Dalam dunia pembuatan semikonduktor, peralatan yang tepat dan jitu adalah penting untuk menghasilkan cip berkualiti tinggi. Terdapat banyak bahagian kemudahan pembuatan semikonduktor yang mesti menggunakan bahan dengan sifat tertentu untuk memastikan operasi yang andal dan berketepatan tinggi.
Satu bahan yang telah menjadi komponen standard peralatan semikonduktor ialah granit. Dikenali dengan kekuatan dan kestabilannya, granit merupakan bahan yang sangat baik untuk membina dan membuat komponen yang digunakan dalam peralatan semikonduktor. Berikut adalah beberapa bahagian peralatan semikonduktor yang biasa menggunakan bahan granit:
1. Plat tapak
Plat tapak peralatan semikonduktor perlu sangat rata dan stabil untuk meminimumkan getaran dan variasi suhu. Dan granit adalah salah satu daripada beberapa bahan yang dapat memenuhi keperluan ini. Granit adalah bahan yang stabil secara dimensi yang menahan lengkungan dan pengembangan haba, memastikan plat tapak mengekalkan kerataannya dari semasa ke semasa.
2. Peringkat
Peringkat merupakan komponen penting dalam peralatan semikonduktor yang melakukan pergerakan tepat untuk proses pembuatan seperti penentuan kedudukan wafer, pengetsaan dan pemendapan. Peringkat granit digunakan secara meluas dalam peralatan semikonduktor kerana kekakuannya yang tinggi, pengembangan haba yang rendah dan sifat redaman yang sangat baik. Dengan peringkat granit, pergerakannya lebih tepat dan peralatan mempunyai risiko kegagalan yang lebih rendah.
3. Panduan linear
Panduan linear ialah peranti mekanikal yang memberikan gerakan linear di sepanjang dua rel selari. Ia perlu sangat stabil dan tepat, dan granit ialah bahan yang ideal untuk tujuan ini. Sifat kekakuan dan redaman granit yang tinggi menjadikannya pilihan popular untuk panduan linear yang digunakan dalam peralatan semikonduktor, memastikan kestabilan dan ketepatan dalam proses pembuatan.
4. Chucks
Chuck digunakan untuk memegang dan meletakkan wafer semasa pelbagai proses pembuatan. Chuck granit popular kerana kerataan dan kestabilan termanya. Disebabkan pengembangan terma granit yang rendah, chuck yang diperbuat daripada bahan ini tidak melengkung atau berubah dimensi apabila terdedah kepada perubahan suhu.
5. Plat pemeriksaan
Plat pemeriksaan digunakan untuk memeriksa kualiti produk yang dihasilkan dalam peralatan semikonduktor. Plat ini perlu sangat rata dan stabil, serta mampu memantulkan cahaya dengan tepat. Kebolehpantulan, kerataan permukaan dan kestabilan dimensi granit yang tinggi menjadikannya pilihan yang popular untuk plat pemeriksaan dalam peralatan semikonduktor.
Kesimpulannya, elemen granit digunakan secara meluas untuk bahagian ketepatan dalam peralatan semikonduktor, dan penggunaannya diunjurkan akan berkembang disebabkan oleh sifatnya yang sangat baik. Dengan kekakuan yang tinggi, pengembangan haba yang rendah, dan sifat redaman yang sangat baik, elemen granit memberikan kestabilan, ketepatan, dan kebolehulangan yang diperlukan untuk melaksanakan operasi skala nano dalam peralatan semikonduktor. Syarikat yang menghasilkan peralatan semikonduktor berkualiti tinggi melabur dalam bahan terbaik untuk memberikan peluang terbaik untuk berjaya kepada produk mereka, dan granit terus menjadi bahan pilihan kerana sifat dan kebolehpercayaannya yang sangat baik.
Masa siaran: 19 Mac 2024
