Dalam dunia pembuatan paparan canggih yang sangat kompetitif, perbezaan antara kepimpinan pasaran dan keusangan selalunya bergantung kepada satu faktor: ketepatan. Fabrikasi dan pemeriksaan tatasusunan Silikon Polikristalin Suhu Rendah (LTPS)—asas untuk skrin OLED dan LCD beresolusi tinggi dan berprestasi tinggi—menuntut toleransi yang melangkaui sempadan kejuruteraan. Mencapai tahap ketepatan ultra tinggi ini bermula dengan asas fizikal jentera itu sendiri. Inilah sebabnya pemilihan tapak mesin granit untuk peralatan Tatasusunan LTPS bukan sekadar pilihan reka bentuk, tetapi keperluan asas.
Proses yang terlibat dalam fabrikasi tatasusunan LTPS, terutamanya penghabluran laser dan langkah fotolitografi serta pemendapan berikutnya, sangat sensitif terhadap hingar persekitaran, termasuk getaran halus dan anjakan haba. Walaupun dalam persekitaran bilik bersih yang paling dikawal dengan teliti, perubahan kecil boleh memberi kesan kritikal terhadap hasil dan keseragaman tatasusunan. Fasa pemeriksaan—yang dijalankan oleh peralatan yang sangat canggih untuk memastikan setiap transistor terbentuk dengan sempurna—memerlukan tahap integriti struktur yang lebih tinggi. Ini adalah domain di mana tapak mesin Granit untuk peralatan pemeriksaan tatasusunan polisilikon suhu rendah paparan panel rata benar-benar cemerlang.
Keperluan Terma dan Dinamik Pemeriksaan LTPS
Teknologi LTPS membolehkan mobiliti elektron yang lebih pantas, membolehkan transistor yang lebih kecil dan lebih cekap serta menghasilkan paparan dengan kadar penyegaran yang menakjubkan dan penggunaan kuasa yang lebih rendah. Walau bagaimanapun, struktur yang terlibat adalah mikroskopik, diukur dalam mikron. Agar peralatan pemeriksaan yang kompleks dapat mengesan, mengukur dan menganalisis kecacatan dengan tepat, platform operasinya mestilah hampir tidak bergerak dan tidak berubah secara dimensi.
Bahan tradisional seperti besi tuang atau keluli, walaupun teguh, secara semula jadi mudah terdedah kepada pengembangan haba. Pekali pengembangan haba (CTE) untuk keluli biasa adalah jauh lebih tinggi daripada granit hitam. Ini bermakna sedikit peningkatan suhu ambien, mungkin hanya satu atau dua darjah, akan menyebabkan struktur mesin keluli mengembang dan mengecut dengan lebih mendadak. Dalam konteks pemeriksaan tatasusunan, hanyutan haba ini menyebabkan ralat kedudukan, ketidaksejajaran dalam laluan optik dan bacaan yang berpotensi tidak tepat yang boleh mengakibatkan penolakan panel yang baik atau penerimaan panel yang rosak.
Sebaliknya, penggunaan katil mesin granit khusus untuk peralatan LTPS Array menyediakan platform dengan CTE yang sangat rendah. Kestabilan terma ini memastikan geometri kritikal mesin—jarak antara sensor pengukuran dan substrat LTPS—kekal malar, membolehkan pengukuran sub-mikron yang konsisten dan boleh diulang yang penting untuk kawalan kualiti.
Redaman dan Kekakuan Getaran yang Tiada Tandingan
Selain kestabilan terma, sifat bahan intrinsik granit menawarkan kelebihan yang ketara dalam mengurus daya dinamik dan getaran. Sistem pemeriksaan lanjutan menggunakan peringkat berkelajuan tinggi dan mekanisme pengimbasan canggih yang menghasilkan pergerakan dan getaran mekanikal kecil. Daya dalaman ini, ditambah pula dengan bunyi luaran daripada pengendali udara atau jentera bersebelahan, mesti dineutralkan dengan cepat untuk mengelakkan kabur gerakan atau ketidakstabilan bacaan.
Kapasiti redaman dalaman granit yang tinggi, satu sifat yang membolehkannya menghilangkan tenaga getaran lebih cepat daripada logam, adalah penting di sini. Ia bertindak sebagai penyerap hentakan pasif, memastikan mesin cepat kembali ke keadaan pegun yang sempurna selepas setiap gerakan. Modulus keanjalan dan ketumpatan batu yang tinggi juga menyumbang kepada struktur yang sangat tegar, meminimumkan pesongan statik di bawah berat sistem gantry berat, pemasangan optik dan ruang vakum.
Pada dasarnya, dengan memilih tapak mesin granit yang disiapkan dengan tepat untuk aplikasi LTPS Array, jurutera sedang membina asas yang stabil dari segi terma, senyap dari segi akustik dan tegar dari segi struktur. Tiga sifat ini tidak boleh dirundingkan untuk mencapai matlamat daya pemprosesan dan hasil yang diperlukan untuk pembuatan paparan LTPS moden.
Kesempurnaan Kejuruteraan dari Alam Semula Jadi
Produk akhir—tapak mesin granit—jauh berbeza daripada batu kuari kasar. Ia merupakan karya agung metrologi, selalunya disiapkan mengikut toleransi yang diukur dalam julat mikron rendah atau sub-mikron. Teknik khusus digunakan untuk memastikan granit bebas tekanan dan rata sempurna. Bahan semula jadi yang sangat halus ini menyediakan satah rujukan muktamad yang mana semua penjajaran mekanikal dan optik berikutnya dikalibrasi.
Bagi pengeluar peralatan tatasusunan LTPS, penyepaduan granit berketepatan tinggi memastikan mesin mereka boleh beroperasi secara berterusan pada prestasi puncak, diterjemahkan secara langsung kepada hasil yang lebih tinggi dan paparan berkualiti lebih baik untuk pasaran pengguna. Ia merupakan bukti kepada fakta bahawa apabila kejuruteraan menuntut kesempurnaan mutlak, melihat kepada bahan semula jadi bumi yang paling stabil memberikan penyelesaian yang paling andal.
Masa siaran: 03 Dis-2025