Komponen granit digunakan secara meluas dalam peralatan semikonduktor kerana kestabilan dan ketahanannya yang tinggi.Mereka bertanggungjawab untuk mengekalkan ketepatan dan ketepatan proses pembuatan semikonduktor.Walau bagaimanapun, keberkesanan dan kebolehpercayaan komponen granit bergantung pada piawaian dan spesifikasi yang ditegakkan semasa reka bentuk, fabrikasi dan pemasangannya.
Berikut adalah beberapa piawaian dan spesifikasi yang mesti dipatuhi apabila menggunakan komponen granit dalam peralatan semikonduktor:
1. Ketumpatan Bahan: Ketumpatan bahan granit yang digunakan dalam pembuatan komponen granit hendaklah sekitar 2.65g/cm3.Ini adalah ketumpatan bahan granit semulajadi, dan ia memastikan ketekalan dan kebolehpercayaan dalam sifat komponen granit.
2. Kerataan: Kerataan adalah salah satu spesifikasi yang paling penting untuk komponen granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor.Kerataan permukaan granit hendaklah di bawah 0.001 mm/m2.Ini memastikan bahawa permukaan komponen adalah rata dan rata, yang penting untuk proses pembuatan semikonduktor.
3. Kemasan Permukaan: Kemasan permukaan komponen granit hendaklah berkualiti tinggi, dengan kekasaran permukaan di bawah 0.4µm.Ini memastikan bahawa permukaan komponen granit mempunyai pekali geseran yang rendah, yang penting untuk kelancaran operasi peralatan semikonduktor.
4. Pekali Pengembangan Terma: Peralatan semikonduktor beroperasi pada suhu yang berbeza, dan komponen granit sepatutnya dapat menahan turun naik haba tanpa ubah bentuk.Pekali pengembangan haba granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor hendaklah di bawah 2 x 10^-6 /°C.
5. Toleransi Dimensi: Toleransi dimensi adalah penting untuk prestasi komponen granit.Toleransi dimensi komponen granit hendaklah dalam lingkungan ±0.1mm untuk semua dimensi kritikal.
6. Kekerasan dan Rintangan Haus: Kekerasan dan rintangan haus adalah spesifikasi penting untuk komponen granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor.Granit mempunyai kekerasan Mohs Skala 6-7, menjadikannya bahan yang sesuai untuk digunakan dalam aplikasi peralatan semikonduktor.
7. Prestasi Penebat: Komponen granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor harus mempunyai prestasi penebat yang sangat baik untuk mengelakkan kerosakan pada komponen elektronik yang sensitif.Rintangan elektrik hendaklah melebihi 10^9 Ω/cm.
8. Rintangan Kimia: Komponen granit harus tahan kepada bahan kimia biasa yang digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor, seperti asid dan alkali.
Kesimpulannya, piawaian dan spesifikasi untuk komponen granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor adalah penting untuk memastikan jangka hayat dan kebolehpercayaan kedua-dua komponen dan peralatan yang digunakan. Garis panduan di atas hendaklah dipatuhi dengan ketat semasa reka bentuk, fabrikasi dan pemasangan proses untuk memastikan bahawa komponen adalah berkualiti tinggi.Dengan mengikut piawaian dan spesifikasi ini, pengeluar semikonduktor boleh memastikan prestasi peralatan mereka kekal optimum, yang membawa kepada peningkatan produktiviti dan keuntungan.
Masa siaran: Mac-20-2024