Pengilangan semikonduktor: Dalam proses pembuatan cip, proses fotolitografi perlu memindahkan corak litar dengan tepat kepada wafer. Tapak granit modul gerakan ultra ketepatan terapung udara paksi tunggal boleh memberikan kedudukan ketepatan tinggi dan sokongan stabil untuk meja wafer dalam peralatan litografi. Sebagai contoh, ASML dan pengeluar mesin litografi terkenal antarabangsa lain menggunakan modul gerakan terapung udara asas granit dalam peralatan mewah mereka, yang boleh mengawal ketepatan kedudukan wafer pada tahap nanometer untuk memastikan ketepatan corak litografi, dengan itu meningkatkan penyepaduan dan prestasi cip.
Medan ukuran ketepatan: CMM ialah peralatan ukuran ketepatan yang biasa digunakan dalam pengeluaran perindustrian, yang digunakan untuk mengukur saiz, bentuk dan ketepatan kedudukan bahan kerja. Modul gerakan ultra ketepatan apungan udara paksi tunggal pada dasar granit boleh digunakan sebagai platform gerakan CMM, yang boleh merealisasikan gerakan linear berketepatan tinggi dan menyediakan trajektori gerakan yang stabil untuk probe pengukur. Contohnya, CMM mewah Hexagon menggunakan gabungan ini untuk mengukur bahagian yang besar dan kompleks dengan ketepatan pengukuran sehingga tahap mikron, memberikan jaminan yang kukuh untuk kawalan kualiti bahagian dalam industri automotif, aeroangkasa dan lain-lain.
Medan aeroangkasa: Dalam pemprosesan dan ujian bahagian aeroangkasa, ketepatan tinggi diperlukan. Sebagai contoh, pemesinan bilah enjin pesawat memerlukan kawalan tepat ke atas trajektori gerakan alat untuk memastikan ketepatan profil bilah. Pangkalan granit modul gerakan ultra-ketepatan terapung udara paksi tunggal boleh digunakan pada pusat pemesinan lima paksi dan peralatan lain untuk menyediakan kawalan gerakan ketepatan tinggi untuk alat dan memastikan ketepatan pemesinan bilah dapat memenuhi keperluan reka bentuk. Pada masa yang sama, dalam proses pemasangan enjin aero, ia juga perlu menggunakan peralatan pengukur ketepatan tinggi untuk mengesan ketepatan pemasangan bahagian. Modul gerakan terapung udara asas granit boleh memberikan sokongan yang stabil dan pergerakan yang tepat untuk peralatan pengukur untuk memastikan kualiti pemasangan.
Bidang pemeriksaan optik: Dalam proses pembuatan dan ujian komponen optik, adalah perlu untuk melaksanakan kedudukan ketepatan tinggi dan pengukuran komponen optik. Sebagai contoh, apabila menghasilkan komponen optik berketepatan tinggi seperti cermin dan kanta, adalah perlu untuk menggunakan interferometer dan peralatan lain untuk mengesan ketepatan bentuk permukaan. Pangkalan granit modul gerakan ultra ketepatan terapung udara paksi tunggal boleh digunakan sebagai platform pergerakan interferometer, yang boleh merealisasikan ketepatan kedudukan sub-mikron dan menyediakan sokongan data yang tepat untuk pengesanan komponen optik. Di samping itu, dalam peralatan pemprosesan laser, ia juga perlu menggunakan platform gerakan berketepatan tinggi untuk mengawal trajektori pengimbasan pancaran laser, asas granit modul gerakan terapung udara boleh memenuhi keperluan ini, untuk mencapai pemprosesan laser berketepatan tinggi.
Masa siaran: Apr-07-2025