Dalam bidang pembuatan mewah dan penyelidikan saintifik yang canggih, platform pergerakan terapung udara tekanan statik ketepatan adalah peralatan utama untuk mencapai operasi ultra ketepatan. Asas ketepatan granit adalah bahagian sokongan teras platform, dan prestasinya berkait rapat dengan persekitaran kerja. Memahami dan memenuhi keperluan alam sekitar ini bukan sahaja dapat memastikan operasi platform berketepatan tinggi, tetapi juga merupakan bahagian penting perusahaan untuk meningkatkan daya saingnya dalam bidang berkaitan, yang diterangkan secara terperinci di bawah.
1. Suhu: kawalan tepat untuk memastikan kestabilan dimensi
Walaupun granit terkenal dengan kestabilannya, pekali pengembangan habanya bukanlah sifar, dan perubahan suhu yang kecil masih boleh menjejaskan ketepatan dimensinya. Secara umumnya, pekali pengembangan haba granit ialah 5-7 × 10⁻⁶/℃. Dalam senario aplikasi platform pergerakan terapung udara tekanan statik ketepatan, perubahan kecil ini dikuatkan oleh platform, yang mungkin membawa kepada sisihan ketepatan pergerakan. Sebagai contoh, dalam proses pembuatan cip semikonduktor, proses litografi untuk keperluan ketepatan kedudukan tahap danami, turun naik suhu ambien 1 ° C, panjang sisi 1 meter asas granit boleh menghasilkan 5-7 mikron pengembangan atau pengecutan linear, yang cukup untuk membuat sisihan corak litografi cip, mengurangkan hasil. Oleh itu, platform terapung udara tekanan statik ketepatan yang dilengkapi dengan asas ketepatan granit, suhu persekitaran kerja yang ideal harus dikawal ketat pada 20 ° C ± 1 ° C, perusahaan boleh memasang sistem penghawa dingin suhu malar berketepatan tinggi, memantau secara berterusan dan melaraskan suhu ambien dengan tepat, mengekalkan saiz kestabilan asas granit, untuk memastikan operasi berketepatan tinggi platform.
2.kelembapan: kawalan yang munasabah, melindungi prestasi asas
Kelembapan juga mempunyai kesan yang ketara pada asas granit ketepatan. Dalam persekitaran kelembapan yang tinggi, granit mudah menyerap wap air, dan mungkin terdapat pemeluwapan di permukaan, yang bukan sahaja akan mengganggu operasi normal sistem pengapungan udara, tetapi juga membawa kepada hakisan jangka panjang permukaan granit, mengurangkan ketepatan dan hayat perkhidmatannya. Mengambil bengkel pengisaran kanta optik sebagai contoh, jika kelembapan lebih tinggi daripada 60% RH untuk masa yang lama, wap air yang terserap pada permukaan asas granit akan memusnahkan keseragaman filem apungan udara, mengakibatkan penurunan ketepatan pengisaran kanta dan kecacatan permukaan. Oleh itu, kelembapan relatif persekitaran kerja perlu dikawal antara 40%-60% RH. Perusahaan boleh menggunakan penyahlembapan, penderia kelembapan dan peralatan lain untuk memantau dan mengawal kelembapan dalam masa nyata, mewujudkan persekitaran kelembapan yang sesuai untuk asas granit ketepatan, dan memastikan operasi stabil platform pergerakan terapung udara tekanan statik ketepatan.
3. kebersihan: mengawal ketat, menghapuskan gangguan zarah
Zarah habuk adalah "musuh" platform pergerakan terapung udara tekanan statik ketepatan, dan mendatangkan kemudaratan besar kepada asas ketepatan granit. Sebaik sahaja zarah-zarah kecil memasuki jurang filem gas antara peluncur apungan gas dan asas granit, ia boleh memusnahkan keseragaman filem gas, meningkatkan geseran, dan juga mencalarkan permukaan tapak, yang menjejaskan ketepatan pergerakan platform dengan serius. Dalam bengkel pemesinan ultra ketepatan bahagian aeroangkasa, jika zarah habuk di udara jatuh pada dasar granit, trajektori gerakan alat pemesinan mungkin terpesong, menjejaskan ketepatan pemesinan bahagian. Oleh itu, kawasan kerja hendaklah sentiasa bersih dan mencapai standard kebersihan 10,000 atau lebih tinggi. Perusahaan boleh menapis zarah habuk di udara dengan memasang penapis udara kecekapan tinggi (HEPA), dan memerlukan kakitangan memakai pakaian bebas habuk, penutup kasut, dll., untuk mengurangkan habuk yang dibawa oleh manusia, dan mengekalkan persekitaran operasi berketepatan tinggi asas granit dan platform pergerakan terapung udara tekanan statik ketepatan.
4. Getaran: Pengasingan yang berkesan untuk mewujudkan ruang yang licin
Getaran luaran secara serius akan mengganggu ketepatan platform terapung udara tekanan statik ketepatan, walaupun asas granit ketepatan mempunyai kapasiti pengecilan getaran tertentu, tetapi getaran kekuatan tinggi masih boleh memecahkan had penampannya. Getaran yang dihasilkan oleh lalu lintas di sekitar kilang dan operasi peralatan mekanikal yang besar dihantar ke pangkalan granit melalui tanah, yang akan mengganggu ketepatan pergerakan platform. Dalam CMM mewah, getaran boleh menyebabkan sentuhan antara probe pengukur dan bahan kerja diukur menjadi tidak stabil, mengakibatkan sisihan data pengukuran. Untuk menyelesaikan masalah ini, adalah perlu untuk menggunakan langkah pengasingan getaran yang berkesan, seperti meletakkan pad pengasingan getaran di kawasan pemasangan peralatan, membina asas pengasingan getaran, atau menggunakan sistem pengasingan getaran aktif untuk mengimbangi getaran luaran secara aktif, dan mewujudkan persekitaran kerja yang tenang dan stabil untuk asas ketepatan granit dan platform pergerakan terapung udara tekanan statik ketepatan.
Memenuhi keperluan alam sekitar di atas, untuk memberikan permainan penuh kepada kelebihan asas ketepatan granit dalam platform pergerakan terapung udara tekanan statik ketepatan, untuk memastikan bahawa platform menyediakan perkhidmatan kawalan gerakan ketepatan tinggi dan kestabilan tinggi untuk pelbagai industri. Jika perusahaan boleh memberi perhatian kepada butiran ini dalam persekitaran pengeluaran, mereka akan merebut peluang dalam pembuatan ketepatan, penyelidikan saintifik dan bidang lain, meningkatkan daya saing mereka, dan mencapai pembangunan mampan.
Masa siaran: Apr-10-2025