Granit ialah sejenis batu keras yang telah menjadi bahan yang sangat diperlukan dalam industri pembuatan semikonduktor. Sifatnya membolehkannya menahan suhu tinggi, yang menjadikannya sesuai untuk digunakan dalam pelbagai peringkat proses pembuatan peranti semikonduktor. Hasilnya, pemasangan granit telah menemui bidang aplikasi yang luas dalam produk peranti proses pembuatan semikonduktor.
Salah satu aplikasi pemasangan granit yang paling banyak digunakan adalah dalam pembinaan struktur alat mesin berketepatan tinggi. Ketegaran dan kestabilan granit memungkinkan untuk menghasilkan alat yang tepat dan tepat dengan sedikit atau tiada ubah bentuk. Tahap ketepatan ini diperlukan dalam proses pembuatan semikonduktor seperti implantasi ion, di mana pancaran mesti diarahkan dengan tepat ke atas wafer.
Satu lagi aplikasi pemasangan granit dalam pembuatan semikonduktor adalah dalam pembinaan peralatan metrologi. Peralatan metrologi adalah penting dalam proses pembuatan semikonduktor kerana ia mengukur dan mengesahkan ketepatan peranti yang dihasilkan. Kestabilan dimensi granit, pengembangan haba yang rendah dan sifat redaman getaran yang sangat baik menjadikannya bahan pilihan dalam pembinaan peralatan metrologi. Ini termasuk permukaan granit besar yang digunakan dalam pementasan dan pemeriksaan wafer.
Meja optik merupakan satu lagi bidang aplikasi pemasangan granit yang meluas dalam industri semikonduktor. Meja optik digunakan dalam pengujian peranti optik seperti pandu gelombang untuk komunikasi data. Kerataan granit, pengembangan haba yang rendah, ketegaran yang tinggi dan kestabilan mekanikal membolehkannya menyediakan permukaan yang sangat stabil untuk pemasangan dan penentuan kedudukan optik. Meja Optik Granit boleh memberikan kestabilan dan ketegaran yang diperlukan untuk melakukan pengujian peranti optik yang tepat dan tepat.
Granit juga menemui aplikasi dalam pembinaan chuck dan peringkat wafer. Semasa proses pembuatan semikonduktor, penjajaran ketepatan dan kawalan kedudukan adalah penting. Chuck wafer, yang memegang wafer di tempatnya semasa pemprosesan, mesti mengekalkan ketepatan kedudukan sambil menahan suhu tinggi dan keadaan vakum. Granit mempunyai kestabilan dimensi yang sangat baik dalam pelbagai suhu dan boleh menahan keadaan vakum, menjadikannya sesuai untuk pembinaan chuck wafer. Peringkat yang digunakan dalam pergerakan wafer dari satu kedudukan ke kedudukan yang lain melalui urutan pergerakan berkitar semasa proses fabrikasi semikonduktor. Pemasangan granit memberikan kestabilan dan ketahanan yang diperlukan untuk menanggung kitaran pergerakan yang berterusan dan berulang.
Secara ringkasnya, aplikasi pemasangan granit dalam industri pembuatan semikonduktor adalah luas. Sifatnya seperti kestabilan dimensi, pengembangan haba yang rendah, ketegaran yang tinggi dan redaman getaran menjadikannya bahan yang ideal untuk digunakan dalam pelbagai peringkat proses pembuatan peranti semikonduktor. Daripada pembinaan peralatan mesin dan peralatan metrologi berketepatan tinggi hinggalah meja optik dan peringkat wafer dan chuck, atribut granit memainkan peranan penting dalam menyediakan kestabilan, ketepatan dan kebolehulangan yang diperlukan untuk mencapai pembuatan peranti semikonduktor berkualiti tinggi.
Masa siaran: 6 Dis-2023