Revolusi Ketepatan dalam pembuatan semikonduktor: Apabila granit bertemu teknologi mikron
1.1 Penemuan yang tidak dijangka dalam sains bahan
Menurut laporan Persatuan Semikonduktor Antarabangsa SEMI 2023, 63% daripada fabrikasi canggih dunia telah mula menggunakan asas granit dan bukannya platform logam tradisional. Batu semula jadi ini, yang berasal daripada pemeluwapan magma jauh di dalam Bumi, sedang menulis semula sejarah pembuatan semikonduktor kerana sifat fizikalnya yang unik:
Kelebihan inersia terma: pekali pengembangan terma granit 4.5 × 10⁻⁶/℃ hanya 1/5 daripada keluli tahan karat, dan kestabilan dimensi ± 0.001mm dikekalkan dalam kerja berterusan mesin litografi
Ciri-ciri redaman getaran: pekali geseran dalaman adalah 15 kali lebih tinggi daripada besi tuang, berkesan menyerap getaran mikro peralatan
Sifat kemagnetan sifar: menghapuskan sepenuhnya ralat magnet dalam pengukuran laser
1.2 Perjalanan metamorfosis dari saya kepada yang hebat
Mengambil pangkalan pengeluaran pintar ZHHIMG di Shandong sebagai contoh, sekeping granit mentah perlu menjalani:
Pemesinan ultra-ketepatan: pusat pemesinan pautan lima paksi selama 200 jam penggilingan berterusan, kekasaran permukaan sehingga Ra0.008μm
Rawatan penuaan buatan: 48 jam pelepasan tekanan semula jadi dalam bengkel suhu dan kelembapan malar, yang meningkatkan kestabilan produk sebanyak 40%
Kedua, selesaikan enam masalah ketepatan "penyelesaian batuan" pembuatan semikonduktor
2.1 Skim pengurangan kadar pemecahan wafer
Demonstrasi kes: Selepas sebuah kilang cip di Jerman menggunakan platform granit terapung gas kami:
| Diameter wafer | pengurangan kadar cip | peningkatan kerataan |
| 12 inci | 67% | ≤0.001mm |
| 18 inci | 82% | ≤0.0005mm |
2.2 Skim kejayaan ketepatan penjajaran litografi
Sistem pampasan suhu: sensor seramik terbenam memantau pembolehubah bentuk dalam masa nyata dan melaraskan kecondongan platform secara automatik
Data yang diukur: di bawah turun naik 28℃±5℃, ketepatan penyematan turun naik kurang daripada 0.12μm
Masa siaran: 24 Mac 2025