Dalam "kilang super" pembuatan cip, setiap wafer sebesar kuku membawa litar yang tepat, dan kunci untuk menentukan sama ada litar ini boleh dibentuk dengan tepat sebenarnya tersembunyi di dalam batu yang tidak biasa - ini adalah granit. Hari ini, mari kita bercakap tentang "senjata rahsia" granit - kapasiti redamannya - dan bagaimana ia menjadi "malaikat penjaga" peralatan pengimbasan wafer.
Apakah redaman? Bolehkah batu juga "menyerap getaran"?
Redaman kedengaran sangat profesional, tetapi sebenarnya, prinsipnya sangat mudah. Bayangkan anda tiba-tiba berhenti semasa berlari. Jika tiada kusyen, badan anda akan tergesa-gesa ke hadapan kerana inersia. Dan redaman adalah seperti tangan yang tidak kelihatan, membantu anda untuk "brek" dengan cepat. Struktur dalaman granit terdiri daripada kristal mineral berjalin seperti kuarza dan feldspar, dan terdapat banyak celah kecil dan titik geseran antara kristal ini. Apabila getaran luaran dihantar ke granit, celah dan titik geseran ini mula "berfungsi", menukar tenaga getaran kepada tenaga haba dan secara beransur-ansur melesapkannya, membolehkan getaran berhenti dengan cepat. Ini sama seperti memasang "penyerap hentakan super" pada peranti, menjadikannya tidak lagi "berjabat tangan".
Pengimbasan wafer: Ralat kecil boleh menyebabkan ralat besar
Peranti pengimbasan wafer adalah seperti kamera ketepatan yang "mengambil gambar" wafer, mengesan dan melukis corak litar pada skala nano. Walau bagaimanapun, semasa pengendalian peralatan, putaran motor dan pergerakan komponen mekanikal akan menghasilkan getaran frekuensi tinggi. Jika getaran ini tidak dikawal, kanta pengimbasan akan "kabur" seperti kamera yang tidak stabil, mengakibatkan data pengesanan tidak tepat dan malah langsung membuang keseluruhan wafer.
Apabila tapak logam biasa mengalami getaran, ia selalunya "menghentam dengan kuat", dengan getaran dipantulkan ke sana ke mari dalam logam, menjadi semakin teruk gegaran. Granit, dengan kapasiti redamannya yang sangat baik, boleh menyerap lebih daripada 80% tenaga getaran. Kes sebenar kilang semikonduktor tertentu menunjukkan bahawa sebelum asas granit diganti, tepi imej wafer yang diambil oleh peralatan pengimbasan adalah kabur, dengan sisihan setinggi ±3μm. Selepas bertukar kepada asas granit, kejelasan imej telah bertambah baik dengan ketara, sisihan dikurangkan kepada ±0.5μm, dan kadar hasil melonjak daripada 82% kepada 96%!
Krisis Resonans: Bagaimana Granit "Meredakan Bahaya"?
Selain daripada getaran peralatan itu sendiri, getaran kecil dari persekitaran luaran (seperti pengendalian mesin di sebelah atau tapak kaki pekerja berjalan) juga boleh menyebabkan masalah besar. Apabila frekuensi getaran luaran konsisten dengan frekuensi peralatan itu sendiri, resonans akan berlaku, sama seperti menggoncang jeli, lebih besar amplitud semakin banyak anda goncang. Ciri-ciri redaman granit adalah seperti meletakkan "penyumbat telinga kalis bunyi" pada peralatan, meluaskan julat frekuensi resonan peralatan dan menjadikannya kurang berkemungkinan selari dengan dunia luar. Data menunjukkan bahawa selepas menggunakan asas granit, risiko resonans peralatan telah dikurangkan sebanyak 95%, dan kestabilan telah dipertingkatkan sebanyak tiga kali ganda!
Pencerahan "damping" dalam kehidupan
Malah, prinsip redaman juga sangat biasa dalam kehidupan seharian. Penyerap hentak kereta membolehkan kita memandu dengan lancar di jalan yang bergelombang, dan fungsi pembatalan hingar pada fon kepala boleh menghalang bunyi luaran. Semua ini mencapai kestabilan dengan "menyerap tenaga". Granit telah membawa keupayaan ini ke tahap yang melampau dan telah menjadi bahan utama yang sangat diperlukan dalam bidang pembuatan cip.
Lain kali anda melihat granit, jangan hanya menganggapnya sebagai batu biasa! Dalam dunia pembuatan semikonduktor yang canggih, bahan-bahan yang kelihatan seperti biasa inilah yang, dengan "kuasa besar" uniknya, memacu teknologi ke hadapan secara berterusan.
Masa siaran: Jun-17-2025