Bahan granit digunakan secara meluas dalam industri semikonduktor kerana ciri -ciri yang sangat baik, seperti kestabilan yang tinggi, pengembangan haba yang rendah, dan ketahanan yang tinggi terhadap kakisan. Ciri-ciri ini menjadikan granit sebagai bahan yang ideal untuk membina komponen ketepatan tinggi dalam sistem pemindahan wafer.
Dalam proses pembuatan semikonduktor, sistem pemindahan wafer memainkan peranan penting dalam mengangkut wafer di pelbagai peringkat proses pembuatan. Ketepatan dan ketepatan adalah keperluan penting bagi sistem ini kerana penyimpangan sedikit dapat menjejaskan keseluruhan proses. Oleh itu, komponen dalam sistem pemindahan wafer mesti dibuat dari bahan berkualiti tinggi, dan granit memenuhi kriteria tersebut.
Beberapa bahagian sistem pemindahan wafer yang dibuat dari bahan granit termasuk:
1. Jadual chuck vakum
Jadual chuck vakum digunakan untuk memegang wafer semasa proses, dan ia mesti mempunyai permukaan yang stabil untuk memastikan wafer tidak rosak. Granit adalah bahan yang ideal untuk membuat jadual ini kerana ia mempunyai permukaan yang rata dan tidak berliang yang memberikan kestabilan dan ketepatan yang tinggi. Di samping itu, granit mempunyai pekali pengembangan haba yang rendah, menjadikannya tahan terhadap perubahan suhu yang boleh menyebabkan perubahan dimensi dalam wafer.
2. Tahap Bearing Air
Tahap galas udara digunakan untuk mengangkut wafer melalui pelbagai peringkat proses pembuatan. Tahap ini direkayasa untuk menyediakan pergerakan geseran, yang memerlukan ketepatan dan kestabilan yang tinggi. Granit digunakan dalam aplikasi ini kerana ia adalah batu tegar dan keras, dan ia menentang ubah bentuk dan memakai dari masa ke masa.
3. Panduan gerakan linear
Panduan gerakan linear digunakan untuk membimbing peringkat galas udara, dan mereka mesti diposisikan dengan tepat untuk meminimumkan kesilapan. Granit digunakan untuk membina panduan ini kerana ia mempunyai kestabilan dan kekuatan mekanikal yang sangat baik. Bahan ini juga tahan kakisan, yang memastikan panjang umur sistem panduan.
4. Peralatan Metrologi
Peralatan metrologi digunakan untuk mengukur dimensi dan sifat wafer semasa proses pembuatan. Granit adalah bahan yang ideal untuk membina peralatan ini kerana ia mempunyai kekakuan yang tinggi, pengembangan yang rendah, dan ubah bentuk minimum di bawah beban. Selain itu, kestabilan terma Granite memastikan bahawa peralatan metrologi tetap stabil dan tepat dari masa ke masa.
Kesimpulannya, industri semikonduktor bergantung kepada ketepatan dan ketepatan, dan bahan granit telah terbukti sangat dipercayai dan stabil dalam proses pembuatan. Dengan banyak komponen kritikal dalam sistem pemindahan wafer yang memerlukan kestabilan, ketepatan, dan pengembangan haba yang rendah, jurutera telah beralih kepada bahan granit untuk memenuhi keperluan kritikal ini.
Masa Post: Mar-19-2024