Komponen granit digunakan secara meluas dalam peralatan semikonduktor kerana kestabilan dan ketahanannya yang tinggi. Mereka bertanggungjawab untuk mengekalkan ketepatan dan ketepatan proses pembuatan semikonduktor. Walau bagaimanapun, keberkesanan dan kebolehpercayaan komponen granit bergantung kepada piawaian dan spesifikasi yang ditegakkan semasa reka bentuk, fabrikasi, dan pemasangan mereka.
Berikut adalah beberapa piawaian dan spesifikasi yang mesti dipatuhi apabila menggunakan komponen granit dalam peralatan semikonduktor:
1. Ketumpatan Bahan: Ketumpatan bahan granit yang digunakan dalam pembuatan komponen granit harus sekitar 2.65g/cm3. Ini adalah ketumpatan bahan granit semulajadi, dan ia memastikan konsistensi dan kebolehpercayaan dalam sifat -sifat komponen granit.
2. Kebosanan: Kebosanan adalah salah satu spesifikasi yang paling penting untuk komponen granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor. Kebosanan permukaan granit harus di bawah 0.001 mm/m2. Ini memastikan bahawa permukaan komponen adalah rata dan tahap, yang penting untuk proses pembuatan semikonduktor.
3. Kemasan Permukaan: Kemasan permukaan komponen granit harus berkualiti tinggi, dengan kekasaran permukaan di bawah 0.4μm. Ini memastikan bahawa permukaan komponen granit mempunyai pekali geseran yang rendah, yang penting untuk operasi lancar peralatan semikonduktor.
4. Pekali pengembangan haba: Peralatan semikonduktor beroperasi pada suhu yang berbeza, dan komponen granit harus dapat menahan turun naik terma tanpa ubah bentuk. Pekali pengembangan terma granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor hendaklah di bawah 2 x 10^-6 /° C.
5. Toleransi Dimensi: Toleransi dimensi adalah penting untuk prestasi komponen granit. Toleransi dimensi komponen granit harus berada dalam ± 0.1mm untuk semua dimensi kritikal.
6. Kekerasan dan Rintangan Pakai: Kekerasan dan rintangan haus adalah spesifikasi penting untuk komponen granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor. Granit mempunyai kekerasan skala Mohs 6-7, menjadikannya bahan yang sesuai untuk digunakan dalam aplikasi peralatan semikonduktor.
7. Prestasi penebat: Komponen granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor harus mempunyai prestasi penebat yang sangat baik untuk mencegah kerosakan kepada komponen elektronik yang sensitif. Rintangan elektrik harus melebihi 10^9 Ω/cm.
8. Rintangan Kimia: Komponen Granit harus tahan terhadap bahan kimia biasa yang digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor, seperti asid dan alkali.
Kesimpulannya, piawaian dan spesifikasi untuk komponen granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor adalah penting untuk memastikan panjang umur dan kebolehpercayaan kedua -dua komponen dan peralatan yang digunakan. Dengan mengikuti piawaian dan spesifikasi ini, pengeluar semikonduktor dapat memastikan prestasi peralatan mereka tetap optimum, yang membawa kepada peningkatan produktiviti dan keuntungan.
Masa Post: Mar-20-2024