Tapak mesin granit banyak digunakan dalam produk peralatan pemprosesan wafer kerana sifat unggulnya seperti kekakuan, kestabilan dan ketepatan yang tinggi. Memasang, menguji dan menentukur tapak mesin granit merupakan proses kritikal yang memerlukan perhatian sepenuhnya terhadap perincian, ketepatan dan ketepatan. Dalam artikel ini, kita akan membincangkan proses langkah demi langkah memasang, menguji dan menentukur tapak mesin granit untuk produk peralatan pemprosesan wafer.
Pemasangan
Langkah pertama ialah menyediakan plat permukaan granit, tapak dan tiang untuk pemasangan. Pastikan semua permukaan bersih, kering dan bebas daripada sebarang serpihan, habuk atau minyak. Masukkan stud perataan ke dalam tapak dan letakkan plat permukaan di atasnya. Laraskan stud perataan supaya plat permukaan mendatar dan rata. Pastikan plat permukaan rata dengan tapak dan tiang.
Seterusnya, pasangkan tiang pada tapak dan pasangkannya dengan bolt. Gunakan sepana tork untuk mengetatkan bolt kepada nilai tork yang disyorkan oleh pengilang. Periksa paras tiang dan laraskan stud perataan jika perlu.
Akhir sekali, pasangkan pemasangan gelendong di bahagian atas tiang. Gunakan sepana tork untuk mengetatkan bolt kepada nilai tork yang disyorkan oleh pengilang. Periksa paras pemasangan gelendong dan laraskan stud perataan jika perlu.
Pengujian
Selepas memasang tapak mesin, langkah seterusnya adalah untuk menguji kefungsian dan ketepatannya. Sambungkan bekalan kuasa dan hidupkan mesin. Pastikan semua komponen seperti motor, gear, tali sawat dan galas berfungsi dengan baik dan tanpa sebarang keabnormalan atau bunyi yang luar biasa.
Untuk menguji ketepatan mesin, gunakan penunjuk dail jitu untuk mengukur larian gelendong. Tetapkan penunjuk dail pada plat permukaan, dan putar gelendong. Larian maksimum yang dibenarkan hendaklah kurang daripada 0.002 mm. Jika larian lebih besar daripada had yang dibenarkan, laraskan stud perataan dan periksa semula.
Penentukuran
Penentukuran merupakan langkah penting dalam memastikan ketepatan dan kejituan tapak mesin. Proses penentukuran melibatkan pengujian dan pelarasan parameter mesin, seperti kelajuan, kedudukan dan ketepatan, untuk memastikan mesin memenuhi spesifikasi pengeluar.
Untuk menentukur mesin, anda memerlukan alat penentukuran, yang merangkumi interferometer laser, penjejak laser atau bar bebola. Alat ini mengukur gerakan, kedudukan dan penjajaran mesin dengan ketepatan yang tinggi.
Mulakan dengan mengukur paksi linear dan sudut mesin. Gunakan alat penentukuran untuk mengukur gerakan dan kedudukan mesin pada jarak atau sudut tertentu. Bandingkan nilai yang diukur dengan spesifikasi pengilang. Jika terdapat sebarang sisihan, laraskan parameter mesin, seperti motor, gear dan pemacu, untuk menjadikan nilai yang diukur berada dalam had yang dibenarkan.
Seterusnya, uji fungsi interpolasi bulat mesin. Gunakan alat penentukuran untuk mencipta laluan bulat dan ukur pergerakan serta kedudukan mesin. Sekali lagi, bandingkan nilai yang diukur dengan spesifikasi pengilang dan laraskan parameter jika perlu.
Akhir sekali, uji kebolehulangan mesin. Ukur kedudukan mesin pada titik yang berbeza dalam tempoh tertentu. Bandingkan nilai yang diukur dan semak sebarang sisihan. Jika terdapat sebarang sisihan, laraskan parameter mesin dan ulangi ujian.
Kesimpulan
Memasang, menguji dan menentukur tapak mesin granit untuk produk peralatan pemprosesan wafer merupakan proses kritikal yang memerlukan kesabaran, perhatian terhadap perincian dan ketepatan. Dengan mengikuti langkah-langkah ini, anda boleh memastikan bahawa mesin tersebut memenuhi spesifikasi dan fungsi pengeluar dengan ketepatan, kestabilan dan ketepatan.
Masa siaran: 28 Dis-2023