Granit telah menjadi bahan yang biasa digunakan dalam industri semikonduktor untuk sifat mekanik yang sangat baik, kestabilan haba, dan pekali rendah pengembangan haba. Walau bagaimanapun, dengan permintaan yang semakin meningkat untuk ketepatan dan produktiviti yang lebih tinggi, bahan alternatif telah muncul sebagai pilihan yang berdaya maju untuk fabrikasi komponen peralatan semikonduktor. Dalam artikel ini, kami akan meneroka beberapa bahan alternatif untuk bahagian granit dalam peralatan semikonduktor dan membandingkan kelebihan dan kekurangan mereka.
Bahan alternatif untuk bahagian granit
1. Bahan-bahan seramik
Bahan-bahan seramik kaca, seperti zerodur dan servit, telah mendapat penggunaan yang meluas dalam industri semikonduktor kerana pekali pengembangan haba yang rendah, yang hampir dengan silikon. Oleh itu, bahan -bahan ini dapat memberikan kestabilan terma yang lebih baik dan ketepatan yang dipertingkatkan dalam proses fabrikasi semikonduktor. Zerodur, khususnya, mempunyai tahap homogen dan kestabilan yang tinggi, menjadikannya sesuai untuk pembuatan peralatan litografi.
Kelebihan:
- Pekali rendah pengembangan haba
- Ketepatan dan kestabilan yang tinggi
- Sesuai untuk aplikasi suhu tinggi
Kekurangan:
- Kos yang lebih tinggi berbanding granit
- agak rapuh, boleh menimbulkan cabaran dalam pemesinan dan pengendalian
2. Seramik
Bahan seramik, seperti aluminium oksida (Al2O3), silikon karbida (SIC), dan silikon nitrida (SI3N4), mempunyai sifat mekanikal yang sangat baik, rintangan suhu tinggi, dan pekali pengembangan terma yang rendah. Ciri -ciri ini menjadikan seramik sesuai untuk bahagian peralatan semikonduktor yang memerlukan kestabilan dan ketepatan haba yang tinggi, seperti tahap wafer dan chuck.
Kelebihan:
- Kestabilan dan kekuatan terma yang tinggi
- Koefisien pengembangan haba yang rendah
- Rintangan haus tinggi dan keterukan kimia
Kekurangan:
- boleh rapuh dan terdedah kepada retak, terutamanya semasa pemesinan dan pengendalian
- Pemesinan dan penggilap seramik boleh mencabar dan memakan masa
3. Logam
Bahan berasaskan logam, seperti keluli tahan karat dan titanium, telah digunakan untuk beberapa bahagian peralatan semikonduktor kerana kebolehkerjaan dan kekuatan tinggi mereka. Mereka biasanya digunakan dalam aplikasi di mana kestabilan haba yang tinggi tidak diperlukan, seperti bahagian ruang, gandingan, dan makanan.
Kelebihan:
- kebolehkerjaan dan kebolehkalasan yang baik
- Kekuatan dan kemuluran yang tinggi
- Kos rendah berbanding dengan beberapa bahan alternatif
Kekurangan:
- Koefisien pengembangan terma tinggi
- Tidak sesuai untuk aplikasi suhu tinggi kerana masalah pengembangan terma
- terdedah kepada kakisan dan pencemaran
Kesimpulan:
Ringkasnya, sementara granit telah menjadi pilihan yang popular untuk bahagian peralatan semikonduktor, bahan alternatif telah muncul, masing -masing dengan kelebihan dan kekurangan yang unik. Bahan-bahan seramik kaca sangat tepat dan stabil tetapi boleh rapuh. Seramik kuat dan mempunyai kestabilan terma yang sangat baik tetapi juga boleh rapuh, menjadikan mereka lebih mencabar untuk menghasilkan. Logam adalah murah, boleh disesuaikan, dan mulur, tetapi mereka mempunyai pekali pengembangan haba yang lebih tinggi dan mudah terdedah kepada kakisan dan pencemaran. Apabila memilih bahan untuk peralatan semikonduktor, adalah penting untuk mempertimbangkan keperluan khusus aplikasi dan memilih bahan yang mengimbangi kos, prestasi, dan kebolehpercayaan.
Masa Post: Mar-19-2024