Lapisan granit merupakan komponen penting dalam pelbagai peranti semikonduktor. Sebagai bahan yang sangat stabil dan tegar, granit digunakan secara meluas sebagai asas untuk peralatan pemprosesan semikonduktor. Ia dicirikan oleh pekali pengembangan haba yang rendah, kestabilan dimensi yang tinggi dan sifat mekanikal yang sangat baik. Disebabkan oleh sifat-sifat ini, lapisan granit paling biasa digunakan dalam tiga jenis peranti semikonduktor yang berbeza - peralatan metrologi, peralatan litografi dan peralatan pemeriksaan.
Peralatan metrologi digunakan untuk mengukur dan mengesan dimensi kritikal peranti semikonduktor. Ia memainkan peranan penting dalam mengekalkan kualiti dan konsistensi proses pembuatan semikonduktor. Peralatan metrologi merangkumi instrumen seperti mikroskop optik, mikroskop elektron dan mikroskop daya atom (AFM). Memandangkan prestasi instrumen pengukuran ini bergantung pada kestabilan, ketepatan dan rintangan getarannya, granit adalah pilihan ideal untuk bahan lapisannya. Keseragaman dan kestabilan lapisan granit menyediakan platform yang stabil untuk instrumen, yang meningkatkan ketepatan dan kebolehpercayaannya.
Peralatan litografi digunakan untuk membuat corak mikrocip pada wafer. Proses litografi memerlukan tahap ketepatan dan kejituan yang tinggi untuk mencipta litar kompleks dan meningkatkan prestasi cip. Peralatan litografi termasuk sistem stepper dan pengimbas yang menggunakan cahaya untuk memindahkan imej ke atas wafer. Memandangkan proses litografi sangat sensitif terhadap getaran dan perubahan haba, lapisan berkualiti tinggi adalah penting untuk memastikan kestabilan dan kebolehulangan proses litografi. Lapisan granit menyediakan kestabilan yang diperlukan dan prestasi redaman getaran yang ketat untuk sistem litografi. Lapisan granit membolehkan sistem stepper atau pengimbas mengekalkan hubungan ruang yang tepat bagi memastikan ketepatan yang tinggi dan kualiti produk akhir.
Peralatan pemeriksaan digunakan untuk mengesan sebarang kecacatan pada peranti semikonduktor. Peralatan pemeriksaan merangkumi sistem seperti mikroskop pengimbasan laser, mikroskop elektron dan mikroskop optik. Dengan keperluan peranti ini untuk menjadi sangat tepat, stabil dan tahan getaran, lapisan granit adalah bahan yang sempurna. Sifat mekanikal dan kestabilan dimensi granit membantu dalam pengasingan getaran, yang meningkatkan ketepatan output peralatan pemeriksaan.
Kesimpulannya, lapisan granit adalah penting untuk industri semikonduktor dan digunakan secara meluas dalam pelbagai jenis peralatan. Ciri-ciri uniknya seperti kestabilan dimensi, pekali pengembangan haba yang rendah, dan kestabilan mekanikal yang sangat baik menjadikan granit pilihan ideal untuk bahan lapisan peralatan semikonduktor. Memandangkan lapisan granit berkualiti tinggi memberikan kestabilan, ketepatan dan rintangan getaran yang diperlukan kepada peralatan semikonduktor, ia akhirnya meningkatkan kualiti produk akhir. Oleh itu, penggunaan lapisan granit dalam peralatan semikonduktor pasti akan berterusan untuk tahun-tahun akan datang.
Masa siaran: 03-Apr-2024