Dalam bidang pembuatan berteknologi tinggi seperti semikonduktor dan paparan optoelektronik, peralatan pengesanan tatasusunan memikul tanggungjawab yang besar untuk mengawal kualiti produk, dengan ketepatannya sehingga mencapai tahap mikrometer. Tapak granit, sebagai sokongan teras peralatan, memainkan peranan penting dalam ketepatan pengesanan. Penyelenggaraan saintifik tapak granit telah menjadi kunci untuk memastikan operasi peralatan yang stabil.
Pembersihan harian asas granit adalah sangat penting. Habuk sisa, kesan minyak atau reagen pengesanan pada permukaan semuanya boleh menjejaskan prob atau laluan optik. Adalah disyorkan untuk menggunakan kain bebas habuk yang dicelup dalam air ternyahion untuk mengelap permukaan setiap hari bagi menghilangkan bahan cemar zarah. Bagi kesan minyak degil, detergen neutral harus digunakan untuk rawatan bagi mengelakkan penggunaan asid atau alkali kuat untuk menghakis granit. Pada masa yang sama, setiap minggu, periksa bahagian sambungan seperti suntikan gam dan bolt, gantikan jalur pengedap sambungan yang telah lama tepat pada masanya, dan ketatkan semula bolt dengan sepana tork.
Faktor persekitaran mempunyai kesan yang ketara terhadap tapak mesin granit. Walaupun pekali pengembangan haba granit agak rendah, suhu di bengkel masih perlu dikekalkan pada 23±1℃, dengan turun naik tidak lebih daripada 0.5℃ sejam, dan kelembapan relatif harus dikawal pada 45%-60%. Di samping itu, sumber getaran tidak boleh diletakkan di sekitar tapak mesin. Pad pengasingan getaran boleh dipasang dan aliran udara harus dikawal untuk mengelakkan kelajuan angin yang berlebihan daripada mengganggu pengukuran.
Penyelenggaraan profesional juga penting. Setiap tahun, institusi profesional harus diamanahkan untuk menentukur ketepatan tapak mesin, termasuk pengesanan petunjuk seperti kerataan, kestabilan terma, dan pelemahan getaran. Selepas digunakan dalam senario khas, jika ia bersentuhan dengan cecair menghakis, adalah perlu untuk membilasnya tepat pada masanya dan mengambil langkah perlindungan. Selepas tempoh downtime yang lama, apabila menghidupkan semula peralatan, adalah perlu untuk menjalankannya dalam keadaan terbiar untuk tempoh masa tertentu terlebih dahulu untuk menghapuskan pengumpulan tekanan.
Melalui kaedah penyelenggaraan saintifik, jangka hayat asas granit dapat dipanjangkan dengan berkesan, memastikan operasi peralatan pengesanan tatasusunan yang berketepatan tinggi. Bagi industri pembuatan berteknologi tinggi yang mengejar kualiti terbaik, mementingkan penyelenggaraan asas mesin granit adalah untuk melindungi kualiti produk dan daya saing perusahaan.
Masa siaran: 12 Jun 2025