Revolusi Ketepatan dalam pembuatan semikonduktor: Apabila granit memenuhi teknologi mikron
1.1 Penemuan yang tidak dijangka dalam sains bahan
Menurut laporan Persatuan Semikonduktor Antarabangsa SEMI 2023, 63% daripada fabrik termaju dunia telah mula menggunakan tapak granit dan bukannya platform logam tradisional. Batu semula jadi ini, yang berasal daripada pemeluwapan magma jauh di dalam Bumi, sedang menulis semula sejarah pembuatan semikonduktor kerana sifat fizikalnya yang unik:
Kelebihan inersia terma: pekali pengembangan haba granit 4.5×10⁻⁶/℃ hanyalah 1/5 daripada keluli tahan karat, dan kestabilan dimensi ±0.001mm dikekalkan dalam kerja berterusan mesin litografi
Ciri-ciri redaman getaran: pekali geseran dalaman adalah 15 kali lebih tinggi daripada besi tuang, dengan berkesan menyerap getaran mikro peralatan
Sifat magnetisasi sifar: menghapuskan sepenuhnya ralat magnet dalam pengukuran laser
1.2 Perjalanan metamorfosis dari saya ke fab
Mengambil pangkalan pengeluaran pintar ZHHIMG di Shandong sebagai contoh, sekeping granit mentah perlu menjalani:
Pemesinan ultra ketepatan: pusat pemesinan pautan lima paksi selama 200 jam pengilangan berterusan, kekasaran permukaan sehingga Ra0.008μm
Rawatan penuaan buatan: 48 jam pelepasan tekanan semula jadi dalam bengkel suhu dan kelembapan malar, yang meningkatkan kestabilan produk sebanyak 40%
Kedua, memecahkan enam masalah ketepatan pembuatan semikonduktor "penyelesaian batu"
2.1 Skim pengurangan kadar pemecahan wafer
Demonstrasi kes: Selepas faundri cip di Jerman menggunakan platform granit terapung gas kami:
| Diameter wafer | pengurangan kadar cip | peningkatan kerataan |
| 12 inci | 67% | ≤0.001mm |
| 18 inci | 82% | ≤0.0005mm |
2.2 Skim terobosan ketepatan penjajaran litografi
Sistem pampasan suhu: sensor seramik terbenam memantau pembolehubah bentuk dalam masa nyata dan melaraskan kecenderungan platform secara automatik
Data yang diukur: di bawah turun naik 28℃±5℃, ketepatan benam turun naik kurang daripada 0.12μm
Masa siaran: Mac-24-2025