Peralatan pemprosesan wafer adalah bahagian penting dalam proses pembuatan semikonduktor.Mesin ini terdiri daripada pelbagai komponen, termasuk komponen granit.Granit adalah bahan yang sesuai untuk komponen ini kerana kestabilan dan ketahanannya yang sangat baik.Walau bagaimanapun, seperti mana-mana bahan lain, komponen granit terdedah kepada kecacatan yang boleh menjejaskan prestasi dan kecekapan peralatan pemprosesan wafer.Dalam artikel ini, kita akan membincangkan beberapa kecacatan biasa komponen granit dalam peralatan pemprosesan wafer.
1. Retak:
Salah satu kecacatan yang paling biasa dalam komponen granit ialah retak.Keretakan ini mungkin disebabkan oleh pelbagai faktor, termasuk variasi suhu yang melampau, tekanan mekanikal, pengendalian yang tidak betul dan penyelenggaraan yang tidak mencukupi.Retak boleh menjejaskan integriti struktur komponen granit, menjadikannya lebih mudah terdedah kepada kegagalan.Selain itu, retakan boleh bertindak sebagai tapak berpotensi untuk kepekatan tekanan, yang membawa kepada kerosakan selanjutnya.
2. Keratan:
Satu lagi kecacatan yang mungkin berlaku pada komponen granit ialah kerepek.Ciptaan boleh disebabkan oleh pelbagai insiden seperti perlanggaran tidak sengaja, pengendalian yang tidak betul, atau haus dan lusuh.Komponen granit sumbing mungkin mempunyai permukaan kasar dan tepi tidak rata yang boleh merosakkan wafer semasa proses pembuatan.Tambahan pula, kerepek boleh menjejaskan ketepatan dimensi komponen, yang membawa kepada kerosakan peralatan dan masa henti pengeluaran.
3. Haus dan lusuh:
Penggunaan berterusan dan pendedahan berterusan kepada bahan yang melelas boleh mengakibatkan haus dan lusuh komponen granit.Dari masa ke masa, haus dan lusuh boleh mengakibatkan penurunan dalam prestasi dan kecekapan peralatan pemprosesan wafer.Selain itu, ia boleh menyebabkan peningkatan dalam kos penyelenggaraan dan perbelanjaan penggantian.
4. salah jajaran:
Komponen granit, seperti meja pemprosesan wafer dan chuck, mesti diselaraskan dengan tepat untuk mengekalkan ketepatan dan konsistensi yang diperlukan dalam proses pembuatan.Walau bagaimanapun, salah jajaran boleh berlaku disebabkan oleh pelbagai sebab, seperti pemasangan yang tidak betul, pendedahan kepada getaran atau kerosakan komponen.Penyelewengan boleh menyebabkan ketidaktepatan dalam pembuatan wafer, yang boleh mengakibatkan produk rosak.
5. Kakisan:
Granit adalah bahan lengai yang tahan terhadap kebanyakan bahan kimia dan pelarut.Walau bagaimanapun, pendedahan yang berpanjangan kepada bahan kimia yang agresif, seperti asid atau alkali, boleh menyebabkan kakisan komponen granit.Kakisan boleh mengakibatkan pitting permukaan, perubahan warna atau kehilangan ketepatan dimensi.
Kesimpulan:
Komponen granit adalah penting untuk kestabilan dan kebolehpercayaan peralatan pemprosesan wafer.Walau bagaimanapun, kecacatan seperti keretakan, serpihan, haus dan lusuh, salah jajaran dan kakisan boleh menjejaskan prestasi dan kecekapan komponen ini.Penyelenggaraan yang betul, pengendalian yang mencukupi dan pemeriksaan tetap boleh membantu untuk mencegah dan mengurangkan kesan kecacatan ini.Dengan menangani kecacatan ini dengan berkesan, kami boleh memastikan operasi berterusan komponen kritikal ini dan mengekalkan kualiti dan ketepatan peralatan pemprosesan wafer.
Masa siaran: Jan-02-2024