IDalam industri pembuatan semikonduktor, ketepatan peralatan pemeriksaan wafer adalah penting untuk memastikan kualiti litar bersepadu. Pangkalan mesin granit berketepatan tinggi, seperti yang disediakan oleh ZHHIMG®, memainkan peranan penting dalam meningkatkan prestasi peralatan tersebut. Begini cara mereka membuat perubahan.
Kestabilan Dimensi Luar BiasaGranite mempunyai pekali pengembangan haba yang sangat rendah, sekitar (4–8)×10⁻⁶/℃, jauh lebih rendah daripada kebanyakan logam. Dalam persekitaran kilang semikonduktor yang dikawal ketat, walaupun turun naik suhu kecil boleh menyebabkan ralat pengukuran, asas mesin granit kekal stabil. Kestabilan ini memastikan bahawa kedudukan komponen dalam peralatan pemeriksaan wafer kekal tepat, menghalang sebarang penyelewengan akibat haba yang boleh menjejaskan ketepatan keputusan pemeriksaan.
Redaman Getaran UnggulLantai pengeluaran sering dipenuhi dengan getaran daripada pelbagai sumber. Sifat redaman semulajadi granit, dengan nisbah redaman 0.05–0.1, menyerap dan menghilangkan getaran ini dengan berkesan. Untuk wafer insp
eksi, yang menuntut pengimejan resolusi tinggi dan bacaan sensor yang tepat, pengurangan getaran yang disediakan oleh asas granit adalah tidak ternilai. Ia meminimumkan gangguan yang boleh mengaburkan imej atau memesongkan data penderia, membolehkan peralatan menangkap maklumat yang jelas dan tepat tentang permukaan wafer dan struktur dalaman.
Ketegaran Tinggi dan Rintangan HausDengan ketumpatan lebih kurang 3100 kg/m³, tapak mesin granit ZHHIMG® menawarkan ketegaran yang luar biasa. Mereka boleh menyokong komponen berat peralatan pemeriksaan wafer tanpa ubah bentuk, mengekalkan penjajaran sistem optik dan mekanikal. Selain itu, kekerasan tinggi granit (skala Mohs 6–7) dan rintangan haus yang sangat baik memastikan permukaan tapak mesin kekal rata dan licin dari semasa ke semasa. Konsistensi ini penting untuk ketepatan jangka panjang, kerana sebarang haus atau ubah bentuk pada tapak secara beransur-ansur boleh merendahkan ketepatan peralatan.
Kelalaian Kimia Pembuatan semikonduktor melibatkan pendedahan kepada pelbagai bahan kimia. Kelalaian kimia granit menjadikannya tahan terhadap kakisan daripada bahan-bahan ini. Harta ini melindungi integriti asas mesin, menghalang kerosakan akibat bahan kimia yang boleh menjejaskan kestabilan dan ketepatan peralatan pemeriksaan.
Kesimpulannya, asas mesin granit berketepatan tinggi bukan sekadar komponen tetapi pemboleh utama untuk mencapai keperluan ketepatan yang tepat bagi peralatan pemeriksaan wafer. Apabila memilih pangkalan mesin granit, pilih pembekal yang dipercayai seperti ZHHIMG®. Dengan pelbagai pensijilan dan komitmen terhadap kualiti, ZHHIMG® memastikan setiap asas mesin granit memberikan kebolehpercayaan dan prestasi yang diperlukan untuk pembuatan semikonduktor termaju.
Masa siaran: Jun-03-2025