♦Alumina(Al2O3)
Bahagian seramik ketepatan yang dihasilkan oleh ZhongHui Intelligent Manufacturing Group(ZHHIMG) boleh dibuat daripada bahan mentah seramik ketulenan tinggi, 92~97% alumina, 99.5% alumina, >99.9% alumina, dan penekan isostatik sejuk CIP.Pensinteran suhu tinggi dan pemesinan ketepatan, ketepatan dimensi ± 0.001mm, kelancaran sehingga Ra0.1, gunakan suhu sehingga 1600 darjah.Warna seramik yang berbeza boleh dibuat mengikut keperluan pelanggan, seperti: hitam, putih, kuning air, merah gelap, dan lain-lain. Bahagian seramik ketepatan yang dihasilkan oleh syarikat kami adalah tahan terhadap suhu tinggi, kakisan, haus dan penebat, dan boleh digunakan untuk masa yang lama dalam suhu tinggi, vakum dan persekitaran gas menghakis.
Digunakan secara meluas dalam pelbagai peralatan pengeluaran semikonduktor: Bingkai (kurungan seramik), Substrat (asas), Lengan/ Jambatan (manipulator), , Komponen Mekanikal dan Galas Udara Seramik.
| Nama Produk | Ketulenan Tinggi 99 Alumina Ceramic Square Tiub / Paip / Rod | |||||
| Indeks | Unit | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99.5 % Al2O3 | |
| Ketumpatan | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| Penyerapan air | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| Suhu Tersinter | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| Kekerasan | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Kekuatan Lentur (20 ℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Kekuatan mampatan | Kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Suhu Kerja Lama | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| Maks.Suhu bekerja | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| Kerintangan Isipadu | 20 ℃ | Ω.cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
Penggunaan seramik alumina ketulenan tinggi:
1. Digunakan pada peralatan semikonduktor: chuck vakum seramik, cakera pemotong, cakera pembersih, CHUCK seramik.
2. Bahagian pemindahan wafer: chuck pengendalian wafer, cakera pemotong wafer, cakera pembersihan wafer, cawan sedutan pemeriksaan optik wafer.
3. Industri paparan panel rata LED / LCD: muncung seramik, cakera pengisar seramik, PIN LIFT, rel PIN.
4. Komunikasi optik, industri solar: tiub seramik, rod seramik, papan litar pencetak skrin pengikis seramik.
5. Bahagian tahan haba dan penebat elektrik: galas seramik.
Pada masa ini, seramik aluminium oksida boleh dibahagikan kepada ketulenan tinggi dan seramik biasa.Siri seramik aluminium oksida ketulenan tinggi merujuk kepada bahan seramik yang mengandungi lebih daripada 99.9% Al₂O₃.Oleh kerana suhu pensinterannya sehingga 1650 - 1990°C dan panjang gelombang penghantarannya 1 ~ 6μm, ia biasanya diproses menjadi kaca bercantum dan bukannya pijar platinum: yang boleh digunakan sebagai tiub natrium kerana penghantaran cahaya dan rintangan kakisan kepada logam alkali.Dalam industri elektronik, ia boleh digunakan sebagai bahan penebat frekuensi tinggi untuk substrat IC.Mengikut kandungan aluminium oksida yang berbeza, siri seramik aluminium oksida biasa boleh dibahagikan kepada 99 seramik, 95 seramik, 90 seramik dan 85 seramik.Kadangkala, seramik dengan 80% atau 75% aluminium oksida juga dikelaskan sebagai siri seramik aluminium oksida biasa.Antaranya, 99 bahan seramik aluminium oksida digunakan untuk menghasilkan pijar suhu tinggi, tiub relau kalis api dan bahan tahan haus khas, seperti galas seramik, pengedap seramik dan plat injap.Seramik aluminium 95 digunakan terutamanya sebagai bahagian tahan haus yang tahan karat.85 seramik sering dicampur dalam beberapa sifat, dengan itu meningkatkan prestasi elektrik dan kekuatan mekanikal.Ia boleh menggunakan molibdenum, niobium, tantalum dan pengedap logam lain, dan sesetengahnya digunakan sebagai peranti vakum elektrik.
| Item Kualiti (Nilai Perwakilan) | Nama Produk | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Komposisi Kimia Produk Pensinteran Mudah Natrium Rendah | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| LOL | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| SiO₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| Na₂O | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| MgO* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| Diameter Zarah Sederhana (MT-3300, kaedah analisis laser) | μm | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α Saiz Kristal | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| Membentuk Ketumpatan** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Ketumpatan Pensinteran** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| Kadar Pengecutan Talian Pensinteran** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MgO tidak termasuk dalam pengiraan ketulenan Al₂O₃.
* Tiada serbuk penskala 29.4MPa (300kg/cm²), suhu pensinteran ialah 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Tambah 0.05 ~ 0.1% MgO, kebolehsinteran adalah sangat baik, jadi ia boleh digunakan untuk seramik aluminium oksida dengan ketulenan lebih daripada 99%.
AES-22S: Dicirikan oleh ketumpatan pembentukan tinggi dan kadar pengecutan rendah garis pensinteran, ia boleh digunakan untuk tuangan bentuk gelincir dan produk berskala besar lain dengan ketepatan dimensi yang diperlukan.
AES-23 / AES-31-03: Ia mempunyai ketumpatan pembentukan yang lebih tinggi, thixotropy dan kelikatan yang lebih rendah daripada AES-22S.yang pertama digunakan untuk seramik manakala yang kedua digunakan sebagai pengurang air untuk bahan kalis api, semakin popular.
♦Ciri-ciri Silikon Karbida (SiC).
| Ciri-ciri Umum | Ketulenan komponen utama (wt%) | 97 | |
| Warna | Hitam | ||
| Ketumpatan (g/cm³) | 3.1 | ||
| Penyerapan air (%) | 0 | ||
| Ciri-ciri Mekanikal | Kekuatan lentur (MPa) | 400 | |
| Modulus muda (GPa) | 400 | ||
| Kekerasan Vickers (GPa) | 20 | ||
| Ciri-ciri Terma | Suhu operasi maksimum (°C) | 1600 | |
| Pekali pengembangan terma | RT~500°C | 3.9 | |
| (1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 | |
| Kekonduksian terma (W/m x K) | 130 110 | ||
| Rintangan kejutan terma ΔT (°C) | 300 | ||
| Ciri-ciri Elektrik | Kerintangan isipadu | 25°C | 3 x 106 |
| 300°C | - | ||
| 500°C | - | ||
| 800°C | - | ||
| Pemalar dielektrik | 10GHz | - | |
| Kehilangan dielektrik (x 10-4) | - | ||
| Faktor Q (x 104) | - | ||
| Voltan kerosakan dielektrik (KV/mm) | - | ||
♦Silikon Nitrida Seramik
| bahan | Unit | Si₃N₄ |
| Kaedah Pensinteran | - | Tekanan Gas Tersinter |
| Ketumpatan | g/cm³ | 3.22 |
| Warna | - | Kelabu gelap |
| Kadar Penyerapan Air | % | 0 |
| Modulus Muda | Gpa | 290 |
| Kekerasan Vickers | Gpa | 18 - 20 |
| Kekuatan mampatan | Mpa | 2200 |
| Kekuatan Lentur | Mpa | 650 |
| Kekonduksian terma | W/mK | 25 |
| Rintangan Kejutan Terma | Δ (°C) | 450 - 650 |
| Suhu Operasi Maksimum | °C | 1200 |
| Kerintangan Isipadu | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
| Pemalar Dielektrik | - | 8.2 |
| Kekuatan Dielektrik | kV/mm | 16 |