Peralatan pemprosesan wafer merupakan bahagian penting dalam proses pembuatan semikonduktor. Mesin-mesin ini terdiri daripada pelbagai komponen, termasuk komponen granit. Granit merupakan bahan yang ideal untuk komponen ini kerana kestabilan dan ketahanannya yang sangat baik. Walau bagaimanapun, seperti bahan lain, komponen granit terdedah kepada kecacatan yang boleh menjejaskan prestasi dan kecekapan peralatan pemprosesan wafer. Dalam artikel ini, kami akan membincangkan beberapa kecacatan biasa komponen granit dalam peralatan pemprosesan wafer.
1. Retakan:
Salah satu kecacatan yang paling biasa berlaku dalam komponen granit ialah retakan. Retakan ini mungkin disebabkan oleh pelbagai faktor, termasuk variasi suhu yang melampau, tekanan mekanikal, pengendalian yang tidak betul dan penyelenggaraan yang tidak mencukupi. Retakan boleh menjejaskan integriti struktur komponen granit, menjadikannya lebih mudah rosak. Selain itu, retakan boleh bertindak sebagai tapak yang berpotensi untuk kepekatan tekanan, yang membawa kepada kerosakan selanjutnya.
2. Kerepek:
Satu lagi kecacatan yang mungkin berlaku pada komponen granit ialah keretakan. Keretakan boleh berlaku akibat pelbagai insiden seperti perlanggaran tidak sengaja, pengendalian yang tidak betul, atau haus dan lusuh. Komponen granit yang keretakan mungkin mempunyai permukaan kasar dan tepi yang tidak rata yang boleh merosakkan wafer semasa proses pembuatan. Tambahan pula, keretakan boleh menjejaskan ketepatan dimensi komponen, yang membawa kepada kerosakan peralatan dan masa henti pengeluaran.
3. Haus dan lusuh:
Penggunaan berterusan dan pendedahan berterusan kepada bahan kasar boleh mengakibatkan haus dan lusuh komponen granit. Lama-kelamaan, haus dan lusuh boleh mengakibatkan penurunan prestasi dan kecekapan peralatan pemprosesan wafer. Selain itu, ia boleh menyebabkan peningkatan kos penyelenggaraan dan perbelanjaan penggantian.
4. Ketidaksejajaran:
Komponen granit, seperti meja pemprosesan wafer dan chuck, mesti dijajarkan dengan tepat untuk mengekalkan ketepatan dan konsistensi yang diperlukan dalam proses pembuatan. Walau bagaimanapun, ketidaksejajaran boleh berlaku disebabkan oleh pelbagai sebab, seperti pemasangan yang tidak betul, pendedahan kepada getaran atau kerosakan komponen. Ketidaksejajaran boleh menyebabkan ketidaktepatan dalam pembuatan wafer, yang boleh mengakibatkan produk yang rosak.
5. Kakisan:
Granit ialah bahan lengai yang tahan terhadap kebanyakan bahan kimia dan pelarut. Walau bagaimanapun, pendedahan berpanjangan kepada bahan kimia yang agresif, seperti asid atau alkali, boleh menyebabkan kakisan pada komponen granit. Kakisan boleh mengakibatkan permukaan berlubang, perubahan warna, atau kehilangan ketepatan dimensi.
Kesimpulan:
Komponen granit adalah penting untuk kestabilan dan kebolehpercayaan peralatan pemprosesan wafer. Walau bagaimanapun, kecacatan seperti retakan, keretakan, haus dan lusuh, salah jajaran dan kakisan boleh menjejaskan prestasi dan kecekapan komponen ini. Penyelenggaraan yang betul, pengendalian yang mencukupi dan pemeriksaan berkala boleh membantu mencegah dan mengurangkan kesan kecacatan ini. Dengan menangani kecacatan ini dengan berkesan, kita dapat memastikan operasi komponen kritikal ini berterusan dan mengekalkan kualiti dan ketepatan peralatan pemprosesan wafer.
Masa siaran: 02-Jan-2024