Komponen granit telah digunakan secara meluas dalam proses pembuatan semikonduktor kerana ciri-ciri cemerlangnya seperti kemasan permukaan yang unggul, kekakuan yang tinggi dan redaman getaran yang sangat baik. Komponen granit adalah penting untuk peralatan fabrikasi semikonduktor, termasuk mesin litografi, mesin penggilap dan sistem metrologi kerana ia memberikan kedudukan dan kestabilan yang tepat semasa proses pembuatan. Walaupun terdapat semua kelebihan menggunakan komponen granit, ia juga mempunyai kecacatan. Dalam artikel ini, kita akan membincangkan kecacatan komponen granit untuk produk proses pembuatan semikonduktor.
Pertama, komponen granit mempunyai pekali pengembangan haba yang tinggi. Ini bermakna ia mengembang dengan ketara di bawah tekanan haba, yang boleh menyebabkan masalah semasa proses pembuatan. Proses pembuatan semikonduktor memerlukan ketepatan dan ketepatan dimensi yang tinggi yang boleh terjejas akibat tekanan haba. Contohnya, ubah bentuk wafer silikon akibat pengembangan haba boleh menyebabkan masalah penjajaran semasa litografi, yang boleh menjejaskan kualiti peranti semikonduktor.
Kedua, komponen granit mempunyai kecacatan keliangan yang boleh menyebabkan kebocoran vakum dalam proses pembuatan semikonduktor. Kehadiran udara atau sebarang gas lain dalam sistem boleh menyebabkan pencemaran pada permukaan wafer, mengakibatkan kecacatan yang boleh menjejaskan prestasi peranti semikonduktor. Gas lengai seperti argon dan helium boleh meresap ke dalam komponen granit berliang dan menghasilkan buih gas yang boleh mengganggu integriti proses vakum.
Ketiga, komponen granit mempunyai rekahan mikro yang boleh mengganggu ketepatan proses pembuatan. Granit ialah bahan rapuh yang boleh membentuk rekahan mikro dari semasa ke semasa, terutamanya apabila terdedah kepada kitaran tekanan yang berterusan. Kehadiran rekahan mikro boleh menyebabkan ketidakstabilan dimensi, menyebabkan masalah yang ketara semasa proses pembuatan, seperti penjajaran litografi atau penggilapan wafer.
Keempat, komponen granit mempunyai fleksibiliti yang terhad. Proses pembuatan semikonduktor memerlukan peralatan fleksibel yang dapat menampung perubahan proses yang berbeza. Walau bagaimanapun, komponen granit adalah tegar dan tidak dapat menyesuaikan diri dengan perubahan proses yang berbeza. Oleh itu, sebarang perubahan dalam proses pembuatan memerlukan penyingkiran atau penggantian komponen granit, yang akan menyebabkan masa henti dan menjejaskan produktiviti.
Kelima, komponen granit memerlukan pengendalian dan pengangkutan khas kerana berat dan kerapuhannya. Granit ialah bahan yang padat dan berat yang memerlukan peralatan pengendalian khusus seperti kren dan pengangkat. Selain itu, komponen granit memerlukan pembungkusan dan pengangkutan yang teliti untuk mengelakkan kerosakan semasa penghantaran, yang membawa kepada kos dan masa tambahan.
Kesimpulannya, komponen granit mempunyai beberapa kelemahan yang boleh menjejaskan kualiti dan produktiviti produk proses pembuatan semikonduktor. Kecacatan ini boleh diminimumkan melalui pengendalian dan penyelenggaraan komponen granit yang teliti, termasuk pemeriksaan berkala untuk mikrorekahan dan kecacatan keliangan, pembersihan yang betul untuk mencegah pencemaran, dan pengendalian yang teliti semasa pengangkutan. Walaupun terdapat kecacatan, komponen granit kekal sebagai bahagian penting dalam proses pembuatan semikonduktor kerana kemasan permukaannya yang unggul, kekakuan yang tinggi, dan redaman getaran yang sangat baik.
Masa siaran: 05-Dis-2023