Dalam bidang pembuatan mewah dan penyelidikan saintifik yang canggih, modul gerakan ultra-ketepatan terapung udara telah menjadi peralatan utama untuk operasi dan pengukuran yang halus dengan prestasi ketepatan yang sangat baik. Asas ketepatan granit, sebagai teras sokongan, mempunyai keperluan yang ketat untuk persekitaran kerja, dan keadaan persekitaran yang sesuai adalah asas untuk memastikan prestasinya yang stabil dan kesan terbaik.
Pertama, kawalan suhu: ketepatan "penstabil"
Walaupun granit terkenal dengan kestabilannya, ia tidak sepenuhnya kebal terhadap perubahan suhu. Walaupun pekali pengembangan termanya rendah, secara amnya 5-7 ×10⁻⁶/℃, dalam senario kawalan gerakan ketepatan ultra, turun naik suhu halus masih boleh menyebabkan perubahan dimensi dan menjejaskan ketepatan modul. Dalam bengkel pembuatan cip semikonduktor, proses litografi memerlukan ketepatan kedudukan peringkat danami, dan suhu ambien turun naik sebanyak 1 ° C, dan tapak granit dengan panjang sisi 1 meter boleh menghasilkan pengembangan atau pengecutan linear 5-7 mikron. Perubahan kecil ini dihantar oleh modul gerakan ultra ketepatan terapung udara, yang cukup untuk membuat sisihan corak litografi cip dan mengurangkan hasil. Oleh itu, dilengkapi dengan asas ketepatan granit modul gerakan ultra-ketepatan terapung udara, suhu persekitaran kerja yang ideal harus dikawal pada 20 ° C ± 1 ° C, dengan bantuan peralatan suhu malar berketepatan tinggi, seperti sistem penyaman udara suhu dan kelembapan malar, pemantauan berterusan dan pelarasan suhu ambien, untuk memastikan turun naik suhu dalam julat operasi yang sangat kecil, untuk memastikan kestabilan saiz asas, mengekalkan kestabilan saiz asas.
Kedua, pengurusan kelembapan: kunci kepada perlindungan kalis lembapan "batu"
Kelembapan adalah satu lagi faktor penting yang mempengaruhi prestasi asas granit ketepatan. Dalam persekitaran kelembapan yang tinggi, granit mudah menyerap wap air, yang boleh menyebabkan pemeluwapan pada permukaan, yang bukan sahaja menjejaskan kestabilan sambungan granit dan modul gerakan ultra-ketepatan apungan udara, tetapi juga boleh menyebabkan hakisan permukaan dan mengurangkan gloss dan ketepatan dalam jangka masa panjang. Dalam bengkel pengisaran kanta optik, jika kelembapan lebih tinggi daripada 60% RH untuk masa yang lama, wap air yang terjerap pada permukaan asas granit akan mengganggu pergerakan peluncur apungan gas, supaya ketepatan pengisaran kanta berkurangan, dan permukaannya cacat. Oleh itu, kelembapan relatif persekitaran kerja harus dikawal dengan ketat antara 40% -60% RH, yang boleh dipantau dan diselaraskan dalam masa nyata dengan memasang penyahlembapan, penderia kelembapan dan peralatan lain untuk mengelakkan kerosakan pada asas granit akibat kelembapan yang tinggi, dan memastikan operasi lancar modul gerakan ultra-ketepatan terapung udara.
Ketiga, jaminan kebersihan: "penjaga" ketepatan
Kemudaratan zarah habuk kepada asas granit ketepatan modul gerakan ultra ketepatan pengapungan udara tidak boleh dipandang remeh. Sebaik sahaja zarah-zarah kecil memasuki jurang filem gas antara gelangsar apungan gas dan asas granit, ia mungkin memusnahkan keseragaman filem gas, meningkatkan geseran, dan juga mencalarkan permukaan tapak, mengakibatkan ketepatan pergerakan berkurangan. Dalam bengkel pemesinan ultra ketepatan bahagian aeroangkasa, jika zarah habuk di udara jatuh pada dasar granit, trajektori gerakan alat pemesinan mungkin terpesong, menjejaskan ketepatan pemesinan bahagian. Oleh itu, kawasan kerja hendaklah sentiasa bersih, mencapai 10,000 atau lebih tahap piawaian kebersihan yang lebih tinggi, melalui pemasangan peralatan penulenan udara, seperti penapis udara kecekapan tinggi (HEPA), menapis zarah habuk di udara, pada masa yang sama, kakitangan perlu memakai pakaian bebas habuk, penutup kasut, dan lain-lain, untuk mengurangkan habuk yang dibawa oleh manusia. Mengekalkan persekitaran operasi berketepatan tinggi asas granit dan modul gerakan ultra-ketepatan terapung udara.
Empat, pengasingan getaran: operasi lancar "pad kejutan"
Getaran luaran adalah musuh ketepatan modul gerakan ultra ketepatan terapung udara. Walaupun asas granit ketepatan mempunyai keupayaan pengecilan getaran tertentu, getaran berkekuatan tinggi masih boleh memecahkan had penampannya. Getaran yang dihasilkan oleh trafik di sekitar kilang dan pengendalian peralatan mekanikal yang besar dihantar ke pangkalan granit melalui tanah, yang akan mengganggu ketepatan gerakan modul gerakan ultra-ketepatan terapung udara. Dalam CMM mewah, getaran boleh menyebabkan sentuhan antara probe pengukur dan bahan kerja diukur menjadi tidak stabil, mengakibatkan sisihan data pengukuran. Untuk menyelesaikan masalah ini, adalah perlu untuk menggunakan langkah pengasingan getaran yang berkesan, seperti meletakkan pad pengasingan getaran di kawasan pemasangan peralatan, membina asas pengasingan getaran, atau menggunakan sistem pengasingan getaran aktif untuk mengimbangi getaran luaran secara aktif, dan mewujudkan persekitaran kerja yang tenang dan stabil untuk pangkalan ketepatan granit dan modul gerakan ultra ketepatan terapung udara.
Hanya dengan memenuhi sepenuhnya keperluan persekitaran seperti suhu, kelembapan, kebersihan dan kawalan getaran, asas ketepatan granit modul gerakan ultra ketepatan apungan udara boleh memberikan permainan penuh kepada kelebihan prestasinya, memberikan jaminan yang boleh dipercayai untuk operasi ultra ketepatan dalam pelbagai bidang, dan membantu industri bergerak ke arah tahap pembuatan dan penyelidikan saintifik ketepatan yang lebih tinggi.
Masa siaran: Apr-08-2025