintering | - | Tekanan Gas Disinter |
| Ketumpatan | g/cm³ | 3.22 |
| Warna | - | Kelabu Gelap |
| Kadar Penyerapan Air | % | 0 |
| Modulus Muda | PNGK | 290 |
| Kekerasan Vickers | PNGK | 18 - 20 |
| Kekuatan Mampatan | Mpa | 2200 |
| Kekuatan Lenturan | Mpa | 650 |
| Kekonduksian Terma | W/mK | 25 |
| Rintangan Kejutan Terma | Δ (°C) | 450 - 650 |
| Suhu Operasi Maksimum | °C | 1200 |
| Kerintangan Isipadu | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
| Pemalar Dielektrik | - | 8.2 |
| Kekuatan Dielektrik | kV/mm | 16 |