Granit ialah batuan semula jadi yang telah lama digunakan dalam peralatan pemprosesan wafer. Ia dikenali kerana sifatnya yang sangat baik iaitu mempunyai pengembangan haba yang rendah, ketegaran yang tinggi dan kestabilan yang baik. Walau bagaimanapun, seperti semua bahan, granit mempunyai set kecacatannya sendiri yang boleh menjejaskan kualiti peralatan pemprosesan wafer.
Salah satu kecacatan utama granit ialah kecenderungannya untuk retak atau pecah. Ini disebabkan oleh kehadiran mikrorekahan yang boleh berlaku semasa pembentukan batu. Jika mikrorekahan ini tidak dikenal pasti dan dirawat dengan betul, ia boleh merambat dan menyebabkan kegagalan peralatan. Untuk mengelakkan perkara ini daripada berlaku, pengeluar peralatan pemprosesan perlu menggunakan granit berkualiti tinggi yang telah dirawat dan diuji untuk memastikan ia bebas daripada mikrorekahan.
Satu lagi kecacatan granit ialah kerentanannya terhadap kakisan. Jika peralatan granit bersentuhan dengan persekitaran yang menghakis, ia boleh mula merosot dari semasa ke semasa. Ini boleh menyebabkan peralatan rosak atau tidak berfungsi dengan baik. Untuk mengelakkannya, pengeluar mesti memastikan bahawa granit yang digunakan dalam peralatan mereka dirawat dan disalut dengan betul untuk mengelakkan sebarang kakisan daripada berlaku.
Granit juga mudah melengkung dari semasa ke semasa disebabkan oleh sifat terma yang ada padanya. Ini kerana granit mempunyai pekali pengembangan terma yang sangat rendah, bermakna ia tidak banyak mengembang atau mengecut apabila tertakluk kepada perubahan suhu. Walau bagaimanapun, sedikit pengembangan atau pengecutan pun boleh menyebabkan melengkung pada peralatan dari semasa ke semasa. Adalah penting bagi pengeluar peralatan untuk mengambil kira sifat terma granit semasa mereka bentuk peralatan mereka untuk mengelakkan kecacatan ini daripada berlaku.
Akhir sekali, sifat berliang granit boleh menyebabkan masalah pencemaran. Jika granit tidak ditutup rapat, ia boleh menyerap bahan cemar yang boleh menjejaskan kualiti wafer. Ini boleh menyebabkan masa henti yang mahal dan kehilangan pengeluaran. Untuk mengelakkannya, pengeluar perlu menutup granit dengan betul bagi mengelakkan sebarang bahan cemar daripada diserap.
Kesimpulannya, granit merupakan bahan yang sangat baik untuk digunakan dalam peralatan pemprosesan wafer. Walau bagaimanapun, adalah penting untuk mengetahui tentang kecacatannya dan mengambil langkah berjaga-jaga yang perlu untuk mencegahnya daripada berlaku. Dengan penjagaan dan penyelenggaraan yang betul, peralatan granit boleh terus berfungsi selama bertahun-tahun, menyediakan wafer berkualiti tinggi untuk industri semikonduktor.
Masa siaran: 27 Dis-2023