,
Dalam industri semikonduktor, pemeriksaan wafer adalah pautan utama untuk memastikan kualiti dan prestasi cip, dan ketepatan dan kestabilan jadual pemeriksaan memainkan peranan yang menentukan dalam keputusan pengesanan. Asas granit dengan ciri-ciri uniknya, menjadi pilihan ideal untuk jadual pemeriksaan wafer semikonduktor, berikut daripada analisis pelbagai dimensi untuk anda. ,
Pertama, dimensi jaminan ketepatan
1. Kerataan dan kelurusan ultra-tinggi: Pangkalan granit diproses oleh teknologi pemprosesan termaju, dan kerataan boleh mencapai ±0.001mm/m atau ketepatan yang lebih tinggi, dan kelurusannya juga sangat baik. Dalam proses pemeriksaan wafer, satah berketepatan tinggi menyediakan sokongan yang stabil untuk wafer dan memastikan sentuhan tepat antara probe peralatan pemeriksaan dan sambungan pateri pada permukaan wafer. ,
2. Pekali pengembangan haba yang sangat rendah: pembuatan semikonduktor adalah sensitif kepada perubahan suhu, dan pekali pengembangan haba granit adalah sangat rendah, biasanya kira-kira 5×10⁻⁶/℃. Apabila platform pengesanan berjalan, walaupun suhu ambien berubah-ubah, saiz asas granit berubah sangat sedikit. Sebagai contoh, dalam bengkel suhu tinggi pada musim panas, suhu platform pengesanan asas logam biasa boleh menyebabkan kedudukan relatif wafer dan peralatan pengesanan beralih, menjejaskan ketepatan pengesanan; Platform pengesanan asas granit boleh mengekalkan kestabilan, memastikan ketepatan kedudukan relatif wafer dan peralatan pengesanan semasa proses pengesanan, dan menyediakan persekitaran yang stabil untuk pengesanan ketepatan tinggi. ,
Kedua, dimensi kestabilan
1. Struktur stabil dan rintangan getaran: Granit selepas berjuta-juta tahun proses geologi, struktur dalaman adalah padat dan seragam. Dalam persekitaran kompleks kilang semikonduktor, getaran yang dihasilkan oleh pengendalian peralatan persisian dan kakitangan yang berjalan-jalan dilemahkan dengan berkesan oleh asas granit. ,
2. Ketepatan penggunaan jangka panjang: berbanding dengan bahan lain, granit mempunyai kekerasan yang tinggi, rintangan haus yang kuat, dan kekerasan Mohs boleh mencapai 6-7. Permukaan asas granit tidak mudah haus semasa operasi pemuatan, pemunggahan dan pemeriksaan wafer yang kerap. Mengikut penggunaan sebenar statistik data, penggunaan meja ujian asas granit, operasi berterusan selepas 5000 jam, kerataan dan ketepatan kelurusan masih boleh dikekalkan pada lebih daripada 98% ketepatan awal, mengurangkan peralatan akibat haus asas yang disebabkan oleh penentukuran dan masa penyelenggaraan biasa, mengurangkan kos operasi perniagaan, untuk memastikan kestabilan kerja ujian jangka panjang. ,
Ketiga, dimensi bersih dan anti-gangguan
1. Penjanaan habuk rendah: persekitaran pembuatan semikonduktor perlu sangat bersih, dan bahan granit itu sendiri stabil dan tidak mudah menghasilkan zarah habuk. Semasa operasi platform ujian, habuk yang dihasilkan oleh pangkalan dielakkan untuk mencemarkan wafer, dan risiko litar pintas dan litar terbuka yang disebabkan oleh zarah habuk dikurangkan. Di kawasan pemeriksaan wafer bengkel bebas habuk, kepekatan habuk di sekeliling meja pemeriksaan asas granit sentiasa dikawal ke tahap yang sangat rendah, memenuhi keperluan kebersihan yang ketat bagi industri semikonduktor. ,
2. Tiada gangguan magnet: peralatan pengesanan adalah sensitif kepada persekitaran elektromagnet, dan granit adalah bahan bukan magnet, yang tidak akan mengganggu isyarat elektronik peralatan pengesanan. Dalam penggunaan pengesanan pancaran elektron dan teknologi ujian lain yang memerlukan persekitaran elektromagnet yang sangat tinggi, asas granit memastikan penghantaran isyarat elektronik peralatan pengesanan yang stabil dan memastikan ketepatan keputusan ujian. Sebagai contoh, apabila wafer diuji untuk prestasi elektrik berketepatan tinggi, asas granit bukan magnet mengelakkan gangguan terhadap isyarat arus dan voltan pengesanan, supaya data pengesanan benar-benar mencerminkan ciri elektrik wafer.
Masa siaran: Mac-31-2025