Bahan - seramik

♦ Alumina (AL2O3)

Bahagian seramik ketepatan yang dihasilkan oleh Kumpulan Pembuatan Pintar Zhonghui (ZHHIMG) boleh diperbuat daripada bahan mentah seramik yang tinggi, 92 ~ 97% alumina, 99.5% alumina,> 99.9% alumina, dan CIP Cold isostatic menekan. Sintering suhu tinggi dan pemesinan ketepatan, ketepatan dimensi ± 0.001mm, kelancaran sehingga RA0.1, gunakan suhu sehingga 1600 darjah. Warna -warna seramik yang berbeza boleh dibuat mengikut keperluan pelanggan, seperti: hitam, putih, kuning air, merah gelap, dan lain -lain. Bahagian seramik ketepatan yang dihasilkan oleh syarikat kami tahan terhadap suhu tinggi, kakisan, haus dan penebat, dan boleh digunakan untuk masa yang lama dalam suhu tinggi, vakum dan persekitaran gas yang menghakis.

Digunakan secara meluas dalam pelbagai peralatan pengeluaran semikonduktor: bingkai (pendakap seramik), substrat (asas), lengan/ jambatan (manipulator), komponen mekanikal dan galas udara seramik.

Al2O3

Nama produk Kemurnian Tinggi 99 Alumina Seramik Square Tube / Pipa / Rod
Indeks Unit 85 % AL2O3 95 % AL2O3 99 % AL2O3 99.5 % AL2O3
Ketumpatan g/cm3 3.3 3.65 3.8 3.9
Penyerapan air % <0.1 <0.1 0 0
Suhu sintered 1620 1650 1800 1800
Kekerasan Mohs 7 9 9 9
Kekuatan lentur (20 ℃)) MPA 200 300 340 360
Kekuatan mampatan KGF/CM2 10000 25000 30000 30000
Suhu kerja lama 1350 1400 1600 1650
Maks. Suhu kerja 1450 1600 1800 1800
Resistiviti volum 20 ℃ Ω. cm3 > 1013 > 1013 > 1013 > 1013
100 ℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300 ℃ > 109 > 1010 > 1012 > 1012

Permohonan Seramik Alumina Kemurnian Tinggi:
1.
2. Bahagian pemindahan wafer: Wafer mengendalikan chucks, cakera pemotongan wafer, cakera pembersihan wafer, cawan sedutan pemeriksaan optik wafer.
3. LED / LCD Flat Panel Paparan Industri: muncung seramik, cakera pengisaran seramik, pin angkat, kereta api pin.
4. Komunikasi Optik, Industri Suria: Tiub Seramik, Rod Seramik, Percetakan Skrin Skrin Litar Skrap Seramik.
5. Bahagian-bahagian yang tahan panas dan elektrik penebat: galas seramik.
Pada masa ini, seramik aluminium oksida boleh dibahagikan kepada kesucian tinggi dan seramik biasa. Siri seramik aluminium oksida yang tinggi merujuk kepada bahan seramik yang mengandungi lebih daripada 99.9% Al₂o₃. Kerana suhu sintering sehingga 1650 - 1990 ° C dan panjang gelombang penghantarannya 1 ~ 6μm, ia biasanya diproses ke dalam kaca bersatu dan bukannya platinum crucible: yang boleh digunakan sebagai tiub natrium disebabkan oleh transmisi cahaya dan ketahanan kakisannya terhadap logam alkali. Dalam industri elektronik, ia boleh digunakan sebagai bahan penebat frekuensi tinggi untuk substrat IC. Menurut kandungan aluminium oksida yang berlainan, siri seramik aluminium oksida biasa boleh dibahagikan kepada 99 seramik, 95 seramik, 90 seramik dan 85 seramik. Kadang -kadang, seramik dengan 80% atau 75% aluminium oksida juga diklasifikasikan sebagai siri seramik aluminium oksida biasa. Antaranya, 99 bahan seramik aluminium oksida digunakan untuk menghasilkan tiub relau yang boleh diselaraskan dengan suhu tinggi dan bahan-bahan tahan haus khas, seperti galas seramik, meterai seramik dan plat injap. 95 Seramik Aluminium terutamanya digunakan sebagai bahagian tahan haus yang tahan karat. 85 Seramik sering dicampur dalam beberapa sifat, dengan itu meningkatkan prestasi elektrik dan kekuatan mekanikal. Ia boleh menggunakan molibdenum, niobium, tantalum dan meterai logam lain, dan ada yang digunakan sebagai peranti vakum elektrik.

 

Item Kualiti (Nilai Wakil) Nama produk AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
Komposisi Kimia Produk Sintering Mudah H₂o % 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Lol % 0.1 0.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Fe₂0₃ % 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
Sio₂ % 0.03 0.03 0.03 0.03 0.02 0.04 0.04
Na₂o % 0.04 0.04 0.04 0.04 0.02 0.04 0.03
Mgo* % - 0.11 0.05 0.05 - - -
Al₂0₃ % 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9
Diameter zarah sederhana (MT-3300, kaedah analisis laser) μm 0.44 0.43 0.39 0.47 1.1 2.2 3
α saiz kristal μm 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 ~ 1.0 0.3 ~ 4 0.3 ~ 4
Membentuk ketumpatan ** g/cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
Ketumpatan sintering ** g/cm³ 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
Kadar Pengecatan Talian Sintering ** % 17 17 18 18 15 12 7

* MGO tidak termasuk dalam pengiraan kesucian Al₂o₃.
* Tiada serbuk skala 29.4mpa (300kg/cm²), suhu sintering ialah 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: Tambah 0.05 ~ 0.1% MGO, kebolehpercayaan sangat baik, jadi ia boleh digunakan untuk seramik aluminium oksida dengan kesucian lebih daripada 99%.
AES-22S: dicirikan oleh ketumpatan yang tinggi dan kadar penyusutan rendah garis sintering, ia boleh digunakan untuk slip borang pemutus dan produk berskala besar lain dengan ketepatan dimensi yang diperlukan.
AES-23 / AES-31-03: Ia mempunyai ketumpatan pembentukan yang lebih tinggi, thixotropy dan kelikatan yang lebih rendah daripada AES-22S. Yang pertama digunakan untuk seramik manakala yang terakhir digunakan sebagai pengurangan air untuk bahan api, mendapat populariti.

♦ Ciri -ciri Silicon Carbide (SIC)

Ciri -ciri umum Kesucian komponen utama (wt%) 97
Warna Hitam
Ketumpatan (g/cm³) 3.1
Penyerapan Air (%) 0
Ciri -ciri mekanikal Kekuatan lentur (MPA) 400
Modulus Muda (GPA) 400
Kekerasan Vickers (GPA) 20
Ciri -ciri terma Suhu operasi maksimum (° C) 1600
Pekali pengembangan haba RT ~ 500 ° C. 3.9
(1/° C x 10-6) RT ~ 800 ° C. 4.3
Kekonduksian terma (w/m x k) 130 110
Rintangan kejutan haba ΔT (° C) 300
Ciri -ciri elektrik Resistiviti volum 25 ° C. 3 x 106
300 ° C. -
500 ° C. -
800 ° C. -
Pemalar dielektrik 10GHz -
Kerugian dielektrik (x 10-4) -
Faktor Q (x 104) -
Voltan Kerosakan Dielektrik (KV/MM) -

20200507170353_55726

♦ Silicon nitride seramik

Bahan Unit Si₃n₄
Kaedah sintering - Tekanan gas sintered
Ketumpatan g/cm³ 3.22
Warna - Kelabu gelap
Kadar penyerapan air % 0
Modulus muda GPA 290
Kekerasan Vickers GPA 18 - 20
Kekuatan mampatan MPA 2200
Kekuatan lentur MPA 650
Kekonduksian terma W/mk 25
Rintangan kejutan terma Δ (° C) 450 - 650
Suhu operasi maksimum ° C. 1200
Resistiviti volum Ω · cm > 10 ^ 14
Pemalar dielektrik - 8.2
Kekuatan dielektrik kV/mm 16