Komponen granit telah digunakan secara meluas dalam proses pembuatan semikonduktor kerana ciri -ciri yang sangat baik seperti kemasan permukaan unggul, kekakuan tinggi, dan redaman getaran yang sangat baik. Komponen granit adalah penting untuk peralatan fabrikasi semikonduktor, termasuk mesin litografi, mesin penggilap, dan sistem metrologi kerana mereka menyediakan kedudukan dan kestabilan ketepatan semasa proses pembuatan. Walaupun semua kelebihan menggunakan komponen granit, mereka juga mempunyai kecacatan. Dalam artikel ini, kita akan membincangkan kecacatan komponen granit untuk produk proses pembuatan semikonduktor.
Pertama, komponen granit mempunyai pekali pengembangan haba yang tinggi. Ini bermakna mereka berkembang dengan ketara di bawah tekanan haba, yang boleh menyebabkan masalah semasa proses pembuatan. Proses pembuatan semikonduktor memerlukan ketepatan ketepatan dan ketepatan dimensi yang boleh dikompromikan kerana tekanan haba. Sebagai contoh, ubah bentuk wafer silikon disebabkan oleh pengembangan haba boleh menyebabkan isu penjajaran semasa litografi, yang boleh menjejaskan kualiti peranti semikonduktor.
Kedua, komponen granit mempunyai kecacatan keliangan yang boleh menyebabkan kebocoran vakum dalam proses pembuatan semikonduktor. Kehadiran udara atau mana -mana gas lain dalam sistem boleh menyebabkan pencemaran di permukaan wafer, mengakibatkan kecacatan yang boleh menjejaskan prestasi peranti semikonduktor. Gas inert seperti Argon dan Helium dapat meresap ke dalam komponen granit berliang dan membuat gelembung gas yang boleh mengganggu integriti proses vakum.
Ketiga, komponen granit mempunyai mikrofraktur yang dapat mengganggu ketepatan proses pembuatan. Granit adalah bahan rapuh yang dapat mengembangkan mikrofraktur dari masa ke masa, terutama apabila terdedah kepada kitaran tekanan yang berterusan. Kehadiran mikrofraktur boleh menyebabkan ketidakstabilan dimensi, menyebabkan isu -isu penting semasa proses pembuatan, seperti penjajaran litografi atau penggilap wafer.
Keempat, komponen granit mempunyai fleksibiliti terhad. Proses pembuatan semikonduktor memerlukan peralatan fleksibel yang dapat menampung perubahan proses yang berbeza. Walau bagaimanapun, komponen granit tegar dan tidak dapat menyesuaikan diri dengan perubahan proses yang berbeza. Oleh itu, sebarang perubahan dalam proses pembuatan memerlukan penyingkiran atau penggantian komponen granit, yang membawa kepada downtime dan mempengaruhi produktiviti.
Kelima, komponen granit memerlukan pengendalian dan pengangkutan khas kerana berat dan kerapuhan mereka. Granit adalah bahan padat dan berat yang memerlukan peralatan pengendalian khusus seperti kren dan pengangkat. Di samping itu, komponen granit memerlukan pembungkusan dan pengangkutan yang teliti untuk mengelakkan kerosakan semasa penghantaran, yang membawa kepada kos dan masa tambahan.
Kesimpulannya, komponen granit mempunyai beberapa kelemahan yang boleh menjejaskan kualiti produk dan produktiviti proses pembuatan semikonduktor. Kecacatan ini boleh diminimumkan melalui pengendalian dan penyelenggaraan komponen granit yang teliti, termasuk pemeriksaan berkala untuk mikrofraktur dan kecacatan keliangan, pembersihan yang betul untuk mencegah pencemaran, dan pengendalian yang teliti semasa pengangkutan. Walaupun kecacatan, komponen granit kekal sebagai bahagian penting dalam proses pembuatan semikonduktor kerana kemasan permukaannya yang unggul, kekakuan tinggi, dan redaman getaran yang sangat baik.
Masa Post: Dec-05-2023