Dalam bidang pembuatan semikonduktor, ketepatan adalah segala-galanya. Memandangkan teknologi pembuatan cip terus maju ke arah paras nanometer dan malah paras nanometer, sebarang ralat kecil boleh membawa kepada penurunan prestasi cip atau kegagalan sepenuhnya. Dalam persaingan untuk ketepatan muktamad ini, aksesori ketepatan granit, dengan sifat fizikal dan mekanikalnya yang unik, telah menjadi elemen utama dalam memastikan ketepatan skala nano pengeluaran cip.
Kestabilan yang luar biasa meletakkan asas untuk ketepatan
Persekitaran di bengkel pembuatan semikonduktor adalah kompleks, dan faktor luaran seperti getaran dan perubahan suhu sentiasa mengancam ketepatan pengeluaran. Aksesori ketepatan granit mempunyai kestabilan yang sangat tinggi, menyediakan asas yang kukuh untuk pengeluaran cip. Struktur dalamannya padat dan seragam, terbentuk melalui proses geologi selama ratusan juta tahun, dan ia mempunyai ciri redaman tinggi semula jadi. Apabila getaran luaran dihantar ke peralatan pengeluaran, bahagian ketepatan granit boleh menyerap dan melemahkan lebih 80% tenaga getaran dengan berkesan, dengan ketara mengurangkan kesan getaran pada peralatan ketepatan.
Ciri ini amat penting dalam proses fotolitografi. Fotolitografi ialah langkah penting dalam memindahkan corak reka bentuk cip ke wafer silikon, yang memerlukan meja kerja mesin fotolitografi untuk mengekalkan kestabilan yang sangat tinggi. Meja kerja ketepatan granit boleh mengasingkan gangguan getaran dari lantai bengkel dan peralatan lain, memastikan ralat kedudukan relatif antara wafer silikon dan topeng fotolitografi dikawal pada tahap nanometer semasa proses pendedahan mesin fotolitografi, dengan itu menjamin pemindahan tepat corak.
Di samping itu, pekali pengembangan haba granit adalah sangat rendah, biasanya antara 5 hingga 7×10⁻⁶/℃. Semasa proses pembuatan semikonduktor, haba yang dijana oleh pengendalian peralatan dan turun naik dalam suhu persekitaran bengkel boleh menyebabkan ubah bentuk haba bahan. Aksesori ketepatan granit hampir tidak terjejas oleh perubahan suhu dan sentiasa boleh mengekalkan dimensi dan bentuk yang stabil. Sebagai contoh, dalam proses goresan cip, walaupun sedikit perubahan dalam suhu boleh menyebabkan pengembangan haba komponen utama peralatan etsa, mengakibatkan penyelewengan dalam kedalaman dan ketepatan goresan. Walau bagaimanapun, menggunakan aksesori ketepatan granit sebagai komponen sokongan dan galas beban dengan berkesan boleh menghalang situasi ini daripada berlaku, memastikan ketepatan tinggi dan konsistensi proses goresan.
Pemprosesan ketepatan tinggi dan kelebihan kualiti permukaan
Teknologi pemprosesan ketepatan tinggi bahagian ketepatan granit juga merupakan faktor penting dalam memastikan ketepatan pengeluaran cip. Melalui teknologi pemprosesan ultra ketepatan termaju, kerataan permukaan, kelurusan dan penunjuk ketepatan lain aksesori granit boleh mencapai tahap yang sangat tinggi. Sebagai contoh, dengan menggunakan teknik pengisaran dan penggilap CNC, kekasaran permukaan granit boleh dikurangkan ke paras nanometer, menjadikan kemasan permukaan menghampiri kesan seperti cermin.
Dalam peralatan pembuatan cip, kualiti permukaan berketepatan tinggi komponen seperti rel panduan ketepatan granit dan gelangsar boleh mengurangkan geseran dan haus antara bahagian yang bergerak dengan ketara. Ini bukan sahaja meningkatkan kestabilan dan ketepatan pergerakan peralatan, tetapi juga memanjangkan hayat perkhidmatan peralatan. Ambil peralatan pembungkusan cip sebagai contoh. Rel panduan granit yang tepat boleh memastikan bahawa ralat trajektori pergerakan kepala pembungkusan semasa mengambil dan meletakkan cip dikawal pada tahap mikrometer atau malah nanometer, dengan itu mencapai penjajaran yang tepat dan sambungan yang boleh dipercayai antara cip dan substrat pembungkusan.
Anti-haus dan kestabilan jangka panjang
Pembuatan semikonduktor adalah proses pengeluaran yang berterusan dan jangka panjang, dan peralatan perlu beroperasi secara stabil untuk masa yang lama. Granit mempunyai rintangan haus yang sangat baik, dengan kekerasan Mohs 6 hingga 7, mampu menahan pergerakan dan beban mekanikal jangka panjang. Dalam operasi harian peralatan pembuatan cip, bahagian ketepatan granit tidak terdedah kepada haus dan lusuh dan sentiasa boleh mengekalkan prestasi dan ketepatan yang stabil.
Berbanding dengan bahan lain, granit tidak mengalami ubah bentuk keletihan atau kemerosotan prestasi semasa penggunaan jangka panjang. Ini bermakna peralatan pengeluaran cip menggunakan komponen ketepatan granit masih boleh mengekalkan ketepatan dan kestabilan yang tinggi selepas operasi jangka panjang, dengan berkesan mengurangkan kadar kecacatan produk yang disebabkan oleh penurunan ketepatan peralatan. Bagi pengeluar semikonduktor, ini bukan sahaja meningkatkan kecekapan pengeluaran tetapi juga mengurangkan kos pengeluaran.
Kesimpulan
Pada laluan mengejar ketepatan skala nano dalam pembuatan semikonduktor, bahagian ketepatan granit memainkan peranan yang tidak boleh ditukar ganti dengan kestabilan cemerlangnya, pemprosesan ketepatan tinggi dan kebolehpercayaan jangka panjang. Daripada fotolitografi kepada etsa, daripada pembungkusan cip kepada ujian, aksesori ketepatan granit dijalankan melalui setiap pautan utama dalam pengeluaran cip, memberikan jaminan kukuh untuk pembuatan cip berketepatan tinggi. Dengan pembangunan berterusan teknologi semikonduktor, keperluan untuk ketepatan akan menjadi semakin tinggi. Bahagian ketepatan granit juga akan terus memainkan peranan penting dalam bidang ini, membantu industri semikonduktor untuk sentiasa mencapai tahap baharu. Sama ada sekarang atau pada masa hadapan, bahagian ketepatan granit akan sentiasa menjadi daya teras yang memastikan ketepatan tahap nanometer dalam pembuatan semikonduktor.
Masa siaran: Mei-07-2025