Dalam rantaian tepat pembuatan semikonduktor, sistem pemindahan wafer adalah seperti "talian hayat barisan pengeluaran cip", dan kestabilan dan ketepatannya secara langsung menentukan kadar hasil cip. Generasi baharu sistem pemindahan wafer secara revolusioner menggabungkan motor linear dengan asas granit, dan kelebihan unik bahan granit adalah kod teras untuk membuka kunci transmisi berprestasi tinggi.
,
Pangkalan granit: Membina "asas pepejal batu" untuk penghantaran yang stabil
Granit, yang telah melalui ratusan juta tahun penghalusan geologi, menampilkan penghabluran mineral dalaman yang padat dan seragam. Ciri semula jadi ini menjadikannya bahan asas yang ideal untuk sistem pemindahan wafer. Dalam persekitaran kompleks bilik bersih semikonduktor, granit, dengan pekali pengembangan haba ultra-rendahnya (hanya 5-7 × 10⁻⁶/℃), boleh menahan haba yang dijana semasa operasi peralatan dan pengaruh perubahan suhu persekitaran, memastikan kestabilan saiz asas dan mengelakkan sisihan laluan penghantaran yang disebabkan oleh ubah bentuk haba. Prestasi redaman getarannya yang luar biasa boleh menyerap dengan cepat getaran mekanikal yang dijana semasa permulaan, penutupan dan pecutan motor linear, serta gangguan luaran yang dibawa oleh pengendalian peralatan lain di bengkel, menyediakan platform yang stabil dengan "goncang sifar" untuk penghantaran wafer. ,
Sementara itu, kestabilan kimia granit memastikan ia tidak menghakis atau berkarat di bengkel semikonduktor di mana reagen asid dan alkali adalah tidak menentu dan kebersihan yang tinggi diperlukan, sekali gus mengelakkan kesan ke atas ketepatan penghantaran akibat penuaan bahan atau penjerapan bahan pencemar. Ciri-ciri permukaan licin dan padat boleh mengurangkan lekatan habuk dengan lebih berkesan, memenuhi piawaian bilik bersih yang bebas habuk yang ketat dan menghapuskan risiko pencemaran wafer dari akar. ,
Kesan "perkongsian emas" motor linear dan granit
Motor linear, dengan ciri-cirinya tanpa pelepasan penghantaran mekanikal, pecutan tinggi dan kelajuan tindak balas yang tinggi, memberikan penghantaran wafer dengan kelebihan "cepat, tepat dan stabil". Pangkalan granit menyediakan platform sokongan yang kukuh dan boleh dipercayai untuknya. Kedua-duanya bekerjasama untuk mencapai lonjakan dalam prestasi. Apabila motor linear memacu pembawa wafer untuk berjalan di landasan asas granit, ketegaran dan kestabilan asas yang kuat memastikan penghantaran daya penggerak motor yang cekap, mengelakkan kehilangan daya atau lag penghantaran yang disebabkan oleh ubah bentuk asas. ,
Didorong oleh permintaan untuk ketepatan skala nano, motor linear boleh mencapai kawalan anjakan peringkat sub-mikron. Ciri pemprosesan ketepatan tinggi asas granit (dengan ralat kerataan dikawal dalam ±1μm) sepadan dengan sempurna dengan kawalan tepat motor linear, bersama-sama memastikan ralat kedudukan semasa penghantaran wafer adalah kurang daripada ±5μm. Sama ada ia adalah ulang-alik berkelajuan tinggi di antara pelbagai peralatan proses atau tempat letak kereta yang tepat untuk penyerahan wafer, gabungan motor linear dan tapak granit boleh memastikan "sisihan sifar dan sifar jitter" dalam penghantaran wafer. ,
Pengesahan amalan industri: Peningkatan dua kali dalam kecekapan dan kadar hasil
Selepas menaik taraf sistem pemindahan wafernya, syarikat semikonduktor global terkemuka mengguna pakai penyelesaian motor linear + asas granit, yang meningkatkan kecekapan pemindahan wafer sebanyak 40%, mengurangkan kadar kejadian kerosakan seperti perlanggaran dan mengimbangi semasa proses pemindahan sebanyak 85%, dan meningkatkan kadar hasil keseluruhan cip sebanyak 6%. Di sebalik data terletak jaminan kestabilan penghantaran yang disediakan oleh asas granit dan kesan sinergi berkelajuan tinggi dan tepat bagi motor linear, yang secara ketara mengurangkan kehilangan dan ralat dalam proses penghantaran wafer. ,
Daripada sifat bahan kepada pembuatan ketepatan, daripada kelebihan prestasi kepada pengesahan praktikal, gabungan motor linear dan asas granit telah mentakrifkan semula piawaian sistem pemindahan wafer. Pada masa hadapan apabila teknologi semikonduktor maju ke arah proses 3nm dan 2nm, bahan granit pasti akan terus menyuntik dorongan kuat ke dalam pembangunan industri dengan kelebihannya yang tidak boleh ditukar ganti.
Masa siaran: 14-Mei-2025