Dalam bidang alur wafer semikonduktor, ketepatan adalah talian hayat. Tapak granit yang biasa-biasa sahaja boleh membawa lonjakan kualitatif dalam prestasi peralatan alur! Apakah "kuasa besar" yang sebenarnya disembunyikannya? Mengapa dikatakan bahawa memilih tapak granit yang betul bermakna anda telah berjaya separuh jalan? Hari ini, kami akan membawa anda untuk mendedahkannya secara mendalam!
I. Kekuatan Semula Jadi: Tiga "Kelebihan Semula Jadi" Granit
Rintangan seismik adalah stabil seperti Gunung Tai
Granit mempunyai ketumpatan setinggi 2,800-3,100 kg/m³, dan strukturnya sepadat "kubu batu". Dalam persekitaran getaran frekuensi tinggi alur wafer (peralatan beralur lebih 100 kali seminit), ia boleh menyerap lebih daripada 90% tenaga getaran, sama seperti melengkapkan peralatan dengan "teknologi hitam penyerap kejutan"! Data yang diukur dari kilang cip tertentu menunjukkan bahawa selepas menggunakan asas granit, amplitud jitter kepala pemotong alur telah menurun daripada 15μm kepada 3μm, dan tepi alur mikro yang diukir adalah selicin cermin.
2. "Perlembagaan tahan haba" Tidak takut dengan perbezaan suhu
Bahan biasa "mengembang dan berubah bentuk" apabila dipanaskan dan "mengecut dan berubah bentuk" apabila disejukkan, tetapi pekali pengembangan haba granit adalah serendah 4-8×10⁻⁶/℃, iaitu hanya 1/5 daripada pekali pengembangan haba logam! Walaupun suhu di bengkel turun naik mendadak sebanyak 10℃ dalam masa 24 jam, ubah bentuknya adalah kurang daripada 0.01mm dan hampir boleh diabaikan. Ini bermakna tanpa mengira perubahan siang dan malam atau operasi dan penjanaan haba peralatan yang berpanjangan, tapak granit boleh memastikan kedudukan slot "tidak bergerak" sepanjang masa.
3. Rintangan haus yang tidak boleh dihancurkan
Kekerasan Mohs granit mencapai 6 hingga 7, setanding dengan batu kuarza, dan rintangan hausnya adalah tiga kali ganda daripada keluli biasa! Di bawah geseran frekuensi tinggi jangka panjang alur wafer, permukaan tapak hampir tidak haus. Selepas faundri tertentu menggunakan tapak granit selama lima tahun, kerataan masih dikekalkan dalam lingkungan ±0.5μm/m semasa pemeriksaan, dan ketepatan alur kekal konsisten, menjimatkan sejumlah besar kos penentukuran peralatan dan penggantian.
Ii. Adaptasi Tepat: Bagaimanakah Granit Memenuhi Keperluan Alur yang Berbeza?
Adegan 1: Alur ultra halus (alur mikro di bawah 10μm)
Keperluan: Kerataan muktamad
Kelebihan granit: Melalui pemprosesan ketepatan tinggi rangkaian lima paksi, kerataan boleh dikawal dalam lingkungan ±0.5μm/m, yang bermaksud bahawa pada panjang 1 meter, ralat ketinggian adalah 200 kali lebih nipis daripada sehelai rambut manusia! Pastikan jarak antara kepala pemotong alur dan wafer sentiasa tepat, dan ralat lebar alur mikro yang diukir tidak melebihi ±0.1μm.
Adegan 2: Alur pengeluaran besar-besaran berkelajuan tinggi
Keperluan: Prestasi penyerapan kejutan super
Kelebihan granit: Sifat redaman semula jadinya di dalamnya dapat melemahkan getaran peralatan dengan cepat. Selepas kilang panel tertentu memperkenalkan asas granit, kelajuan alur meningkat sebanyak 40%, dan kadar hasil melonjak dari 85% kepada 96%, mencapai hasil tuaian berganda bagi kecekapan dan kualiti pengeluaran!
Adegan 3: Alur Persekitaran Kompleks (Suhu tinggi/kakisan)
Keperluan: Rintangan suhu tinggi dan rintangan kakisan
Kelebihan granit: Kestabilan kimia yang sangat kuat, tahan terhadap kakisan asid dan alkali; Ia mempunyai pekali pengembangan haba yang rendah dan tidak akan berubah bentuk walaupun pada suhu tinggi tempatan (150℃) semasa pengaluran laser. Tapak granit yang digunakan di makmal tertentu dengan larutan pengaluran menghakis telah digunakan secara berterusan selama tiga tahun, dan permukaan tapak kekal utuh.
Iii. Bagaimana untuk Memilih Tapak Granit "Tulen Berkualiti Tinggi"?
Lihat ketumpatannya: Granit dengan ketumpatan ≥2800kg/m³ mempunyai struktur yang lebih padat.
Semak pensijilan: Pastikan anda mengiktiraf pensijilan berwibawa seperti ISO 9001 dan CNAS untuk memastikan kualiti.
Data pengesahan: Pengilang dikehendaki menyediakan laporan ujian mengenai pekali pengembangan haba (< 8×10⁻⁶/℃) dan kerataan (±0.5μm/m).
Ujian di tapak: Ketuk tapak. Bunyi yang jelas menunjukkan bahawa tiada retakan di dalamnya. Jika permukaan sentuh licin seperti cermin, ia menunjukkan ketepatan pemprosesan yang tinggi.
Kesimpulan: Pilih granit yang betul dan menangi separuh daripada pertempuran dalam alur!
Daripada rintangan hentakan, rintangan haba hinggalah rintangan haus, tapak granit, dengan "kecantikan semula jadi" dan "kekuatan tegar"nya, telah menjadi rakan kongsi emas untuk peralatan alur wafer. Dalam era pembuatan semikonduktor hari ini yang mengejar ketepatan nano, tapak granit berkualiti tinggi bukan sahaja merupakan pelaburan dalam peralatan tetapi juga jaminan jangka panjang untuk kecekapan pengeluaran dan kualiti produk!
Masa siaran: 17 Jun 2025