Granit telah biasa digunakan dalam industri semikonduktor untuk pembuatan peralatan jitu, termasuk peralatan pemprosesan wafer. Ini disebabkan oleh sifat-sifat cemerlang bahan tersebut seperti kekakuan yang tinggi, pengembangan haba yang rendah dan redaman getaran yang tinggi. Ia menyediakan permukaan yang stabil dan rata, yang penting dalam penghasilan litar elektronik kecil pada wafer.
Apabila menggunakan granit dalam peralatan pemprosesan wafer, adalah penting untuk mengambil langkah berjaga-jaga yang betul bagi memastikan kecekapan dan jangka hayat maksimum. Berikut adalah beberapa petua untuk menggunakan dan menyelenggara granit dengan betul.
1. Pengendalian dan pemasangan yang betul
Granit merupakan bahan yang sangat berat dan rapuh yang memerlukan pengendalian dan pemasangan yang betul. Adalah penting untuk memastikan permukaan diratakan sebelum pemasangan. Sebarang ketidakrataan boleh mengakibatkan kerosakan pada peralatan, yang boleh menjejaskan kualiti wafer yang dihasilkan. Granit harus dikendalikan dengan berhati-hati dan harus diangkut dan dipasang dengan bantuan peralatan khusus.
2. Pembersihan berkala
Peralatan pemprosesan wafer yang menggunakan granit perlu dibersihkan secara berkala untuk mengelakkan pengumpulan serpihan dan kotoran di permukaan. Pengumpulan serpihan boleh menyebabkan calar atau menyebabkan pembentukan retakan, yang boleh menjejaskan kualiti wafer yang dihasilkan. Kain lembut dan larutan sabun yang lembut sudah memadai untuk membersihkan permukaan granit. Detergen dan bahan kimia yang keras harus dielakkan kerana ia boleh merosakkan permukaan.
3. Penyelenggaraan pencegahan
Penyelenggaraan pencegahan adalah penting untuk memastikan peralatan pemprosesan wafer berfungsi secara optimum. Peralatan dan permukaan granit perlu diperiksa secara berkala, dan sebarang tanda kerosakan perlu ditangani dengan segera. Ini dapat membantu mengesan masalah lebih awal dan mencegahnya daripada muncul menjadi masalah yang lebih besar yang lebih mahal untuk dibaiki.
4. Elakkan kitaran terma
Granit sensitif terhadap perubahan suhu, dan kitaran haba harus dielakkan. Perubahan suhu yang cepat boleh menyebabkan granit mengembang dan mengecut, yang mengakibatkan keretakan atau melengkungnya permukaan. Mengekalkan suhu yang stabil di dalam bilik pemprosesan dapat membantu mencegah perkara ini daripada berlaku. Selain itu, adalah penting untuk mengelakkan meletakkan objek panas di permukaan granit untuk mengelakkan kejutan haba.
Kesimpulannya, granit merupakan bahan yang biasa digunakan dalam peralatan pemprosesan wafer kerana sifat-sifat unggulnya yang menyumbang kepada penghasilan wafer berkualiti tinggi. Bagi memastikan kecekapan dan jangka hayat yang maksimum, pengendalian yang betul, pembersihan berkala, penyelenggaraan pencegahan dan mengelakkan kitaran haba adalah penting. Amalan ini dapat membantu memastikan peralatan berada dalam keadaan yang sangat baik, menghasilkan produktiviti optimum dan wafer berkualiti tinggi.
Masa siaran: 27 Dis-2023