Dalam rantaian pembuatan semikonduktor yang tepat, sistem pemindahan wafer adalah seperti "talian hayat barisan pengeluaran cip", dan kestabilan serta ketepatannya secara langsung menentukan kadar hasil cip. Generasi baharu sistem pemindahan wafer secara revolusioner menggabungkan motor linear dengan asas granit, dan kelebihan unik bahan granit adalah kod teras untuk membuka transmisi berprestasi tinggi.
Tapak granit: Membina "asas yang kukuh" untuk penghantaran yang stabil
Granit, setelah menjalani penghalusan geologi selama ratusan juta tahun, mempunyai penghabluran mineral dalaman yang padat dan seragam. Ciri semula jadi ini menjadikannya bahan asas yang ideal untuk sistem pemindahan wafer. Dalam persekitaran bilik bersih semikonduktor yang kompleks, granit, dengan pekali pengembangan haba yang sangat rendah (hanya 5-7 ×10⁻⁶/℃), boleh menahan haba yang dihasilkan semasa operasi peralatan dan pengaruh perubahan suhu persekitaran, memastikan kestabilan saiz asas dan mengelakkan sisihan laluan penghantaran yang disebabkan oleh ubah bentuk haba. Prestasi redaman getarannya yang luar biasa dapat menyerap getaran mekanikal yang dihasilkan semasa permulaan, penutupan dan pecutan motor linear dengan cepat, serta gangguan luaran yang dibawa oleh operasi peralatan lain di bengkel, menyediakan platform yang stabil dengan "gegaran sifar" untuk penghantaran wafer.
Sementara itu, kestabilan kimia granit memastikan ia tidak berkarat di bengkel semikonduktor di mana reagen asid dan alkali meruap dan kebersihan yang tinggi diperlukan, sekali gus mengelakkan kesan pada ketepatan penghantaran akibat penuaan bahan atau penjerapan bahan pencemar. Ciri-ciri permukaan yang licin dan padat dapat mengurangkan lekatan habuk dengan lebih berkesan, memenuhi piawaian bebas habuk yang ketat untuk bilik bersih dan menghapuskan risiko pencemaran wafer dari akar.
Kesan "perkongsian emas" motor linear dan granit
Motor linear, dengan ciri-cirinya iaitu tiada pelepasan transmisi mekanikal, pecutan tinggi dan kelajuan tindak balas yang tinggi, memberikan transmisi wafer kelebihan "pantas, tepat dan stabil". Tapak granit menyediakan platform sokongan yang kukuh dan andal untuknya. Kedua-duanya bekerjasama untuk mencapai lonjakan prestasi. Apabila motor linear memacu pembawa wafer untuk berjalan di landasan tapak granit, ketegaran dan kestabilan tapak yang kuat memastikan penghantaran daya penggerak motor yang cekap, mengelakkan kehilangan daya atau kelewatan transmisi yang disebabkan oleh ubah bentuk tapak.
Didorong oleh permintaan untuk ketepatan skala nano, motor linear boleh mencapai kawalan anjakan peringkat sub-mikron. Ciri-ciri pemprosesan ketepatan tinggi bagi asas granit (dengan ralat kerataan dikawal dalam lingkungan ±1μm) sepadan dengan kawalan tepat motor linear, sekali gus memastikan bahawa ralat kedudukan semasa penghantaran wafer adalah kurang daripada ±5μm. Sama ada ia adalah pengangkutan berkelajuan tinggi antara pelbagai peralatan proses atau parkir tepat untuk penyerahan wafer, gabungan motor linear dan asas granit boleh memastikan "simpangan sifar dan jitter sifar" dalam penghantaran wafer.
Pengesahan amalan industri: Peningkatan berganda dalam kecekapan dan kadar hasil
Selepas menaik taraf sistem pemindahan wafernya, sebuah perusahaan semikonduktor global terkemuka telah menerima pakai penyelesaian motor linear + asas granit, yang meningkatkan kecekapan pemindahan wafer sebanyak 40%, mengurangkan kadar kejadian kerosakan seperti perlanggaran dan ofset semasa proses pemindahan sebanyak 85%, dan meningkatkan kadar hasil keseluruhan cip sebanyak 6%. Di sebalik data tersebut terletaknya jaminan kestabilan penghantaran yang disediakan oleh asas granit dan kesan sinergi berkelajuan tinggi dan tepat motor linear, yang mengurangkan kehilangan dan ralat dalam proses penghantaran wafer dengan ketara.
Daripada sifat bahan kepada pembuatan jitu, daripada kelebihan prestasi kepada pengesahan praktikal, gabungan motor linear dan asas granit telah mentakrifkan semula piawaian sistem pemindahan wafer. Pada masa hadapan apabila teknologi semikonduktor maju ke arah proses 3nm dan 2nm, bahan granit pasti akan terus menyuntik dorongan yang kuat ke dalam pembangunan industri dengan kelebihannya yang tidak tergantikan.
Masa siaran: 14 Mei 2025