Dengan perkembangan teknologi, penggunaan bahagian granit dalam peralatan semikonduktor telah menjadi semakin popular. Granit merupakan pilihan popular untuk digunakan dalam teknologi pemprosesan peralatan semikonduktor kerana banyak manfaatnya. Granit merupakan salah satu bahan yang paling keras dan paling tahan lama yang menjadikannya sesuai untuk digunakan dalam industri pembuatan semikonduktor. Ia merupakan konduktor haba yang sangat baik dan mempunyai pekali pengembangan haba yang sangat rendah yang menjadikannya sesuai untuk digunakan dalam aplikasi suhu tinggi.
Teknologi pemprosesan bahagian granit dalam peralatan semikonduktor melibatkan pelbagai teknik dan proses. Langkah-langkah penting ialah menggilap, mengetsa dan membersihkan permukaan granit. Jenis teknologi pemprosesan yang digunakan bergantung pada aplikasi dan jenis granit yang digunakan.
Penggilapan merupakan aspek kritikal dalam pemprosesan bahagian granit dalam peralatan semikonduktor. Penggilapan permukaan granit pada tahap kelicinan yang tinggi membantu memastikan wafer tidak rosak semasa pemprosesan. Ini mengurangkan kemungkinan pencemaran oleh zarah atau calar pada permukaan wafer. Penggilapan boleh dicapai melalui pelbagai kaedah seperti penggilapan mekanikal, penggilapan kimia dan penggilapan elektrokimia, antara lain.
Pengukiran merupakan satu lagi aspek asas dalam pemprosesan bahagian granit dalam peralatan semikonduktor. Pengukiran digunakan untuk mencipta corak yang diingini pada permukaan bahagian granit. Corak tersebut digunakan dalam pembuatan dan pemprosesan wafer semikonduktor. Terdapat beberapa cara untuk menjalankan pengukiran, termasuk pengukiran plasma, pengukiran kimia basah dan pengukiran kimia kering, antara lain. Jenis proses pengukiran yang digunakan bergantung pada bahan dan corak yang diingini.
Pembersihan permukaan granit juga penting. Proses pembersihan adalah perlu untuk membuang sebarang bahan cemar dari permukaan, seperti zarah dan bendasing lain yang mungkin mengganggu proses pembuatan semikonduktor. Pembersihan boleh dilakukan menggunakan pelbagai kaedah seperti pembersihan ultrasonik, pembersihan kimia atau pembersihan plasma, antara lain.
Kesimpulannya, teknologi pemprosesan bahagian granit dalam peralatan semikonduktor memainkan peranan penting dalam proses pembuatan semikonduktor. Penggunaan bahagian granit membantu meningkatkan kualiti dan kebolehpercayaan produk akhir. Teknologi pemprosesan melibatkan penggilapan, pengetsaan dan pembersihan permukaan granit. Terdapat pelbagai kaedah yang tersedia untuk setiap langkah, dan jenis teknologi pemprosesan yang digunakan bergantung pada bahan dan corak yang diingini. Dengan menggunakan teknologi pemprosesan yang betul, proses pembuatan semikonduktor boleh dibuat lebih cekap, andal dan kos efektif.
Masa siaran: 19 Mac 2024