,
Dalam bidang pembuatan semikonduktor, peralatan pemeriksaan optik automatik (AOI) memainkan peranan penting dalam memastikan kualiti cip. Walaupun sedikit peningkatan dalam ketepatan pengesanannya boleh membawa perubahan besar kepada keseluruhan industri. Pangkalan peralatan, sebagai komponen utama, mempunyai kesan yang mendalam terhadap ketepatan pengesanan. Dalam beberapa tahun kebelakangan ini, revolusi dalam bahan asas telah melanda industri. Granit, dengan prestasi penindasan getarannya yang cemerlang, telah menggantikan secara beransur-ansur bahan besi tuang tradisional dan menjadi kegemaran baharu peralatan pemeriksaan AOI. Kecekapan penindasan getarannya telah meningkat sebanyak 92% berbanding besi tuang. Apakah penemuan teknologi dan perubahan industri yang terletak di sebalik data ini? ,
Keperluan ketat untuk getaran dalam peralatan pemeriksaan AOI semikonduktor
Proses pembuatan cip semikonduktor telah memasuki era skala nano. Semasa proses pemeriksaan AOI, walaupun getaran yang sangat kecil boleh menyebabkan penyelewengan dalam keputusan pemeriksaan. Calar halus, lompang dan kecacatan lain pada permukaan cip selalunya berada pada tahap mikrometer atau malah nanometer. Kanta optik peralatan pengesanan perlu menangkap butiran ini dengan ketepatan yang sangat tinggi. Sebarang getaran yang dihantar oleh tapak akan menyebabkan lensa beralih atau bergoncang, mengakibatkan pemerolehan imej kabur dan dengan itu menjejaskan ketepatan pengecaman kecacatan.
Bahan besi tuang pernah digunakan secara meluas dalam pangkalan peralatan pemeriksaan AOI kerana ia mempunyai kekuatan dan prestasi pemprosesan tertentu, dan kosnya agak rendah. Walau bagaimanapun, dari segi penindasan getaran, besi tuang mempunyai kelemahan yang jelas. Struktur dalaman besi tuang mengandungi sejumlah besar kepingan grafit, yang bersamaan dengan lompang kecil di dalam dan mengganggu kesinambungan bahan. Apabila peralatan beroperasi dan menjana getaran, atau terganggu oleh getaran persekitaran luaran, tenaga getaran tidak dapat dilemahkan dengan berkesan dalam besi tuang tetapi sentiasa dipantulkan dan ditindih antara kepingan grafit dan matriks, mengakibatkan perambatan getaran berterusan. Eksperimen yang berkaitan menunjukkan bahawa selepas asas besi tuang teruja oleh getaran luaran, masa pengecilan getaran boleh bertahan selama beberapa saat, yang akan memberi kesan serius terhadap ketepatan pengesanan dalam tempoh ini. Di samping itu, modulus keanjalan besi tuang agak rendah. Di bawah tindakan jangka panjang graviti peralatan dan tekanan getaran, ia terdedah kepada ubah bentuk, menggiatkan lagi penghantaran getaran. ,
Rahsia di sebalik peningkatan 92% dalam kecekapan penindasan getaran asas granit
Granit, sebagai sejenis batu semula jadi, telah membentuk struktur dalaman yang sangat padat dan seragam melalui proses geologi selama ratusan juta tahun. Ia terutamanya terdiri daripada kristal mineral seperti kuarza dan feldspar digabungkan rapat, dan ikatan kimia antara kristal adalah kuat dan stabil. Struktur ini memberikan granit dengan keupayaan penindasan getaran yang luar biasa. Apabila getaran dihantar ke pangkalan granit, kristal mineral di dalamnya dengan cepat boleh menukar tenaga getaran kepada tenaga haba dan menghilangkannya. Kajian menunjukkan bahawa redaman granit adalah beberapa kali lebih tinggi daripada besi tuang, yang bermaksud ia boleh menyerap tenaga getaran dengan lebih cekap, mengurangkan amplitud dan tempoh getaran. Selepas ujian profesional, di bawah keadaan pengujaan getaran yang sama, masa pengecilan getaran asas granit hanya 8% daripada besi tuang, dan kecekapan penindasan getaran telah meningkat sebanyak 92%. ,
Kekerasan tinggi dan modulus keanjalan tinggi granit juga menyumbang dengan ketara. Kekerasan yang tinggi memastikan asas kurang berkemungkinan berubah bentuk apabila menanggung berat peralatan dan kesan daya luaran, dan sentiasa mengekalkan keadaan sokongan yang stabil. Modulus anjal yang tinggi memastikan tapak boleh kembali ke bentuk asalnya dengan cepat apabila mengalami getaran, mengurangkan pengumpulan getaran. Di samping itu, granit mempunyai kestabilan haba yang sangat baik dan hampir tidak terjejas oleh perubahan suhu persekitaran, mengelakkan pengembangan haba dan ubah bentuk penguncupan yang disebabkan oleh turun naik suhu, seterusnya memastikan kestabilan prestasi penindasan getaran. ,
Transformasi dan Prospek Industri Dibawa oleh asas granit
Peralatan pemeriksaan AOI dengan asas granit telah meningkatkan ketepatan pengesanannya dengan ketara. Ia boleh mengenal pasti kecacatan dalam cip bersaiz lebih kecil dengan pasti, mengurangkan kadar salah sangka kepada dalam 1% dan meningkatkan kadar hasil pengeluaran cip dengan ketara. Sementara itu, kestabilan peralatan telah dipertingkatkan, mengurangkan bilangan penutupan untuk penyelenggaraan yang disebabkan oleh isu getaran, memanjangkan hayat perkhidmatan peralatan dan mengurangkan kos operasi keseluruhan. ,
Masa siaran: 14-Mei-2025