Dalam bidang pengukuran ketepatan, platform ketepatan granit dengan kestabilan yang sangat baik, kekerasan yang tinggi dan rintangan haus yang baik, telah menjadi sokongan asas yang ideal untuk banyak kerja pengukuran ketepatan tinggi. Walau bagaimanapun, turun naik suhu dalam faktor persekitaran, seperti "pembunuh ketepatan" yang tersembunyi dalam kegelapan, mempunyai kesan yang tidak boleh diabaikan terhadap ketepatan pengukuran platform ketepatan granit. Adalah sangat penting untuk mengkaji ambang pengaruh secara mendalam bagi memastikan ketepatan dan kebolehpercayaan kerja pengukuran.
Walaupun granit dikenali kerana kestabilannya, ia tidak kebal terhadap perubahan suhu. Komponen utamanya ialah kuarza, feldspar dan mineral lain, yang akan menghasilkan fenomena pengembangan dan pengecutan haba pada suhu yang berbeza. Apabila suhu ambien meningkat, platform ketepatan granit dipanaskan dan dikembangkan, dan saiz platform akan berubah sedikit. Apabila suhu menurun, ia akan mengecut kembali ke keadaan asalnya. Perubahan saiz yang kelihatan kecil boleh diperbesarkan menjadi faktor utama yang mempengaruhi keputusan pengukuran dalam senario pengukuran ketepatan.
Dengan mengambil platform granit yang sepadan dengan instrumen pengukur koordinat biasa sebagai contoh, dalam tugas pengukuran ketepatan tinggi, keperluan ketepatan pengukuran sering mencapai tahap mikron atau lebih tinggi. Diandaikan bahawa pada suhu standard 20℃, pelbagai parameter dimensi platform berada dalam keadaan ideal, dan data yang tepat boleh diperolehi dengan mengukur bahan kerja. Apabila suhu ambien berubah-ubah, keadaannya sangat berbeza. Selepas sebilangan besar statistik data eksperimen dan analisis teori, dalam keadaan biasa, turun naik suhu persekitaran 1℃, pengembangan atau pengecutan linear platform ketepatan granit adalah kira-kira 5-7 × 10⁻⁶/℃. Ini bermakna bahawa untuk platform granit dengan panjang sisi 1 meter, panjang sisi mungkin berubah sebanyak 5-7 mikron jika suhu berubah sebanyak 1°C. Dalam pengukuran ketepatan, perubahan saiz sedemikian mencukupi untuk menyebabkan ralat pengukuran melebihi julat yang boleh diterima.
Bagi kerja pengukuran yang diperlukan oleh tahap ketepatan yang berbeza, ambang pengaruh turun naik suhu juga berbeza. Dalam pengukuran ketepatan biasa, seperti pengukuran saiz bahagian mekanikal, jika ralat pengukuran yang dibenarkan berada dalam lingkungan ±20 mikron, mengikut pengiraan pekali pengembangan di atas, turun naik suhu perlu dikawal dalam julat ± 3-4 ℃, untuk mengawal ralat pengukuran yang disebabkan oleh perubahan saiz platform pada tahap yang boleh diterima. Di kawasan yang mempunyai keperluan ketepatan yang tinggi, seperti pengukuran proses litografi dalam pembuatan cip semikonduktor, ralat dibenarkan dalam lingkungan ±1 mikron, dan turun naik suhu perlu dikawal ketat dalam lingkungan ± 0.1-0.2 °C. Sebaik sahaja turun naik suhu melebihi ambang ini, pengembangan dan pengecutan haba platform granit boleh menyebabkan penyimpangan dalam keputusan pengukuran, yang akan menjejaskan hasil pembuatan cip.
Untuk menangani pengaruh turun naik suhu ambien terhadap ketepatan pengukuran platform ketepatan granit, banyak langkah sering digunakan dalam kerja amali. Contohnya, peralatan suhu malar ketepatan tinggi dipasang dalam persekitaran pengukuran untuk mengawal turun naik suhu dalam julat yang sangat kecil; Pampasan suhu dijalankan pada data pengukuran, dan keputusan pengukuran dibetulkan oleh algoritma perisian mengikut pekali pengembangan haba platform dan perubahan suhu masa nyata. Walau bagaimanapun, tidak kira langkah apa yang diambil, pemahaman yang tepat tentang kesan turun naik suhu ambien terhadap ketepatan pengukuran platform ketepatan granit adalah premis untuk memastikan kerja pengukuran yang tepat dan boleh dipercayai.
Masa siaran: 03-Apr-2025