Bahan granit digunakan secara meluas dalam industri semikonduktor kerana ciri-cirinya yang sangat baik, seperti kestabilan yang tinggi, pengembangan haba yang rendah dan rintangan kakisan yang tinggi. Ciri-ciri ini menjadikan granit bahan yang ideal untuk membina komponen berketepatan tinggi dalam sistem pemindahan wafer.
Dalam proses pembuatan semikonduktor, sistem pemindahan wafer memainkan peranan penting dalam mengangkut wafer merentasi pelbagai peringkat proses pembuatan. Ketepatan dan ketepatan adalah keperluan penting untuk sistem ini kerana penyimpangan kecil pun boleh menjejaskan keseluruhan proses. Oleh itu, komponen dalam sistem pemindahan wafer mesti diperbuat daripada bahan berkualiti tinggi, dan granit memenuhi kriteria tersebut.
Beberapa bahagian sistem pemindahan wafer yang diperbuat daripada bahan granit termasuk:
1. Meja Chuck Vakum
Meja chuck vakum digunakan untuk memegang wafer semasa proses, dan ia mesti mempunyai permukaan yang stabil bagi memastikan wafer tidak rosak. Granit merupakan bahan yang ideal untuk membuat meja ini kerana ia mempunyai permukaan yang rata dan tidak berliang yang memberikan kestabilan dan ketepatan yang tinggi. Selain itu, granit mempunyai pekali pengembangan haba yang rendah, menjadikannya tahan terhadap perubahan suhu yang boleh menyebabkan perubahan dimensi dalam wafer.
2. Peringkat Galas Udara
Peringkat galas udara digunakan untuk mengangkut wafer melalui pelbagai peringkat proses pembuatan. Peringkat ini direka bentuk untuk memberikan pergerakan tanpa geseran, yang memerlukan ketepatan dan kestabilan yang tinggi. Granit digunakan dalam aplikasi ini kerana ia merupakan batu yang tegar dan keras, serta tahan terhadap ubah bentuk dan haus dari semasa ke semasa.
3. Panduan Gerakan Linear
Panduan gerakan linear digunakan untuk membimbing peringkat galas udara, dan ia mesti diletakkan dengan tepat untuk meminimumkan ralat. Granit digunakan untuk membina panduan ini kerana ia mempunyai kestabilan dan kekuatan mekanikal yang sangat baik. Bahan ini juga tahan kakisan, yang memastikan jangka hayat sistem panduan.
4. Peralatan Metrologi
Peralatan metrologi digunakan untuk mengukur dimensi dan sifat wafer semasa proses pembuatan. Granit merupakan bahan yang ideal untuk membina peralatan ini kerana ia mempunyai kekakuan yang tinggi, pengembangan yang rendah dan ubah bentuk yang minimum di bawah beban. Selain itu, kestabilan terma granit memastikan peralatan metrologi kekal stabil dan tepat dari semasa ke semasa.
Kesimpulannya, industri semikonduktor bergantung pada ketepatan dan kejituan, dan bahan granit telah terbukti sangat andal dan stabil dalam proses pembuatan. Dengan banyak komponen kritikal dalam sistem pemindahan wafer yang memerlukan kestabilan, ketepatan dan pengembangan haba yang rendah, jurutera telah beralih kepada bahan granit untuk memenuhi keperluan kritikal ini.
Masa siaran: 19 Mac 2024