Dalam bidang pembuatan mewah dan penyelidikan saintifik canggih, platform pergerakan terapung udara tekanan statik ketepatan merupakan peralatan utama untuk mencapai operasi ultra-ketepatan. Tapak ketepatan granit merupakan bahagian sokongan teras platform, dan prestasinya berkait rapat dengan persekitaran kerja. Memahami dan memenuhi keperluan persekitaran ini bukan sahaja dapat memastikan operasi platform yang berketepatan tinggi, tetapi juga merupakan bahagian penting perusahaan untuk meningkatkan daya saingnya dalam bidang berkaitan, yang diterangkan secara terperinci di bawah.
1. Suhu: kawalan tepat untuk memastikan kestabilan dimensi
Walaupun granit dikenali kerana kestabilannya, pekali pengembangan habanya bukanlah sifar, dan perubahan suhu yang kecil masih boleh menjejaskan ketepatan dimensinya. Secara amnya, pekali pengembangan haba granit ialah 5-7 ×10⁻⁶/℃. Dalam senario aplikasi platform pergerakan terapung udara tekanan statik ketepatan, perubahan kecil ini diperkuatkan oleh platform, yang boleh menyebabkan sisihan ketepatan pergerakan. Contohnya, dalam proses pembuatan cip semikonduktor, proses litografi untuk keperluan ketepatan kedudukan tahap danami, turun naik suhu ambien sebanyak 1°C, panjang sisi asas granit 1 meter boleh menghasilkan pengembangan atau pengecutan linear 5-7 mikron, yang cukup untuk menjadikan sisihan corak litografi cip, mengurangkan hasil. Oleh itu, platform terapung udara tekanan statik ketepatan yang dilengkapi dengan asas ketepatan granit, suhu persekitaran kerja yang ideal harus dikawal ketat pada 20°C ±1°C, perusahaan boleh memasang sistem penyaman udara suhu malar ketepatan tinggi, memantau dan melaraskan suhu ambien secara berterusan dengan tepat, mengekalkan kestabilan saiz asas granit, untuk memastikan operasi platform ketepatan tinggi.
2. kelembapan: kawalan yang munasabah, melindungi prestasi asas
Kelembapan juga mempunyai kesan yang ketara terhadap asas granit jitu. Dalam persekitaran kelembapan yang tinggi, granit mudah menyerap wap air, dan mungkin terdapat pemeluwapan pada permukaan, yang bukan sahaja akan mengganggu operasi normal sistem pengapungan udara, tetapi juga menyebabkan hakisan jangka panjang permukaan granit, mengurangkan ketepatan dan jangka hayatnya. Mengambil bengkel pengisaran kanta optik sebagai contoh, jika kelembapan lebih tinggi daripada 60%RH untuk jangka masa yang lama, wap air yang terserap pada permukaan asas granit akan memusnahkan keseragaman filem apungan udara, mengakibatkan penurunan ketepatan pengisaran kanta dan kecacatan permukaan. Oleh itu, kelembapan relatif persekitaran kerja perlu dikawal antara 40%-60%RH. Perusahaan boleh menggunakan penyahlembap, sensor kelembapan dan peralatan lain untuk memantau dan mengawal kelembapan dalam masa nyata, mewujudkan persekitaran kelembapan yang sesuai untuk asas granit jitu, dan memastikan operasi platform pergerakan apungan udara tekanan statik jitu yang stabil.
3. kebersihan: kawalan ketat, hapuskan gangguan zarah
Zarah-zarah habuk adalah "musuh" platform pergerakan terapung udara tekanan statik yang tepat, dan mendatangkan mudarat yang besar kepada tapak ketepatan granit. Sebaik sahaja zarah-zarah kecil memasuki jurang filem gas antara gelangsar terapung gas dan tapak granit, ia boleh memusnahkan keseragaman filem gas, meningkatkan geseran, malah menggaru permukaan tapak, sekali gus menjejaskan ketepatan pergerakan platform dengan serius. Dalam bengkel pemesinan ultra-ketepatan bahagian aeroangkasa, jika zarah-zarah habuk di udara jatuh ke atas tapak granit, trajektori gerakan alat pemesinan mungkin terpesong, sekali gus menjejaskan ketepatan pemesinan bahagian-bahagian tersebut. Oleh itu, kawasan kerja harus dijaga kebersihannya dan mencapai piawaian kebersihan 10,000 atau lebih tinggi. Perusahaan boleh menapis zarah-zarah habuk di udara dengan memasang penapis udara kecekapan tinggi (HEPA), dan mewajibkan kakitangan memakai pakaian bebas habuk, penutup kasut, dan sebagainya, untuk mengurangkan habuk yang dibawa oleh manusia, dan mengekalkan persekitaran operasi ketepatan tinggi tapak granit dan platform pergerakan terapung udara tekanan statik yang tepat.
4. Getaran: Pengasingan yang berkesan untuk mewujudkan ruang yang lancar
Getaran luaran akan mengganggu ketepatan platform terapung udara tekanan statik ketepatan dengan serius, walaupun tapak granit ketepatan mempunyai kapasiti pelemahan getaran tertentu, tetapi getaran kekuatan tinggi masih boleh melanggar had penimbalnya. Getaran yang dihasilkan oleh lalu lintas di sekitar kilang dan operasi peralatan mekanikal yang besar dihantar ke tapak granit melalui tanah, yang akan mengganggu ketepatan pergerakan platform. Dalam CMM mewah, getaran boleh menyebabkan sentuhan antara prob pengukur dan bahan kerja yang diukur menjadi tidak stabil, mengakibatkan sisihan data pengukuran. Untuk menyelesaikan masalah ini, adalah perlu untuk menerima pakai langkah pengasingan getaran yang berkesan, seperti meletakkan pad pengasingan getaran di kawasan pemasangan peralatan, membina asas pengasingan getaran, atau menggunakan sistem pengasingan getaran aktif untuk mengimbangi getaran luaran secara aktif, dan mewujudkan persekitaran kerja yang tenang dan stabil untuk tapak ketepatan granit dan platform pergerakan terapung udara tekanan statik ketepatan.
Memenuhi keperluan alam sekitar di atas, untuk memanfaatkan sepenuhnya kelebihan asas ketepatan granit dalam platform pergerakan terapung udara tekanan statik ketepatan, untuk memastikan platform tersebut menyediakan perkhidmatan kawalan gerakan ketepatan tinggi dan kestabilan tinggi untuk pelbagai industri. Jika perusahaan dapat memberi perhatian kepada butiran ini dalam persekitaran pengeluaran, mereka akan merebut peluang dalam pembuatan ketepatan, penyelidikan saintifik dan bidang lain, meningkatkan daya saing mereka, dan mencapai pembangunan mampan.
Masa siaran: 10-Apr-2025