Dalam makmal ketepatan untuk pembuatan cip, terdapat "wira di sebalik tabir" yang nampaknya tidak luar biasa - tapak mesin granit. Jangan pandang rendah batu ini. Ia adalah kunci untuk memastikan ketepatan ujian wafer tanpa pemusnah! Hari ini, mari kita lihat bagaimana ia memastikan peralatan pengesanan sentiasa "mendatar dan menegak".
1. Dilahirkan dengan "gen yang stabil"
Granit bukanlah batu biasa. Struktur dalamannya seperti "teka-teki jigsaw mineral" yang saling berkait rapat. Kuarza, feldspar dan kristal lain tersusun rapat, dengan ketumpatan yang sangat tinggi dan hampir tiada lompang. Ini sama seperti membina rumah dengan konkrit bertetulang, yang kukuh dan stabil. Apabila peralatan pemeriksaan "diletakkan" di atasnya, walaupun beratnya beberapa tan, ubah bentuk asas granit boleh diabaikan, hanya sepersepuluh daripada keluli!
Lebih mengagumkan lagi ialah ia hampir tidak takut akan perubahan suhu. Bahan logam biasa cenderung untuk "mengembang dan menambah berat" apabila dipanaskan dan "mengecut dan menjadi lebih nipis" apabila disejukkan. Walau bagaimanapun, granit nampaknya mempunyai "keajaiban suhu yang tetap". Apabila suhu turun naik sebanyak 1℃, pengembangan dan pengecutannya hanya seperseribu rambut manusia. Perlu diingatkan bahawa walaupun terdapat sedikit perubahan dalam suhu makmal ujian, tapak granit boleh menyokong peralatan dengan kukuh dan menghalang kerataan daripada "menyimpang".
Kedua, teknik pemprosesan "butiran jahat"
Untuk menjadikan tapak granit lebih tepat, jurutera menggunakan "teknologi hitam" untuk pemprosesan. Bayangkan menggilap batu dengan "kertas pasir super" yang diperbuat daripada berlian - beginilah cara mesin pengisar lima paksi berfungsi. Ia akan mengisar permukaan granit agar lebih rata daripada cermin dalam tiga langkah:
Pengisaran kasar: Pertama, buang kecacatan permukaan batu dan kawal kerataan hingga satu perdua puluh rambut manusia.
Pengisaran separa halus: Penghalusan selanjutnya, dengan kerataan ditingkatkan kepada satu perlima puluh rambut manusia.
Pengisaran halus: Akhirnya, ia digilap dengan serbuk pengisaran ultra halus, mencapai kerataan seperseribu rambut manusia! Pada ketika ini, permukaan tapak granit adalah seperti "peringkat mendatar" yang dibuat khas untuk peralatan pemeriksaan.
Sesetengah dudukan mewah juga mempunyai "otak pintar" - tahap ketepatan tinggi terbina dalam adalah seperti "pengawal kecil" yang bertugas 24 jam sehari. Sebaik sahaja ia mengesan bahawa peralatan condong sebanyak 0.01 darjah (Sudut lebih kecil daripada hujung pen), peranti hidraulik akan segera diaktifkan dan "meluruskan" peralatan dalam masa 30 saat.
Ketiga, reka bentuk yang bijak meningkatkan lagi kestabilan
Para jurutera juga telah meneliti struktur tapak mesin tersebut. Bahagian bawahnya dibentuk menjadi bentuk sarang lebah heksagon, seperti sarang lebah, yang bukan sahaja mengurangkan berat tetapi juga mengagihkan tekanan secara sekata. Apabila prob pengesanan bergerak pada wafer, ubah bentuk pada setiap titik tapak hampir sama, memastikan rujukan mendatar kekal stabil sepanjang masa.
Lebih menakjubkan lagi ialah "penyerap hentakan halimunan" - penyerap hentakan seramik piezoelektrik - dipasang di antara tapak dan tanah. Ia boleh menangkap pelbagai getaran antara 1 hingga 1000Hz seperti radar dan serta-merta memancarkan gelombang songsang untuk "mengatasi" gangguan tersebut. Contohnya, getaran yang dihasilkan oleh operasi mesin di sebelah atau hentakan kenderaan yang lalu-lalang di luar semuanya "tidak berguna" di hadapannya.
Data sudah cukup jelas: Seberapa Kuatkah Kesannya?
Dalam aplikasi praktikal, prestasi asas granit benar-benar menakjubkan:
Pemeriksaan optik: Ketepatan mengenal pasti kecacatan permukaan pada wafer telah dipertingkatkan daripada 3 mikron kepada 1 mikron (1 mikron = satu perenam puluh rambut manusia).
Ujian ultrasonik: Ralat dalam mengukur ketebalan wafer telah dikurangkan sebanyak tiga perempat.
Penggunaan jangka panjang: Selepas operasi berterusan selama setahun, perubahan dalam kerataan hampir boleh diabaikan, manakala tapak mesin biasa telah lama menjadi "membongkok".
Daripada kelebihan bahan semula jadi hinggalah pemprosesan yang tepat dan reka bentuk yang inovatif, tapak granit telah membuktikan dengan "kekuatannya" bahawa jika anda ingin mengesan serpihan dengan tepat, batu ini benar-benar sangat diperlukan!
Masa siaran: 18 Jun 2025