Walaupun platform granit mungkin kelihatan seperti kepingan batu yang ringkas, kriteria pemilihan berubah secara drastik apabila beralih daripada aplikasi perindustrian biasa kepada pemeriksaan optik dan metrologi yang berisiko tinggi. Bagi ZHHIMG®, membekalkan komponen ketepatan kepada peneraju dunia dalam teknologi semikonduktor dan laser bermakna menyedari bahawa platform untuk pengukuran optik bukan sekadar tapak—ia merupakan bahagian penting dan tidak boleh dirundingkan dalam sistem optik itu sendiri.
Keperluan untuk pemeriksaan optik—yang merangkumi pengimejan pembesaran tinggi, pengimbasan laser dan interferometri—ditakrifkan oleh keperluan untuk menghapuskan semua sumber hingar pengukuran. Ini membawa kepada tumpuan kepada tiga sifat khas yang membezakan platform optik sebenar daripada platform perindustrian standard.
1. Ketumpatan Unggul untuk Redaman Getaran yang Tiada Tandingan
Bagi tapak CNC perindustrian standard, besi tuang atau granit tipikal mungkin menawarkan kekakuan yang mencukupi. Walau bagaimanapun, persediaan optik sangat sensitif terhadap anjakan kecil yang disebabkan oleh getaran luaran daripada peralatan kilang, sistem pengendalian udara atau trafik yang jauh.
Di sinilah sains bahan menjadi sangat penting. Platform optik memerlukan granit dengan redaman bahan semula jadi yang luar biasa. ZHHIMG® menggunakan Granit Hitam ZHHIMG® proprietarinya (≈ 3100 kg/m³). Bahan berketumpatan ultra tinggi ini, tidak seperti pengganti granit atau marmar gred rendah, mempunyai struktur kristal yang sangat cekap dalam menghilangkan tenaga mekanikal. Matlamatnya bukan sahaja untuk mengurangkan getaran, tetapi untuk memastikan tapak kekal sebagai lantai mekanikal yang sangat senyap, meminimumkan gerakan relatif antara kanta objektif dan sampel yang diperiksa pada tahap sub-mikron.
2. Kestabilan Terma Ekstrem untuk Melawan Hanyut
Platform perindustrian standard boleh menerima perubahan dimensi kecil; sepersepuluh darjah Celsius mungkin tidak penting untuk penggerudian. Tetapi dalam sistem optik yang melakukan pengukuran tepat dalam tempoh yang lama, sebarang hanyutan haba dalam geometri tapak akan menyebabkan ralat sistematik.
Untuk pemeriksaan optik, platform mesti bertindak sebagai sinki haba dengan pekali pengembangan haba (CTE) yang sangat rendah. Jisim dan ketumpatan unggul ZHHIMG® Black Granite memberikan inersia haba yang diperlukan untuk menahan pengembangan dan pengecutan kecil yang boleh berlaku di dalam bilik kawalan iklim. Kestabilan ini memastikan jarak fokus yang dikalibrasi dan penjajaran satah komponen optik kekal tetap, menjamin integriti pengukuran yang merangkumi beberapa jam—faktor yang tidak boleh dirundingkan untuk pemeriksaan wafer resolusi tinggi atau metrologi paparan panel rata.
3. Mencapai Kerataan Tahap Nano dan Ketepatan Geometri
Perbezaan yang paling ketara ialah keperluan untuk kerataan. Walaupun pangkalan perindustrian biasa mungkin memenuhi kerataan Gred 1 atau Gred 0 (diukur dalam beberapa mikron), sistem optik memerlukan ketepatan dalam julat nanometer. Tahap kesempurnaan geometri ini diperlukan untuk menyediakan satah rujukan yang boleh dipercayai untuk peringkat linear dan sistem autofokus yang beroperasi berdasarkan prinsip gangguan cahaya.
Mencapai dan mengesahkan kerataan tahap nanometer memerlukan pendekatan pembuatan yang sama sekali berbeza. Ia melibatkan teknik yang sangat khusus menggunakan jentera canggih seperti pengisar Taiwan Nanter dan disahkan oleh peralatan metrologi canggih seperti Interferometer Laser Renishaw. Proses ini mesti berlaku dalam persekitaran yang sangat stabil, seperti bengkel kawalan iklim dan peredam getaran ZHHIMG®, di mana pergerakan udara yang halus juga diminimumkan.
Pada dasarnya, memilih platform ketepatan granit untuk pemeriksaan optik adalah keputusan untuk melabur dalam komponen yang secara aktif menjamin ketepatan pengukuran optik itu sendiri. Ia memerlukan kerjasama dengan pengeluar yang melihat pensijilan ISO 9001 dan kebolehkesanan dimensi yang komprehensif bukan sebagai ciri pilihan, tetapi sebagai keperluan asas untuk memasuki dunia optik ultra ketepatan.
Masa siaran: 21 Okt-2025