,
,
Dalam dunia pembuatan semikonduktor yang tepat, ujian tidak merosakkan wafer adalah pautan utama untuk memastikan kualiti cip. Pangkalan granit yang kelihatan tidak penting sebenarnya adalah "wira tidak didendang" yang menentukan ketepatan pengesanan. Bagaimanakah ia mempengaruhi keputusan ujian? Artikel ini akan menjalankan analisis mendalam daripada dimensi seperti sifat bahan dan reka bentuk struktur. ,
1. Asas Stabil: Kelebihan semula jadi granit meletakkan asas yang kukuh untuk ketepatan
1. Prestasi seismik yang sangat baik
Semasa pengendalian peralatan ujian tidak merosakkan wafer, putaran motor dan pergerakan komponen mekanikal semuanya akan menghasilkan getaran. Jika getaran ini tidak ditekan dengan berkesan, ia akan mengganggu ketepatan ujian dengan serius. Bahagian dalam granit dijalin rapat dengan kristal mineral seperti kuarza dan feldspar. Struktur uniknya memberikannya kapasiti penyerapan getaran semula jadi, yang mampu menyerap lebih 90% tenaga getaran peralatan. Data ukuran sebenar pengeluar semikonduktor tertentu menunjukkan bahawa selepas menggunakan asas granit, amplitud getaran peralatan pengesanan telah dikurangkan daripada 12μm kepada 2μm, dengan berkesan mengelakkan sisihan isyarat pengesanan yang disebabkan oleh getaran. ,
2. Pekali pengembangan haba yang sangat rendah
Semasa proses pengesanan, faktor seperti pemanasan peralatan dan perubahan suhu persekitaran semuanya akan menjejaskan kestabilan pangkalan mesin. Bahan biasa mengembang dengan ketara apabila dipanaskan, tetapi pekali pengembangan haba granit hanya 1/5 daripada keluli. Walaupun suhu ambien turun naik sebanyak 10 ℃, ubah bentuknya boleh diabaikan. Ini membolehkan asas granit menyediakan platform rujukan yang stabil untuk peralatan pemeriksaan, memastikan kedudukan relatif antara probe pemeriksaan dan wafer kekal tepat pada setiap masa dan mengelakkan ralat pemeriksaan yang disebabkan oleh ubah bentuk haba. ,
Kedua, reka bentuk tepat: Pengoptimuman struktur meningkatkan lagi kebolehpercayaan pengesanan
Pemprosesan ketepatan tinggi dan jaminan kerataan
Pangkalan granit berkualiti tinggi diproses oleh teknologi CNC pautan lima paksi termaju, dengan kerataan ±0.5μm/m, menyediakan rujukan pemasangan ultra rata untuk peralatan pemeriksaan. Dalam pemeriksaan wafer, ketegakkan dan kerataan probe pemeriksaan adalah penting untuk hasil pemeriksaan. Pangkalan granit berketepatan tinggi boleh memastikan kedudukan probe yang tepat, menjadikan data pemeriksaan lebih tepat dan boleh dipercayai. ,
2. Penyesuaian struktur tersuai
Pangkalan mesin granit boleh disesuaikan untuk peralatan ujian tidak merosakkan wafer yang berbeza dan keperluan proses. Sebagai contoh, untuk memenuhi keperluan peralatan pemeriksaan optik untuk pantulan cahaya, permukaan asas mesin boleh dirawat secara khusus; Untuk memenuhi keperluan pemasangan peralatan ujian ultrasonik, asas boleh dibuat pasang siap dengan lubang pemasangan yang tepat dan dulang kabel, membolehkan pemasangan peralatan yang cepat dan tepat dan mengurangkan sisihan pengesanan yang disebabkan oleh ralat pemasangan. ,
iii. Kestabilan jangka panjang: Kurangkan kehilangan ketepatan yang disebabkan oleh penyelenggaraan peralatan
Granit mempunyai kekerasan yang tinggi dan rintangan haus yang kuat, dengan kekerasan Mohs 6 hingga 7, iaitu tiga kali rintangan haus keluli biasa. Semasa operasi pemeriksaan jangka panjang, permukaan pangkalan mesin tidak terdedah kepada haus dan sentiasa boleh mengekalkan keadaan ketepatan yang baik. Sebaliknya, tapak yang diperbuat daripada bahan lain boleh menyebabkan perubahan dalam rujukan pemasangan peralatan akibat haus dan lusuh, seterusnya menjejaskan ketepatan pengesanan dan memerlukan penentukuran dan penyelenggaraan yang kerap. Hayat perkhidmatan yang panjang dan kestabilan tinggi asas granit secara berkesan mengurangkan kekerapan penyelenggaraan peralatan dan mengurangkan risiko kehilangan ketepatan yang mungkin berlaku semasa proses penyelenggaraan. ,
Daripada rintangan kejutan, rintangan haba kepada reka bentuk yang tepat, setiap ciri asas granit melindungi ketepatan ujian wafer yang tidak merosakkan. Dalam era pembuatan semikonduktor hari ini yang mengejar ketepatan muktamad, memilih asas granit berkualiti tinggi adalah seperti menambahkan lapisan insurans yang kukuh kepada ketepatan dan kebolehpercayaan keputusan ujian. ,
Masa siaran: Jun-18-2025