Katil granit adalah komponen penting dalam pelbagai peranti semikonduktor.Sebagai bahan yang sangat stabil dan tegar, granit digunakan secara meluas sebagai asas untuk peralatan pemprosesan semikonduktor.Ia dicirikan oleh pekali pengembangan haba yang rendah, kestabilan dimensi yang tinggi, dan sifat mekanikal yang sangat baik.Disebabkan sifat ini, katil granit paling biasa digunakan dalam tiga jenis peranti semikonduktor yang berbeza - peralatan metrologi, peralatan litografi dan peralatan pemeriksaan.
Peralatan metrologi digunakan untuk mengukur dan mengesan dimensi kritikal peranti semikonduktor.Ia memainkan peranan penting dalam mengekalkan kualiti dan ketekalan proses pembuatan semikonduktor.Peralatan metrologi termasuk instrumen seperti mikroskop optik, mikroskop elektron, dan mikroskop daya atom (AFM).Memandangkan prestasi instrumen pengukuran ini bergantung pada kestabilan, ketepatan dan rintangan getarannya, granit ialah pilihan ideal untuk bahan katilnya.Keseragaman dan kestabilan katil granit menyediakan platform yang stabil untuk instrumen, yang meningkatkan ketepatan dan kebolehpercayaan mereka.
Peralatan litografi digunakan untuk membuat corak mikrocip pada wafer.Proses litografi memerlukan ketepatan dan ketepatan yang tinggi untuk mencipta litar kompleks dan meningkatkan prestasi cip.Peralatan litografi termasuk sistem stepper dan pengimbas yang menggunakan cahaya untuk memindahkan imej ke wafer.Oleh kerana proses litografi sangat sensitif terhadap getaran dan perubahan haba, katil berkualiti tinggi adalah penting untuk memastikan kestabilan dan kebolehulangan proses litografi.Katil granit memberikan kestabilan yang diperlukan dan prestasi redaman getaran yang ketat untuk sistem litografi.Katil granit membolehkan sistem stepper atau pengimbas mengekalkan hubungan spatial yang tepat memastikan ketepatan yang tinggi dan kualiti produk akhir.
Peralatan pemeriksaan digunakan untuk mengesan sebarang kecacatan pada peranti semikonduktor.Peralatan pemeriksaan termasuk sistem seperti mikroskop pengimbasan laser, mikroskop elektron dan mikroskop optik.Dengan keperluan untuk peranti ini menjadi sangat tepat, stabil dan tahan getaran, katil granit adalah bahan yang sempurna.Sifat mekanikal granit dan kestabilan dimensi membantu dalam pengasingan getaran, yang meningkatkan ketepatan output peralatan pemeriksaan.
Kesimpulannya, katil granit adalah penting untuk industri semikonduktor dan digunakan secara meluas dalam pelbagai jenis peralatan.Ciri-ciri uniknya seperti kestabilan dimensi, pekali pengembangan haba yang rendah, dan kestabilan mekanikal yang sangat baik menjadikan granit pilihan ideal untuk bahan katil peralatan semikonduktor.Memandangkan katil granit berkualiti tinggi memberikan kestabilan, ketepatan dan rintangan getaran yang diperlukan kepada peralatan semikonduktor, ia akhirnya meningkatkan kualiti produk akhir.Oleh itu, penggunaan katil granit dalam peralatan semikonduktor pasti akan berterusan untuk tahun-tahun akan datang.
Masa siaran: Apr-03-2024