Dalam bidang pembuatan ketepatan dan penyelidikan saintifik, kerataan platform ketepatan granit adalah penunjuk utama untuk memastikan ketepatan peralatan. Berikut ialah pengenalan terperinci kepada beberapa kaedah pengesanan arus perdana dan prosedur operasinya untuk anda. ,
I. Kaedah Pengesanan interferometer laser
Interferometer laser ialah alat pilihan untuk pengesanan kerataan berketepatan tinggi. Ambil interferometer laser ZYGO GPI XP sebagai contoh, resolusinya boleh mencapai 0.1nm. Semasa menjalankan pengesanan, mula-mula selaraskan sumber cahaya interferometer dengan platform dan bahagikan permukaan platform kepada kawasan grid 50mm×50mm. Selepas itu, data pinggiran gangguan dikumpul titik demi titik, dan data telah dipasang dan dianalisis menggunakan polinomial Zernike untuk mendapatkan ralat kerataan. Kaedah ini boleh digunakan pada platform berketepatan tinggi dan boleh mengesan ralat kerataan ≤0.5μm/m². Ia biasanya digunakan dalam pengesanan mesin fotolitografi dan platform mesin pengukur tiga koordinat mewah. ,
ii. Kaedah Tatasusunan Aras Elektronik
Pengesanan tatasusunan tahap elektronik adalah mudah untuk dikendalikan dan sangat cekap. Aras elektronik TESA A2 (dengan resolusi 0.01μm/m) telah dipilih dan disusun dalam tatasusunan 9×9 di sepanjang arah paksi X/Y platform. Dengan mengumpul data kecondongan setiap tahap secara serentak dan kemudian menggunakan kaedah kuasa dua terkecil untuk pengiraan, nilai kerataan boleh diperoleh dengan tepat. Kaedah ini berkesan boleh mengenal pasti keadaan lekuk dan lekuk tempatan platform. Sebagai contoh, turun naik 0.2μm dalam julat 50mm juga boleh dikesan, yang sesuai untuk pengesanan pantas dalam pengeluaran besar-besaran. ,
iii. Kaedah kristal Flat Optik
Kaedah kristal rata optik sesuai untuk pengesanan platform kawasan kecil. Pasangkan kristal rata optik dengan ketat pada permukaan untuk diuji pada platform dan perhatikan pinggiran gangguan yang terbentuk di antaranya di bawah pencahayaan sumber cahaya monokromatik (seperti lampu natrium). Jika jalur adalah jalur lurus selari, ia menunjukkan kerataan yang baik. Jika jalur melengkung muncul, kira ralat kerataan berdasarkan tahap kelengkungan jalur. Setiap jalur melengkung mewakili perbezaan ketinggian 0.316μm, dan data kerataan boleh diperoleh melalui penukaran mudah. ,
Empat. Kaedah Pemeriksaan Mesin Pengukur tiga koordinat
Mesin pengukur tiga koordinat boleh mencapai pengukuran ketepatan tinggi dalam ruang tiga dimensi. Letakkan platform granit pada meja kerja mesin pengukur dan gunakan probe untuk mengumpul data secara seragam daripada berbilang titik pengukuran pada permukaan platform. Sistem mesin pengukur memproses dan menganalisis data ini untuk menghasilkan laporan kerataan platform. Kaedah ini bukan sahaja dapat mengesan kerataan, tetapi juga mendapatkan parameter geometri platform yang lain secara serentak, dan sesuai untuk pengesanan komprehensif platform granit besar. ,
Menguasai kaedah pengesanan ini boleh membantu anda menilai dengan tepat kerataan platform ketepatan granit dan memberikan jaminan yang boleh dipercayai untuk pengendalian peralatan ketepatan yang stabil.
Masa siaran: Mei-29-2025