Dalam "kilang super" pembuatan cip, setiap wafer sebesar kuku membawa litar yang tepat, dan kunci untuk menentukan sama ada litar ini boleh dibentuk dengan tepat sebenarnya tersembunyi di dalam batu yang tidak biasa - ini adalah granit. Hari ini, mari kita bincangkan tentang "senjata rahsia" granit - kapasiti redamannya - dan bagaimana ia menjadi "malaikat penjaga" peralatan pengimbasan wafer.
Apakah itu redaman? Bolehkah batu juga "menyerap getaran"?
Redaman kedengaran sangat profesional, tetapi sebenarnya, prinsipnya sangat mudah. Bayangkan anda tiba-tiba berhenti semasa berlari. Jika tiada kusyen, badan anda akan meluru ke hadapan akibat inersia. Dan redaman adalah seperti tangan yang tidak kelihatan, membantu anda "membrek" dengan cepat. Struktur dalaman granit terdiri daripada kristal mineral yang saling berjalin seperti kuarza dan feldspar, dan terdapat banyak rekahan kecil dan titik geseran di antara kristal ini. Apabila getaran luaran dihantar ke granit, rekahan dan titik geseran ini mula "berfungsi", menukar tenaga getaran menjadi tenaga haba dan secara beransur-ansur menghilangkannya, membolehkan getaran berhenti dengan cepat. Ini sama seperti memasang "penyerap hentakan super" pada peranti, menjadikannya tidak lagi "berjabat tangan".
Pengimbasan wafer: Kesilapan kecil boleh menyebabkan ralat besar
Peranti pengimbas wafer adalah seperti kamera jitu yang "mengambil gambar" wafer, mengesan dan melukis corak litar pada skala nano. Walau bagaimanapun, semasa operasi peralatan, putaran motor dan pergerakan komponen mekanikal akan menghasilkan getaran frekuensi tinggi. Jika getaran ini tidak dikawal, kanta pengimbas akan "kabur" seperti kamera yang tidak stabil, mengakibatkan data pengesanan yang tidak tepat dan juga merosakkan keseluruhan wafer secara langsung.
Apabila tapak logam biasa mengalami getaran, ia sering "menghentam kuat", dengan getaran dipantulkan ke belakang dan ke belakang dalam logam, menjadi semakin teruk akibat gegaran. Granit, dengan kapasiti redamannya yang sangat baik, boleh menyerap lebih daripada 80% tenaga getaran. Satu kes sebenar di sebuah kilang semikonduktor tertentu menunjukkan bahawa sebelum tapak granit digantikan, tepi imej wafer yang diambil oleh peralatan pengimbasan adalah kabur, dengan sisihan setinggi ±3μm. Selepas bertukar kepada tapak granit, kejelasan imej bertambah baik dengan ketara, sisihan dikurangkan kepada ±0.5μm, dan kadar hasil melonjak daripada 82% kepada 96%!
Krisis Resonans: Bagaimanakah Granit "Meredakan Bahaya"?
Selain daripada getaran peralatan itu sendiri, getaran kecil daripada persekitaran luaran (seperti operasi mesin di sebelah atau bunyi tapak kaki pekerja yang berjalan) juga boleh menyebabkan masalah besar. Apabila frekuensi getaran luaran selaras dengan frekuensi peralatan itu sendiri, resonans akan berlaku, sama seperti menggoncang jeli, semakin besar amplitudnya, semakin banyak anda menggoncangnya. Ciri-ciri redaman granit adalah seperti meletakkan "penyumbat telinga kalis bunyi" pada peralatan, meluaskan julat frekuensi resonans peralatan dan menjadikannya kurang berkemungkinan untuk selari dengan dunia luar. Data menunjukkan bahawa selepas menggunakan asas granit, risiko resonans peralatan telah dikurangkan sebanyak 95%, dan kestabilan telah dipertingkatkan sebanyak tiga kali ganda!
Pencerahan tentang "redaman" dalam kehidupan
Malah, prinsip redaman juga sangat biasa dalam kehidupan seharian. Penyerap hentakan kereta membolehkan kita memandu dengan lancar di jalan raya yang beralun, dan fungsi pembatalan hingar pada fon kepala dapat menyekat hingar luaran. Semua ini mencapai kestabilan dengan "menyerap tenaga". Granit telah membawa keupayaan ini ke tahap yang ekstrem dan telah menjadi bahan utama yang sangat diperlukan dalam bidang pembuatan cip.
Lain kali anda melihat granit, jangan anggap ia sebagai batu biasa sahaja! Dalam dunia pembuatan semikonduktor yang canggih, bahan-bahan yang kelihatan biasa inilah, dengan "kuasa besar" uniknya, yang memacu teknologi ke hadapan secara berterusan.
Masa siaran: 17 Jun 2025