Granit ialah batuan semulajadi yang telah lama digunakan dalam peralatan pemprosesan wafer.Ia terkenal dengan ciri-ciri cemerlangnya yang mempunyai pengembangan haba yang rendah, ketegaran yang tinggi dan kestabilan yang baik.Walau bagaimanapun, seperti semua bahan, granit mempunyai set kecacatannya sendiri yang boleh menjejaskan kualiti peralatan pemprosesan wafer.
Salah satu kecacatan utama granit ialah kecenderungannya untuk retak atau pecah.Ini disebabkan oleh kehadiran retakan mikro yang boleh berlaku semasa pembentukan batu.Jika retakan mikro ini tidak dikenal pasti dan dirawat dengan betul, ia boleh membiak dan membawa kepada kegagalan peralatan.Untuk mengelakkan perkara ini berlaku, pengeluar peralatan pemprosesan perlu menggunakan granit berkualiti tinggi yang telah dirawat dan diuji bagi memastikan ia bebas daripada retakan mikro.
Satu lagi kecacatan granit ialah mudah terdedah kepada kakisan.Jika peralatan granit bersentuhan dengan persekitaran yang menghakis, ia boleh mula merosot dari semasa ke semasa.Ini boleh menyebabkan peralatan menjadi rosak atau tidak berfungsi dengan baik.Untuk mengelakkan ini, pengeluar mesti memastikan bahawa granit yang digunakan dalam peralatan mereka dirawat dan disalut dengan betul untuk mengelakkan sebarang kakisan daripada berlaku.
Granit juga terdedah kepada meledingkan dari semasa ke semasa kerana sifat terma yang wujud.Ini kerana granit mempunyai pekali pengembangan terma yang sangat rendah, bermakna ia tidak mengembang atau mengecut dengan banyak apabila mengalami perubahan suhu.Walau bagaimanapun, walaupun sedikit pengembangan atau pengecutan boleh menyebabkan peralatan meleding dari semasa ke semasa.Adalah penting bahawa pengeluar peralatan mengambil kira sifat terma granit apabila mereka bentuk peralatan mereka untuk mengelakkan kecacatan ini daripada berlaku.
Akhir sekali, sifat berliang granit boleh membawa kepada isu pencemaran.Jika granit tidak dimeterai dengan betul, ia boleh menyerap bahan cemar yang boleh menjejaskan kualiti wafer.Ini boleh menyebabkan masa henti yang mahal dan kehilangan pengeluaran.Untuk mengelakkan ini, pengeluar perlu mengelak granit dengan betul untuk mengelakkan sebarang bahan cemar daripada diserap.
Kesimpulannya, granit adalah bahan yang sangat baik untuk digunakan dalam peralatan pemprosesan wafer.Walau bagaimanapun, adalah penting untuk mengetahui kecacatannya dan mengambil langkah berjaga-jaga yang diperlukan untuk mengelakkannya daripada berlaku.Dengan penjagaan dan penyelenggaraan yang betul, peralatan granit boleh terus berfungsi selama bertahun-tahun, menyediakan wafer berkualiti tinggi untuk industri semikonduktor.
Masa siaran: Dis-27-2023