Granit adalah bahan yang popular dalam industri pemprosesan wafer kerana sifat mekanikal yang luar biasa dan ketahanannya. Ia adalah batu semula jadi yang dilombong dari kuari di seluruh dunia dan telah digunakan selama berabad -abad untuk pelbagai tujuan pembinaan, termasuk pembuatan peralatan semikonduktor. Dalam artikel ini, kami akan membincangkan sifat -sifat granit dan pelbagai aplikasi dalam peralatan pemprosesan wafer.
Sifat granit
Granit adalah batu igneus yang terdiri daripada mika, feldspar, dan kuarza. Ia terkenal dengan kekuatan, kekerasan, dan ketahanan yang luar biasa, menjadikannya bahan yang ideal untuk aplikasi yang memerlukan ketepatan dan ketepatan yang tinggi. Granit mempunyai pekali pengembangan haba yang rendah, yang bermaksud ia tidak berkembang atau kontrak disebabkan oleh perubahan suhu, menjadikannya sangat stabil. Di samping itu, granit tahan terhadap kakisan dan bahan kimia, yang menjadikannya bahan yang ideal untuk digunakan dalam persekitaran yang keras.
Aplikasi granit dalam peralatan pemprosesan wafer
Granit adalah bahan yang digunakan secara meluas dalam industri pemprosesan wafer kerana kombinasi sifat uniknya. Berikut adalah beberapa aplikasi granit dalam peralatan pemprosesan wafer:
1. Alat Metrologi
Granit biasanya digunakan dalam pembuatan alat metrologi, seperti mesin pengukur koordinat (CMMS) dan sistem pengukuran optik. Alat ini memerlukan permukaan yang stabil yang dapat menahan getaran dan haba. Kekakuan yang tinggi dan pengembangan terma granit yang rendah menjadikannya bahan yang ideal untuk aplikasi tersebut.
2. Wafer Chucks
Wafer Chucks digunakan untuk memegang wafer semasa proses pembuatan. Chuck ini memerlukan permukaan yang rata dan stabil untuk mengelakkan wafer dari melengkung atau membongkok. Granit menyediakan permukaan rata yang sangat stabil dan tahan untuk melengkung, menjadikannya bahan yang sangat baik untuk chuck wafer.
3. Alat penggilap mekanikal kimia (cmp)
Alat CMP digunakan untuk menggilap wafer semasa proses pembuatan. Alat ini memerlukan platform yang stabil yang dapat menahan getaran dan haba. Kekakuan yang sangat baik dan pengembangan terma granit yang rendah menjadikannya bahan yang ideal untuk alat CMP.
4. Peralatan pemeriksaan wafer
Peralatan pemeriksaan wafer digunakan untuk memeriksa wafer untuk kecacatan dan kelemahan. Alat ini memerlukan permukaan yang stabil dan rata untuk memastikan pengukuran yang tepat. Granit menyediakan permukaan yang stabil dan rata yang tahan untuk melengkung, menjadikannya bahan yang ideal untuk peralatan pemeriksaan wafer.
Kesimpulan
Kesimpulannya, granit adalah bahan yang digunakan secara meluas dalam industri pemprosesan wafer kerana sifat -sifat mekanikal yang luar biasa dan ketahanannya. Ia biasanya digunakan dalam pembuatan alat metrologi, chuck wafer, alat cmp, dan peralatan pemeriksaan wafer. Gabungan ciri -ciri unik menjadikannya bahan yang ideal untuk aplikasi yang memerlukan ketepatan dan ketepatan yang tinggi. Dengan banyak faedahnya, granit tetap menjadi pilihan yang popular untuk peralatan pemprosesan wafer, dan penggunaannya mungkin akan terus berkembang pada masa akan datang.
Masa Post: Dec-27-2023