Walaupun platform granit mungkin kelihatan seperti kepingan batu yang ringkas, kriteria pemilihan berubah secara drastik apabila beralih daripada aplikasi perindustrian biasa kepada pemeriksaan optik dan metrologi berkepentingan tinggi. Bagi ZHHIMG®, membekalkan komponen ketepatan kepada peneraju dunia dalam teknologi semikonduktor dan laser bermakna mengiktiraf bahawa platform untuk pengukuran optik bukan sekadar asas—ia adalah bahagian penting yang tidak boleh dirundingkan dalam sistem optik itu sendiri.
Keperluan untuk pemeriksaan optik—yang termasuk pengimejan pembesaran tinggi, pengimbasan laser dan interferometri—ditakrifkan oleh keperluan untuk menghapuskan semua sumber hingar pengukuran. Ini membawa kepada tumpuan kepada tiga sifat istimewa yang membezakan platform optik sebenar daripada platform perindustrian standard.
1. Ketumpatan Unggul untuk Redaman Getaran Tidak Ditandingi
Untuk asas CNC industri standard, besi tuang atau granit biasa mungkin menawarkan kekakuan yang mencukupi. Walau bagaimanapun, tetapan optik sangat sensitif terhadap anjakan minit yang disebabkan oleh getaran luaran daripada peralatan kilang, sistem pengendalian udara, atau malah trafik yang jauh.
Di sinilah sains material menjadi yang terpenting. Platform optik memerlukan granit dengan redaman bahan semula jadi yang luar biasa. ZHHIMG® menggunakan ZHHIMG® Black Granite proprietarinya (≈ 3100 kg/m³). Bahan berketumpatan ultra tinggi ini, tidak seperti pengganti granit atau marmar gred rendah, mempunyai struktur kristal yang sangat cekap untuk menghilangkan tenaga mekanikal. Matlamatnya bukan hanya untuk mengurangkan getaran, tetapi untuk memastikan tapak kekal sebagai lantai mekanikal yang benar-benar senyap, meminimumkan gerakan relatif antara kanta objektif dan sampel yang diperiksa pada tahap sub-mikron.
2. Kestabilan Terma Melampau untuk Melawan Drift
Platform industri standard bertolak ansur dengan perubahan dimensi kecil; sepersepuluh darjah Celsius mungkin tidak penting untuk penggerudian. Tetapi dalam sistem optik yang melakukan pengukuran tepat dalam tempoh yang lama, sebarang hanyutan terma dalam geometri asas memperkenalkan ralat sistematik.
Untuk pemeriksaan optikal, platform mesti bertindak sebagai sinki haba dengan pekali pengembangan terma (CTE) yang sangat rendah. Jisim dan ketumpatan unggul ZHHIMG® Black Granite memberikan inersia haba yang diperlukan untuk menahan pengembangan dan pengecutan minit yang boleh berlaku dalam bilik terkawal iklim. Kestabilan ini memastikan jarak fokus yang ditentukur dan penjajaran planar komponen optik kekal tetap, menjamin integriti pengukuran yang merangkumi jam—faktor yang tidak boleh dirunding untuk pemeriksaan wafer resolusi tinggi atau metrologi paparan panel rata.
3. Mencapai Kerataan Tahap Nano dan Ketepatan Geometri
Perbezaan yang paling ketara ialah keperluan untuk kerataan. Walaupun pangkalan industri biasa mungkin memenuhi kerataan Gred 1 atau Gred 0 (diukur dalam beberapa mikron), sistem optik memerlukan ketepatan dalam julat nanometer. Tahap kesempurnaan geometri ini diperlukan untuk menyediakan satah rujukan yang boleh dipercayai untuk peringkat linear dan sistem autofokus yang beroperasi pada prinsip gangguan cahaya.
Mencapai dan memperakui kerataan paras nanometer memerlukan pendekatan pembuatan yang sama sekali berbeza. Ia melibatkan teknik yang sangat khusus menggunakan jentera canggih seperti pengisar Taiwan Nanter dan disahkan oleh peralatan metrologi yang canggih seperti Renishaw Laser Interferometers. Proses ini mesti berlaku dalam persekitaran ultra-stabil, seperti bengkel terkawal iklim yang diredam getaran ZHHIMG®, di mana pergerakan halus udara pun diminimumkan.
Pada dasarnya, memilih platform ketepatan granit untuk pemeriksaan optik ialah keputusan untuk melabur dalam komponen yang secara aktif menjamin ketepatan pengukuran optik itu sendiri. Ia memerlukan kerjasama dengan pengilang yang melihat pensijilan ISO 9001 dan kebolehkesanan dimensi komprehensif bukan sebagai ciri pilihan, tetapi sebagai keperluan asas untuk memasuki dunia optik ultra ketepatan.
Masa siaran: 21-Okt-2025