Komponen granit digunakan secara meluas dalam peralatan semikonduktor kerana kestabilan dan ketahanannya yang tinggi. Ia bertanggungjawab untuk mengekalkan ketepatan dan kejituan proses pembuatan semikonduktor. Walau bagaimanapun, keberkesanan dan kebolehpercayaan komponen granit bergantung pada piawaian dan spesifikasi yang ditegakkan semasa reka bentuk, fabrikasi dan pemasangannya.
Berikut adalah beberapa piawaian dan spesifikasi yang mesti dipatuhi apabila menggunakan komponen granit dalam peralatan semikonduktor:
1. Ketumpatan Bahan: Ketumpatan bahan granit yang digunakan dalam pembuatan komponen granit hendaklah sekitar 2.65g/cm3. Ini adalah ketumpatan bahan granit semula jadi, dan ia memastikan konsistensi dan kebolehpercayaan dalam sifat komponen granit.
2. Kerataan: Kerataan merupakan salah satu spesifikasi paling penting untuk komponen granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor. Kerataan permukaan granit hendaklah di bawah 0.001 mm/m2. Ini memastikan permukaan komponen adalah rata dan rata, yang penting untuk proses pembuatan semikonduktor.
3. Kemasan Permukaan: Kemasan permukaan komponen granit hendaklah berkualiti tinggi, dengan kekasaran permukaan di bawah 0.4µm. Ini memastikan permukaan komponen granit mempunyai pekali geseran yang rendah, yang penting untuk kelancaran operasi peralatan semikonduktor.
4. Pekali Pengembangan Terma: Peralatan semikonduktor beroperasi pada suhu yang berbeza, dan komponen granit sepatutnya dapat menahan turun naik terma tanpa ubah bentuk. Pekali pengembangan terma granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor hendaklah di bawah 2 x 10^-6 /°C.
5. Toleransi Dimensi: Toleransi dimensi adalah penting untuk prestasi komponen granit. Toleransi dimensi komponen granit hendaklah dalam lingkungan ±0.1mm untuk semua dimensi kritikal.
6. Kekerasan dan Rintangan Haus: Kekerasan dan rintangan haus adalah spesifikasi penting untuk komponen granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor. Granit mempunyai kekerasan Skala Mohs 6-7, menjadikannya bahan yang sesuai untuk digunakan dalam aplikasi peralatan semikonduktor.
7. Prestasi Penebat: Komponen granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor harus mempunyai prestasi penebat yang sangat baik untuk mencegah kerosakan pada komponen elektronik sensitif. Rintangan elektrik harus melebihi 10^9 Ω/cm.
8. Rintangan Kimia: Komponen granit harus tahan terhadap bahan kimia biasa yang digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor, seperti asid dan alkali.
Kesimpulannya, piawaian dan spesifikasi untuk komponen granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor adalah penting untuk memastikan ketahanan dan kebolehpercayaan kedua-dua komponen dan peralatan yang digunakan. Garis panduan di atas harus dipatuhi dengan ketat semasa proses reka bentuk, fabrikasi dan pemasangan untuk memastikan komponen tersebut berkualiti tinggi. Dengan mematuhi piawaian dan spesifikasi ini, pengeluar semikonduktor dapat memastikan prestasi peralatan mereka kekal optimum, yang membawa kepada peningkatan produktiviti dan keuntungan.
Masa siaran: 20-Mac-2024