Granit telah digunakan secara meluas dalam pembuatan dan reka bentuk peralatan semikonduktor selama bertahun -tahun. Ini disebabkan oleh sifat -sifat yang sangat baik, yang menjadikannya bahan yang ideal untuk banyak aplikasi. Granit sangat tahan memakai, kakisan, dan kejutan terma, yang menjadikannya sesuai untuk digunakan dalam persekitaran yang keras. Dalam artikel ini, kami akan membincangkan beberapa aplikasi biasa granit dalam peralatan semikonduktor.
1. Peralatan Metrologi
Peralatan metrologi digunakan untuk mengukur dimensi dan sifat peranti semikonduktor. Granit sering digunakan sebagai asas untuk peralatan tersebut kerana kestabilan dimensi tinggi. Kebosanan dan ketepatan permukaan granit memberikan rujukan ideal untuk pengukuran yang tepat. Di samping itu, kestabilan terma granit mengurangkan risiko perubahan dimensi disebabkan oleh variasi suhu.
2. Peralatan optik
Granit juga digunakan dalam peralatan optik seperti mesin litografi, yang digunakan dalam fabrikasi peranti semikonduktor. Pangkalan granit menyediakan platform yang stabil untuk optik ketepatan tinggi yang digunakan dalam mesin ini. Ciri -ciri getaran yang sangat baik Granite juga membantu mengurangkan getaran yang boleh menjejaskan prestasi dan ketepatan optik.
3. Peralatan pemprosesan wafer
Pemprosesan wafer semikonduktor melibatkan beberapa langkah, termasuk pembersihan, etsa, dan pemendapan. Granit digunakan dalam beberapa komponen peralatan pemprosesan wafer. Sebagai contoh, granit digunakan sebagai substrat untuk peralatan pemendapan wap kimia (CVD), yang digunakan untuk mendepositkan filem nipis ke wafer silikon. Granit juga digunakan dalam pembinaan bilik etsa dan kapal proses lain, di mana rintangan kimia yang sangat baik dan kestabilan dimensi adalah penting.
4. Peralatan Ujian
Peralatan ujian digunakan untuk mengesahkan prestasi dan kualiti peranti semikonduktor. Granit sering digunakan sebagai asas untuk peralatan ujian kerana ketegaran dan kestabilan yang tinggi. Granit menyediakan platform bukan magnetik dan tidak konduktif yang menghapuskan gangguan dengan peralatan ujian sensitif. Kebosanan dan ketepatan permukaan granit membolehkan hasil ujian yang sangat tepat.
Kesimpulan
Kesimpulannya, granit adalah bahan penting dalam reka bentuk dan pembuatan peralatan semikonduktor. Ciri -ciri yang sangat baik, termasuk kestabilan dimensi, kestabilan terma, rintangan kimia, dan kelembapan getaran, menjadikannya bahan yang ideal untuk banyak aplikasi. Granit digunakan dalam beberapa komponen kritikal peralatan semikonduktor, termasuk peralatan metrologi, peralatan optik, peralatan pemprosesan wafer, dan peralatan ujian. Memandangkan permintaan untuk peranti semikonduktor yang lebih cepat, lebih kecil, dan lebih kuat terus berkembang, penggunaan granit dalam peralatan semikonduktor mungkin tetap penting.
Masa Post: Apr-08-2024