Dalam bengkel pembuatan semikonduktor, keperluan proses pembuatan cip untuk keadaan persekitaran dan ketepatan peralatan adalah melampau, dan sebarang sisihan sedikit boleh menyebabkan penurunan ketara dalam hasil cip. Platform pergerakan gantri ketepatan XYZT bergantung pada komponen granit untuk bekerjasama dengan bahagian lain platform untuk membina asas yang kukuh untuk mencapai ketepatan skala nano.
Ciri menyekat getaran yang sangat baik
Dalam bengkel pembuatan semikonduktor, pengendalian peralatan persisian dan kakitangan yang berjalan-jalan boleh menyebabkan getaran. Struktur dalaman komponen granit adalah padat dan seragam, dengan ciri redaman tinggi semulajadi, seperti "penghalang" getaran yang cekap. Apabila getaran luaran dihantar ke platform XYZT, komponen granit boleh melemahkan lebih daripada 80% tenaga getaran dengan berkesan dan mengurangkan gangguan getaran pada ketepatan gerakan platform. Pada masa yang sama, platform ini dilengkapi dengan sistem panduan apungan udara berketepatan tinggi, yang berfungsi bersama dengan komponen granit. Panduan apungan udara menggunakan filem gas stabil yang dibentuk oleh gas tekanan tinggi untuk merealisasikan pergerakan suspensi tanpa sentuhan bahagian bergerak platform dan mengurangkan getaran kecil yang disebabkan oleh geseran mekanikal. Bersama-sama, kedua-duanya memastikan ketepatan kedudukan platform sentiasa dikekalkan pada tahap nanometer dalam proses utama seperti litografi cip dan etsa, dan mengelakkan sisihan corak litar cip yang disebabkan oleh getaran.
Kestabilan haba yang sangat baik
Turun naik suhu dan kelembapan di bengkel mempunyai pengaruh yang besar terhadap ketepatan peralatan pembuatan cip. Pekali pengembangan haba granit adalah sangat rendah, biasanya dalam 5-7 × 10⁻⁶/℃, saiznya hampir tidak berubah apabila suhu berubah. Walaupun perbezaan suhu antara siang dan malam di bengkel atau pengeluaran haba peralatan menyebabkan suhu ambien berubah-ubah, komponen granit boleh kekal stabil untuk mengelakkan ubah bentuk platform akibat pengembangan dan penguncupan haba. Pada masa yang sama, sistem kawalan suhu pintar yang dilengkapi dengan platform memantau suhu ambien dalam masa nyata, secara automatik melaraskan penghawa dingin dan peralatan pelesapan haba, dan mengekalkan suhu bengkel pada 20 ° C ± 1 ° C. Digabungkan dengan kelebihan kestabilan haba granit, memastikan bahawa platform dalam operasi jangka panjang, ketepatan pergerakan setiap paksi cip sentiasa memastikan ketepatan cip setiap paksi litar dan ketepatan cip. tepat, kedalaman goresan adalah seragam.
Memenuhi keperluan persekitaran yang bersih
Kedai pembuatan semikonduktor perlu mengekalkan tahap kebersihan yang tinggi untuk mengelakkan zarah habuk daripada mencemari cip. Bahan granit itu sendiri tidak menghasilkan habuk, dan permukaannya licin, tidak mudah menyerap habuk. Platform secara keseluruhannya menggunakan reka bentuk struktur tertutup atau separuh tertutup sepenuhnya untuk mengurangkan kemasukan habuk luaran. Sistem peredaran udara dalaman dikaitkan dengan sistem penyaman udara bersih bengkel untuk memastikan kebersihan udara dalaman mencapai tahap yang diperlukan oleh pembuatan cip. Dalam persekitaran yang bersih ini, komponen granit tidak akan menjejaskan prestasi akibat hakisan habuk, dan komponen utama seperti penderia ketepatan tinggi dan motor platform juga boleh beroperasi dengan stabil, memberikan jaminan ketepatan skala nano yang berterusan dan boleh dipercayai untuk pembuatan cip, dan membantu industri semikonduktor untuk bergerak ke tahap proses yang lebih tinggi.
Masa siaran: Apr-14-2025