Dalam makmal ketepatan untuk pembuatan cip, terdapat "wira di sebalik tabir" yang kelihatan tidak biasa - pangkalan mesin granit. Jangan memandang rendah batu ini. Ia adalah kunci untuk memastikan ketepatan ujian tidak merosakkan wafer! Hari ini, mari kita lihat bagaimana ia memastikan peralatan pengesan sentiasa "mendatar dan menegak".
1. Dilahirkan dengan "gen yang stabil"
Granit bukan batu biasa. Struktur dalamannya seperti "teka-teki jigsaw mineral" yang saling berkunci rapat. Kuarza, feldspar dan kristal lain tersusun rapat, dengan ketumpatan yang sangat tinggi dan hampir tiada lompang. Ini sama seperti membina rumah dengan konkrit bertetulang, yang kedua-duanya pepejal dan stabil. Apabila peralatan pemeriksaan "duduk" di atasnya, walaupun beratnya beberapa tan, ubah bentuk asas granit boleh diabaikan, hanya satu persepuluh daripada keluli!
Lebih mengagumkan ialah ia hampir tidak takut perubahan suhu. Bahan logam biasa cenderung untuk "mengembang dan menambah berat" apabila dipanaskan dan "mengecut dan menjadi lebih nipis" apabila disejukkan. Walau bagaimanapun, granit nampaknya mempunyai "sihir suhu malar". Apabila suhu turun naik sebanyak 1 ℃, pengembangan dan pengecutannya hanya seperseribu daripada rambut manusia. Perlu diingatkan bahawa walaupun terdapat sedikit perubahan dalam suhu makmal ujian, asas granit dapat menyokong peralatan dengan kuat dan menghalang kerataan daripada "menyimpang".
Kedua, teknik pemprosesan "butiran syaitan"
Untuk menjadikan asas granit lebih tepat, jurutera menggunakan "teknologi hitam" untuk pemprosesan. Bayangkan menggilap batu dengan "kertas pasir super" yang diperbuat daripada berlian - beginilah cara mesin pengisar lima paksi berfungsi. Ia akan mengisar permukaan granit menjadi lebih rata daripada cermin dalam tiga langkah:
Pengisaran kasar: Mula-mula, keluarkan cela permukaan batu dan kawal kerataan hingga satu per dua puluh rambut manusia.
Pengisaran separa halus: Penapisan lebih lanjut, dengan kerataan meningkat kepada satu per lima puluh rambut manusia.
Pengisaran halus: Akhirnya, ia digilap dengan serbuk pengisar ultra-halus, mencapai kerataan seperseribu rambut manusia! Pada ketika ini, permukaan asas granit adalah seperti "peringkat mendatar" yang dibuat khusus untuk peralatan pemeriksaan.
Sesetengah pelekap mewah juga mempunyai "otak pintar" - tahap ketepatan tinggi terbina dalam adalah seperti "pengawal kecil" yang bertugas 24 jam sehari. Sebaik sahaja ia mengesan bahawa peralatan dicondongkan sebanyak 0.01 darjah (Sudut lebih kecil daripada hujung pen), peranti hidraulik akan segera mengaktifkan dan "meluruskan" peralatan dalam masa 30 saat.
Ketiga, reka bentuk yang bijak meningkatkan lagi kestabilan
Para jurutera juga memerah otak mereka tentang struktur pangkalan mesin. Bahagian bawah dibuat bentuk sarang lebah heksagon, sama seperti sarang lebah, yang bukan sahaja mengurangkan berat tetapi juga mengedarkan tekanan secara merata. Apabila probe pengesanan bergerak pada wafer, ubah bentuk pada setiap titik tapak adalah hampir sama, memastikan rujukan mendatar kekal stabil sepanjang masa.
Lebih menakjubkan ialah "penyerap hentak yang tidak kelihatan" - penyerap hentak seramik piezoelektrik - dipasang di antara tapak dan tanah. Ia boleh menangkap pelbagai getaran antara 1 hingga 1000Hz seperti radar dan serta-merta memancarkan gelombang terbalik untuk "melawan" gangguan. Sebagai contoh, getaran yang dihasilkan oleh pengendalian mesin di sebelah atau hentakan kenderaan yang lalu lalang di luar semuanya "tidak berguna" di hadapannya.
Data bercakap untuk dirinya sendiri: Sejauh manakah kesannya?
Dalam aplikasi praktikal, prestasi asas granit benar-benar menakjubkan:
Pemeriksaan optik: Ketepatan mengenal pasti kecacatan permukaan pada wafer telah dipertingkatkan daripada 3 mikron kepada 1 mikron (1 mikron = satu per enam puluh rambut manusia).
Ujian ultrasonik: Ralat dalam mengukur ketebalan wafer telah dikurangkan sebanyak tiga perempat.
Penggunaan jangka panjang: Selepas operasi berterusan selama setahun, perubahan kerataan hampir boleh diabaikan, manakala pangkalan mesin biasa telah lama menjadi "bongkok".
Daripada kelebihan bahan semula jadi kepada pemprosesan yang tepat dan reka bentuk yang inovatif, asas granit telah membuktikan dengan "kekuatan"nya bahawa jika anda ingin mengesan cip dengan tepat, batu ini sangat diperlukan!
Masa siaran: Jun-18-2025