Granit adalah sejenis batu keras yang telah menjadi bahan yang sangat diperlukan dalam industri pembuatan semikonduktor.Ciri-cirinya membolehkannya menahan suhu tinggi, yang menjadikannya sesuai untuk digunakan dalam pelbagai peringkat proses pembuatan peranti semikonduktor.Hasilnya, pemasangan granit telah menemui kawasan aplikasi yang luas dalam produk peranti proses pembuatan semikonduktor.
Salah satu aplikasi pemasangan granit yang paling banyak digunakan ialah dalam pembinaan struktur alat mesin berketepatan tinggi.Ketegaran dan kestabilan granit memungkinkan untuk menghasilkan alat yang tepat dan tepat dengan sedikit atau tiada ubah bentuk.Tahap ketepatan ini diperlukan dalam proses pembuatan semikonduktor seperti implantasi ion, di mana rasuk mesti diarahkan dengan tepat ke wafer.
Satu lagi aplikasi pemasangan granit dalam pembuatan semikonduktor adalah dalam pembinaan peralatan metrologi.Peralatan metrologi adalah penting dalam proses pembuatan semikonduktor kerana ia mengukur dan mengesahkan ketepatan peranti yang dihasilkan.Kestabilan dimensi granit, pengembangan haba yang rendah, dan sifat redaman getaran yang sangat baik menjadikannya bahan pilihan dalam pembinaan peralatan metrologi.Ini termasuk permukaan granit besar yang digunakan dalam pementasan dan pemeriksaan wafer.
Meja optik merupakan satu lagi bidang penggunaan meluas pemasangan granit dalam industri semikonduktor.Jadual optik digunakan dalam ujian peranti optik seperti pandu gelombang untuk komunikasi data.Kerataan granit, pengembangan haba yang rendah, ketegaran yang tinggi, dan kestabilan mekanikal membolehkannya menyediakan permukaan yang sangat stabil untuk pemasangan dan kedudukan optik.Meja Optik Granit boleh memberikan kestabilan dan ketegaran yang diperlukan untuk melaksanakan ujian peranti optik yang tepat dan tepat.
Granit juga mendapat aplikasi dalam pembinaan chuck wafer dan peringkat.Semasa proses pembuatan semikonduktor, penjajaran ketepatan, dan kawalan kedudukan adalah penting.Cucuk wafer, yang memegang wafer di tempatnya semasa pemprosesan, mesti mengekalkan ketepatan kedudukan sambil menahan suhu tinggi dan keadaan vakum.Granit mempunyai kestabilan dimensi yang sangat baik dalam julat suhu yang luas dan boleh menahan keadaan vakum, menjadikannya sesuai untuk pembinaan chuck wafer.Peringkat yang digunakan dalam pergerakan wafer dari satu kedudukan ke kedudukan lain melalui urutan kitaran pergerakan semasa proses fabrikasi semikonduktor.Pemasangan granit memberikan kestabilan dan ketahanan yang diperlukan untuk menanggung kitaran pergerakan yang berterusan dan berulang.
Secara ringkasnya, penggunaan pemasangan granit dalam industri pembuatan semikonduktor adalah luas.Ciri-cirinya seperti kestabilan dimensi, pengembangan haba yang rendah, ketegaran tinggi, dan redaman getaran menjadikannya bahan yang ideal untuk digunakan dalam pelbagai peringkat proses pembuatan peranti semikonduktor.Daripada pembinaan alatan mesin berketepatan tinggi dan peralatan metrologi kepada meja optik dan peringkat wafer dan chuck, sifat granit memainkan peranan penting dalam menyediakan kestabilan, ketepatan dan kebolehulangan yang diperlukan untuk mencapai pembuatan peranti semikonduktor berkualiti tinggi.
Masa siaran: Dis-06-2023