Granit telah biasa digunakan dalam industri semikonduktor untuk pembuatan peralatan ketepatan, termasuk peralatan pemprosesan wafer.Ini disebabkan oleh sifat bahan yang sangat baik seperti kekakuan yang tinggi, pengembangan haba yang rendah dan redaman getaran yang tinggi.Ia menyediakan permukaan yang stabil dan rata, yang penting dalam penghasilan litar elektronik kecil pada wafer.
Apabila menggunakan granit dalam peralatan pemprosesan wafer, adalah penting untuk mengambil langkah berjaga-jaga yang sewajarnya untuk memastikan kecekapan maksimum dan jangka hayat.Berikut adalah beberapa petua untuk menggunakan dan mengekalkan granit dengan betul.
1. Pengendalian dan pemasangan yang betul
Granit adalah bahan yang sangat berat dan rapuh yang memerlukan pengendalian dan pemasangan yang betul.Adalah penting untuk memastikan permukaan diratakan sebelum dipasang.Sebarang ketidaksamaan boleh menyebabkan kerosakan pada peralatan, yang boleh menjejaskan kualiti wafer yang dihasilkan.Granit harus dikendalikan dengan berhati-hati dan harus diangkut dan dipasang dengan bantuan peralatan khusus.
2. Pembersihan tetap
Peralatan pemprosesan wafer yang menggunakan granit perlu dibersihkan secara berkala bagi mengelakkan pengumpulan serpihan dan kotoran pada permukaan.Pengumpulan serpihan boleh menyebabkan calar atau menyebabkan pembentukan keretakan, yang boleh menjejaskan kualiti wafer yang dihasilkan.Kain lembut dan larutan sabun lembut boleh mencukupi untuk membersihkan permukaan granit.Detergen dan bahan kimia yang keras harus dielakkan kerana ia boleh merosakkan permukaan.
3. Penyelenggaraan pencegahan
Penyelenggaraan pencegahan adalah penting untuk memastikan peralatan pemprosesan wafer berfungsi secara optimum.Peralatan dan permukaan granit hendaklah diperiksa secara berkala, dan sebarang tanda kerosakan harus ditangani dengan segera.Ini boleh membantu mengesan masalah lebih awal dan mengelakkannya daripada timbul masalah yang lebih besar yang lebih mahal untuk dibaiki.
4. Elakkan kitaran haba
Granit sensitif kepada perubahan suhu, dan kitaran haba harus dielakkan.Perubahan suhu yang pantas boleh menyebabkan granit mengembang dan mengecut, menyebabkan permukaan retak atau melengkung.Mengekalkan suhu yang stabil di dalam bilik pemprosesan boleh membantu mengelakkan perkara ini daripada berlaku.Selain itu, adalah penting untuk mengelakkan meletakkan objek panas pada permukaan granit untuk mengelakkan kejutan haba.
Kesimpulannya, granit adalah bahan yang biasa digunakan dalam peralatan pemprosesan wafer kerana sifat unggulnya yang menyumbang kepada penghasilan wafer yang berkualiti tinggi.Untuk memastikan kecekapan dan jangka hayat maksimum, pengendalian yang betul, pembersihan tetap, penyelenggaraan pencegahan dan mengelakkan kitaran haba adalah penting.Amalan ini boleh membantu memastikan peralatan dalam keadaan cemerlang, menghasilkan produktiviti optimum dan wafer berkualiti tinggi.
Masa siaran: Dis-27-2023