Dalam peralatan pembuatan semikonduktor dan optoelektronik, granit digunakan terutamanya dalam bahagian penting seperti platform gerakan ketepatan, tapak rel panduan, struktur sokongan pengasingan getaran, dan substrat pemasangan komponen optik. Bahagian ini mempunyai keperluan yang sangat tinggi untuk ketepatan, kestabilan dan toleransi alam sekitar. Ciri-ciri granit dengan tepat boleh memenuhi permintaan ketat industri semikonduktor dan optoelektronik. Berikut ialah analisis senario dan kelebihan aplikasi tertentu:
I. Bahagian Aplikasi Utama
Platform gerakan ketepatan (seperti platform wafer untuk mesin fotolitografi dan mesin ikatan)
Ia digunakan untuk membawa komponen ketepatan seperti wafer dan kanta optik, mencapai pergerakan terjemahan dan putaran dengan ketepatan skala nano.
Peralatan biasa: meja bahan kerja mesin fotolitografi, platform kedudukan peralatan pengukur.
Panduan asas rel dan struktur rangka
Sebagai asas pemasangan untuk panduan linear dan panduan pengapungan udara, ia menyokong mekanisme gerakan teras peralatan.
Peralatan biasa: bingkai mekanikal peralatan pembungkusan semikonduktor dan instrumen pemeriksaan optik.
Sokongan pengasingan getaran dan struktur penstabilan
Ia digunakan untuk mengasingkan getaran luaran (seperti getaran dari lantai kilang atau semasa operasi peralatan), memastikan kestabilan sistem optik atau jentera ketepatan.
Senario biasa: Sokongan asas untuk mikroskop optik dan interferometer laser.
Substrat pemasangan komponen optik
Betulkan peranti optik seperti cermin, prisma dan laser untuk memastikan kestabilan jangka panjang ketepatan penjajaran sistem laluan optik.
Peralatan biasa: Peralatan pembungkusan optoelektronik, sistem gandingan gentian optik.
Masa siaran: Mei-29-2025