Granit telah digunakan secara meluas dalam pembuatan dan reka bentuk peralatan semikonduktor selama bertahun-tahun.Ini disebabkan oleh sifatnya yang sangat baik, yang menjadikannya bahan yang ideal untuk banyak aplikasi.Granit sangat tahan haus, kakisan dan kejutan haba, yang menjadikannya sesuai untuk digunakan dalam persekitaran yang keras.Dalam artikel ini, kita akan membincangkan beberapa aplikasi biasa granit dalam peralatan semikonduktor.
1. Peralatan Metrologi
Peralatan metrologi digunakan untuk mengukur dimensi dan sifat peranti semikonduktor.Granit sering digunakan sebagai asas untuk peralatan tersebut kerana kestabilan dimensi yang tinggi.Kerataan dan ketepatan permukaan granit memberikan rujukan yang ideal untuk pengukuran yang tepat.Selain itu, kestabilan terma granit mengurangkan risiko perubahan dimensi akibat variasi suhu.
2. Peralatan Optik
Granit juga digunakan dalam peralatan optik seperti mesin litografi, yang digunakan dalam fabrikasi peranti semikonduktor.Pangkalan granit menyediakan platform yang stabil untuk optik berketepatan tinggi yang digunakan dalam mesin ini.Ciri-ciri pelembab getaran granit yang sangat baik juga membantu mengurangkan getaran yang boleh menjejaskan prestasi dan ketepatan optik.
3. Peralatan Pemprosesan Wafer
Pemprosesan wafer semikonduktor melibatkan beberapa langkah, termasuk pembersihan, etsa dan pemendapan.Granit digunakan dalam beberapa komponen peralatan pemprosesan wafer.Sebagai contoh, granit digunakan sebagai substrat untuk peralatan pemendapan wap kimia (CVD), yang digunakan untuk mendepositkan filem nipis pada wafer silikon.Granit juga digunakan dalam pembinaan ruang etsa dan kapal proses lain, di mana rintangan kimia yang sangat baik dan kestabilan dimensi adalah penting.
4. Peralatan Ujian
Peralatan ujian digunakan untuk mengesahkan prestasi dan kualiti peranti semikonduktor.Granit sering digunakan sebagai asas untuk peralatan ujian kerana ketegaran dan kestabilan yang tinggi.Granit menyediakan platform bukan magnet dan tidak konduktif yang menghapuskan gangguan dengan peralatan ujian sensitif.Kerataan dan ketepatan permukaan granit membolehkan keputusan ujian yang sangat tepat.
Kesimpulan
Kesimpulannya, granit merupakan bahan penting dalam reka bentuk dan pembuatan peralatan semikonduktor.Ciri-cirinya yang sangat baik, termasuk kestabilan dimensi, kestabilan terma, rintangan kimia, dan lembapan getaran, menjadikannya bahan yang ideal untuk banyak aplikasi.Granit digunakan dalam beberapa komponen kritikal peralatan semikonduktor, termasuk peralatan metrologi, peralatan optik, peralatan pemprosesan wafer, dan peralatan ujian.Memandangkan permintaan untuk peranti semikonduktor yang lebih pantas, lebih kecil dan lebih berkuasa terus berkembang, penggunaan granit dalam peralatan semikonduktor berkemungkinan kekal penting.
Masa siaran: Apr-08-2024