Granit merupakan bahan yang popular dalam industri pemprosesan wafer kerana sifat mekanikal dan ketahanannya yang luar biasa. Ia merupakan batu semula jadi yang dilombong dari kuari di seluruh dunia dan telah digunakan selama berabad-abad untuk pelbagai tujuan pembinaan, termasuk pembuatan peralatan semikonduktor. Dalam artikel ini, kita akan membincangkan sifat-sifat granit dan pelbagai aplikasinya dalam peralatan pemprosesan wafer.
Sifat-sifat Granit
Granit ialah batuan igneus yang terdiri daripada mika, feldspar dan kuarza. Ia dikenali kerana kekuatan, kekerasan dan ketahanannya yang luar biasa, menjadikannya bahan yang ideal untuk aplikasi yang memerlukan ketepatan dan ketepatan yang tinggi. Granit mempunyai pekali pengembangan haba yang rendah, yang bermaksud ia tidak mengembang atau mengecut akibat perubahan suhu, menjadikannya sangat stabil. Selain itu, granit tahan terhadap kakisan dan bahan kimia, yang menjadikannya bahan yang ideal untuk digunakan dalam persekitaran yang keras.
Aplikasi Granit dalam Peralatan Pemprosesan Wafer
Granit merupakan bahan yang digunakan secara meluas dalam industri pemprosesan wafer kerana gabungan sifatnya yang unik. Berikut adalah beberapa aplikasi granit dalam peralatan pemprosesan wafer:
1. Alat Metrologi
Granit biasanya digunakan dalam pembuatan alat metrologi, seperti mesin pengukur koordinat (CMM) dan sistem pengukuran optik. Alat ini memerlukan permukaan yang stabil yang dapat menahan getaran dan haba. Kekakuan yang tinggi dan pengembangan haba yang rendah pada granit menjadikannya bahan yang ideal untuk aplikasi sedemikian.
2. Wafer Chucks
Chuck wafer digunakan untuk memegang wafer semasa proses pembuatan. Chuck ini memerlukan permukaan yang rata dan stabil untuk mengelakkan wafer daripada melengkung atau bengkok. Granit menyediakan permukaan rata yang sangat stabil dan tahan terhadap melengkung, menjadikannya bahan yang sangat baik untuk chuck wafer.
3. Alat Penggilapan Mekanikal Kimia (CMP)
Alat CMP digunakan untuk menggilap wafer semasa proses pembuatan. Alat ini memerlukan platform yang stabil yang dapat menahan getaran dan haba. Kekakuan yang sangat baik dan pengembangan haba granit yang rendah menjadikannya bahan yang ideal untuk alat CMP.
4. Peralatan Pemeriksaan Wafer
Peralatan pemeriksaan wafer digunakan untuk memeriksa wafer untuk kecacatan dan kecacatan. Alat ini memerlukan permukaan yang stabil dan rata bagi memastikan pengukuran yang tepat. Granit menyediakan permukaan yang stabil dan rata yang tahan terhadap lengkungan, menjadikannya bahan yang ideal untuk peralatan pemeriksaan wafer.
Kesimpulan
Kesimpulannya, granit merupakan bahan yang digunakan secara meluas dalam industri pemprosesan wafer kerana sifat mekanikal dan ketahanannya yang luar biasa. Ia biasanya digunakan dalam pembuatan alat metrologi, chuck wafer, alat CMP dan peralatan pemeriksaan wafer. Gabungan sifat unik menjadikannya bahan yang ideal untuk aplikasi yang memerlukan ketepatan dan kejituan yang tinggi. Dengan banyak kelebihannya, granit kekal sebagai pilihan popular untuk peralatan pemprosesan wafer dan penggunaannya berkemungkinan akan terus berkembang pada masa hadapan.
Masa siaran: 27 Dis-2023