Granit telah menjadi bahan yang biasa digunakan dalam industri semikonduktor untuk sifat mekanikal yang sangat baik, kestabilan haba, dan pekali pengembangan haba yang rendah.Walau bagaimanapun, dengan permintaan yang semakin meningkat untuk ketepatan dan produktiviti yang lebih tinggi, bahan alternatif telah muncul sebagai pilihan yang berdaya maju untuk fabrikasi komponen peralatan semikonduktor.Dalam artikel ini, kami akan meneroka beberapa bahan alternatif untuk bahagian granit dalam peralatan semikonduktor dan membandingkan kelebihan dan kekurangannya.
Bahan Alternatif untuk Bahagian Granit
1. Bahan kaca-seramik
Bahan kaca-seramik, seperti Zerodur dan Cervit, telah mendapat penggunaan yang meluas dalam industri semikonduktor kerana pekali pengembangan haba yang rendah, yang hampir dengan silikon.Akibatnya, bahan-bahan ini boleh memberikan kestabilan haba yang lebih baik dan ketepatan yang dipertingkatkan dalam proses fabrikasi semikonduktor.Zerodur, khususnya, mempunyai tahap kehomogenan dan kestabilan yang tinggi, menjadikannya sesuai untuk pembuatan peralatan litografi.
Kelebihan:
- Pekali pengembangan haba yang rendah
- Ketepatan dan kestabilan yang tinggi
- Sesuai untuk aplikasi suhu tinggi
Kelemahan:
- Kos yang lebih tinggi berbanding granit
- Agak rapuh, mungkin menimbulkan cabaran dalam pemesinan dan pengendalian
2. Seramik
Bahan seramik, seperti aluminium oksida (Al2O3), silikon karbida (SiC), dan silikon nitrida (Si3N4), mempunyai sifat mekanikal yang sangat baik, rintangan suhu tinggi, dan pekali pengembangan haba yang rendah.Ciri-ciri ini menjadikan seramik sesuai untuk bahagian peralatan semikonduktor yang memerlukan kestabilan dan ketepatan haba yang tinggi, seperti peringkat wafer dan chuck.
Kelebihan:
- Kestabilan dan kekuatan haba yang tinggi
- Pekali pengembangan haba yang rendah
- Rintangan haus yang tinggi dan lengai kimia
Kelemahan:
- Boleh rapuh dan mudah retak, terutamanya semasa pemesinan dan pengendalian
- Pemesinan dan penggilapan seramik boleh mencabar dan memakan masa
3. Logam
Bahan berasaskan logam, seperti keluli tahan karat dan titanium, telah digunakan untuk beberapa bahagian peralatan semikonduktor kerana kebolehmesinan yang sangat baik dan kekuatan tinggi.Ia biasanya digunakan dalam aplikasi di mana kestabilan haba yang tinggi tidak diperlukan, seperti bahagian ruang, gandingan dan suapan.
Kelebihan:
- Kebolehmesinan dan kebolehkimpalan yang baik
- Kekuatan dan kemuluran yang tinggi
- Kos rendah berbanding beberapa bahan alternatif
Kelemahan:
- Pekali pengembangan haba yang tinggi
- Tidak sesuai untuk aplikasi suhu tinggi kerana isu pengembangan haba
- Terdedah kepada kakisan dan pencemaran
Kesimpulan:
Ringkasnya, walaupun granit telah menjadi pilihan popular untuk bahagian peralatan semikonduktor, bahan alternatif telah muncul, masing-masing mempunyai kelebihan dan kekurangan yang unik.Bahan kaca-seramik adalah sangat tepat dan stabil tetapi boleh rapuh.Seramik adalah kuat dan mempunyai kestabilan haba yang sangat baik tetapi juga boleh rapuh, menjadikannya lebih mencabar untuk dihasilkan.Logam adalah murah, boleh dimesin, dan mulur, tetapi ia mempunyai pekali pengembangan terma yang lebih tinggi dan mudah terdedah kepada kakisan dan pencemaran.Apabila memilih bahan untuk peralatan semikonduktor, adalah penting untuk mempertimbangkan keperluan khusus aplikasi dan memilih bahan yang mengimbangi kos, prestasi dan kebolehpercayaan.
Masa siaran: Mac-19-2024