Dalam bidang pembuatan semikonduktor, kebersihan persekitaran bilik bersih secara langsung mempengaruhi kadar hasil pengeluaran wafer dan prestasi cip. 5 kilang fabrikasi wafer TERBAIK di dunia semuanya telah menghentikan penggunaan bahan besi tuang tradisional secara berperingkat dan beralih kepada platform granit. Di sebalik transformasi ini terletak usaha muktamad untuk mencapai persekitaran sifar pencemaran dalam bilik bersih. Platform granit, dengan ciri-cirinya sendiri, telah menunjukkan kelebihan yang tiada tandingan dalam bilik bersih dan telah menjadi kegemaran baharu kilang fabrikasi wafer.
"Kecacatan maut" bahan besi tuang di bilik bersih
Besi tuang, sebagai bahan perindustrian tradisional, pernah mempunyai kelebihan tertentu dari segi sifat mekanikal, tetapi ia mempunyai banyak masalah dalam persekitaran bilik bersih semikonduktor. Pertama, mikrostruktur permukaan besi tuang tidak padat, dengan sejumlah besar liang dan retakan kecil yang tidak dapat dilihat dengan mata kasar. Semasa operasi harian bilik bersih, liang-liang ini sangat mudah menyerap habuk, kesan minyak dan pelbagai bahan pencemar kimia, menjadi tempat persembunyian sumber pencemaran. Sebaik sahaja bahan pencemar terkumpul, semasa operasi pembuatan wafer yang tepat, ia mungkin jatuh dan melekat pada permukaan wafer, menyebabkan masalah kualiti yang serius seperti litar pintas dan litar terbuka dalam cip.
Kedua, besi tuang mempunyai kestabilan kimia yang agak lemah. Semasa proses pembuatan wafer, pelbagai reagen kimia menghakis seperti asid hidrofluorik dan asid sulfurik digunakan. Besi tuang terdedah kepada tindak balas pengoksidaan dan kakisan di bawah hakisan bahan kimia ini. Karat dan ion logam yang dihasilkan oleh kakisan bukan sahaja mencemarkan persekitaran bilik bersih tetapi juga boleh menjalani tindak balas kimia dengan bahan pada permukaan wafer, merosakkan sifat fizikal dan kimia wafer dan mengurangkan hasil produk dengan ketara.
Ciri "pencemaran sifar" platform granit
Sebab mengapa platform granit digemari oleh 5 kilang fabrikasi wafer TERBAIK di dunia terletak pada ciri "pencemaran sifar" yang wujud. Granit ialah batu semula jadi yang terbentuk melalui proses geologi selama ratusan juta tahun. Kristal mineral dalamannya terhablur rapat, strukturnya padat dan seragam, dan hampir tiada liang pori pada permukaannya. Struktur unik ini memastikan ia tidak akan menyerap habuk dan bahan cemar. Walaupun dalam gangguan aliran udara yang kerap dan aktiviti kakitangan dan peralatan di dalam bilik bersih, permukaan platform granit masih boleh kekal bersih, mencegah pembiakan dan penyebaran bahan cemar.
Dari segi kestabilan kimia, granit berfungsi dengan sangat baik. Komponen utamanya ialah mineral seperti kuarza dan feldspar. Ia mempunyai sifat kimia yang sangat stabil dan hampir tidak bertindak balas dengan mana-mana reagen kimia biasa. Dalam persekitaran kimia yang kompleks dalam pembuatan wafer, platform granit boleh mengendalikan hakisan pelbagai reagen menghakis dengan mudah, tanpa menghasilkan produk kakisan atau pencemaran ion logam, menyediakan platform asas yang selamat dan bersih untuk pengeluaran wafer. Sementara itu, granit tidak konduktif dan tidak menghasilkan elektrik statik, sekali gus mengelakkan risiko pencemaran yang disebabkan oleh elektrik statik yang menyerap zarah habuk dan seterusnya memastikan kualiti persekitaran bilik bersih.
Pemilihan bahan dari perspektif kos dan faedah
Walaupun kos perolehan awal platform granit agak tinggi berbanding platform besi tuang, dalam jangka masa panjang, manfaat menyeluruh yang dibawanya jauh melebihi perbezaan kos. Pembersihan dan penyelenggaraan platform besi tuang yang kerap disebabkan oleh masalah pencemaran, serta kerugian besar yang disebabkan oleh peningkatan kadar kecacatan produk, telah mengekalkan kos pengeluaran keseluruhan yang tinggi. Platform granit, dengan kelebihan sifar pencemarannya, mengurangkan kekerapan pembersihan dan penyelenggaraan di bilik bersih dan kadar kecacatan produk dengan ketara, mengurangkan kos operasi, dan meningkatkan kecekapan pengeluaran dan kualiti produk. Ambil sebuah kilang dengan kapasiti pengeluaran tahunan sebanyak satu juta wafer sebagai contoh. Selepas menerima pakai platform granit, ia dapat mengurangkan kerugian yang disebabkan oleh pencemaran sebanyak lebih sepuluh juta yuan setiap tahun, dan pulangan pelaburan adalah sangat besar.
5 kilang fabrikasi wafer global TERBAIK telah meninggalkan besi tuang dan memilih platform granit berdasarkan pertimbangan komprehensif terhadap keperluan persekitaran bilik bersih dan kecekapan pengeluaran. Kelebihan sifar pencemaran platform granit memberikan jaminan yang andal untuk pengeluaran wafer dan memacu pembuatan semikonduktor ke arah ketepatan yang lebih tinggi dan kadar hasil yang lebih tinggi. Dengan perkembangan berterusan teknologi semikonduktor, platform granit pasti akan memainkan peranan yang lebih penting dalam pembuatan wafer pada masa hadapan.
Masa siaran: 14 Mei 2025