IDalam industri pembuatan semikonduktor, ketepatan peralatan pemeriksaan wafer adalah penting untuk memastikan kualiti litar bersepadu. Tapak mesin granit berketepatan tinggi, seperti yang disediakan oleh ZHHIMG®, memainkan peranan penting dalam meningkatkan prestasi peralatan sedemikian. Beginilah cara ia membuat perbezaan.
Kestabilan Dimensi Luar Biasa Granit mempunyai pekali pengembangan haba yang sangat rendah, sekitar (4–8)×10⁻⁶/℃, jauh lebih rendah daripada kebanyakan logam. Dalam persekitaran kilang semikonduktor yang dikawal ketat, di mana turun naik suhu yang kecil pun boleh menyebabkan ralat pengukuran, tapak mesin granit kekal stabil. Kestabilan ini memastikan kedudukan komponen dalam peralatan pemeriksaan wafer kekal tepat, mencegah sebarang sisihan yang disebabkan oleh haba yang boleh menjejaskan ketepatan keputusan pemeriksaan.
Redaman Getaran UnggulLantai pengeluaran sering dipenuhi dengan getaran daripada pelbagai sumber. Sifat redaman semula jadi granit, dengan nisbah redaman 0.05–0.1, menyerap dan menghilangkan getaran ini dengan berkesan. Untuk inspeksi wafer
Dalam kajian yang memerlukan pengimejan resolusi tinggi dan bacaan sensor yang tepat, pengurangan getaran yang diberikan oleh asas granit adalah sangat berharga. Ia meminimumkan gangguan yang boleh mengaburkan imej atau memesongkan data sensor, membolehkan peralatan menangkap maklumat yang jelas dan tepat tentang permukaan dan struktur dalaman wafer.
Ketegaran Tinggi dan Rintangan Haus Dengan ketumpatan kira-kira 3100 kg/m³, tapak mesin granit ZHHIMG® menawarkan ketegaran yang luar biasa. Ia boleh menyokong komponen berat peralatan pemeriksaan wafer tanpa berubah bentuk, mengekalkan penjajaran sistem optik dan mekanikal. Selain itu, kekerasan granit yang tinggi (skala Mohs 6–7) dan rintangan haus yang sangat baik memastikan permukaan tapak mesin kekal rata dan licin dari semasa ke semasa. Ketekalan ini penting untuk ketepatan jangka panjang, kerana sebarang haus atau ubah bentuk pada tapak boleh menjejaskan ketepatan peralatan secara beransur-ansur.
Ketidakaktifan Kimia Pembuatan semikonduktor melibatkan pendedahan kepada pelbagai bahan kimia. Ketidakaktifan kimia granit menjadikannya tahan terhadap kakisan daripada bahan-bahan ini. Sifat ini melindungi integriti tapak mesin, mencegah kerosakan akibat bahan kimia yang boleh menjejaskan kestabilan dan ketepatan peralatan pemeriksaan.
Kesimpulannya, tapak mesin granit berketepatan tinggi bukan sekadar komponen tetapi merupakan pemboleh utama untuk mencapai keperluan ketepatan yang tepat bagi peralatan pemeriksaan wafer. Apabila memilih tapak mesin granit, pilih penyedia yang dipercayai seperti ZHHIMG®. Dengan pelbagai pensijilan dan komitmen terhadap kualiti, ZHHIMG® memastikan bahawa setiap tapak mesin granit memberikan kebolehpercayaan dan prestasi yang diperlukan untuk pembuatan semikonduktor termaju.
Masa siaran: 03-Jun-2025