Platform granit, sebagai alat rujukan untuk pengukuran dan pemprosesan yang tepat, penyelenggaraan ketepatannya secara langsung mempengaruhi kualiti pengeluaran. Berikut menyediakan pelan penyelenggaraan sistematik yang meliputi kawalan alam sekitar, penyelenggaraan harian dan penentukuran profesional untuk memastikan platform mengekalkan ketepatan tahap nanometer untuk jangka masa yang lama.
1. Kawalan Alam Sekitar: Bina penghalang perlindungan ketepatan
Pengurusan suhu dan kelembapan
Suhu persekitaran kerja perlu distabilkan pada 20±1 ℃. Setiap turun naik 1 ℃ akan menyebabkan ubah bentuk haba platform granit pada 0.5-1μm/m. Sistem suhu malar boleh dipasang di bengkel untuk mengelakkan alur keluar penghawa dingin bertiup terus ke platform.
Kelembapan hendaklah dikawal antara 40% dan 60%. Kelembapan yang berlebihan boleh menyebabkan karat pada bahagian logam dengan mudah, manakala kelembapan terlalu rendah boleh menyebabkan gangguan elektrik statik dalam pengukuran.
Pengasingan getaran
Platform hendaklah dijauhkan daripada sumber getaran seperti mesin pengecap dan mesin penggilingan. Adalah disyorkan untuk mengekalkan jarak lebih daripada 3 meter dari peralatan getaran.
Jika getaran tidak dapat dielakkan, penyerap hentak spring udara boleh dipasang di bahagian bawah platform untuk mengurangkan kesan getaran alam sekitar pada kerataan platform (yang boleh mengurangkan getaran luaran lebih daripada 80%).
2. Penyelenggaraan Harian: Kawalan rapi dari pembersihan hingga perlindungan
Spesifikasi pembersihan permukaan
Pembuangan habuk: Lap permukaan dengan kulit rusa atau kain bebas lin ke arah yang sama setiap hari untuk mengelakkan zarah habuk (≥5μm) daripada menggaru pelantar. Noda degil boleh disapu perlahan-lahan dengan etanol kontang (ketulenan ≥99.7%). Pelarut yang kuat seperti aseton tidak boleh digunakan.
Penyahgris: Jika terkena kesan minyak, lap dengan pembersih neutral yang dicairkan, kemudian bilas dengan air ternyahion dan keringkan udara untuk mengelakkan minyak mineral daripada menembusi liang-liang kecil platform.
Perlindungan beban dan perlanggaran
Kapasiti menanggung beban platform harus dikawal dalam 70% daripada beban undian (contohnya, untuk platform 1000kg, adalah disyorkan bahawa beban adalah ≤700kg) untuk mengelakkan ubah bentuk kekal yang disebabkan oleh beban setempat.
Ia dilarang sama sekali untuk memukul bahan kerja pada platform. Semasa mengendalikan alatan, pakai sarung tangan lembut untuk mengelakkan objek tajam daripada menggaru permukaan (calar dengan kedalaman lebih daripada 20μm akan menjejaskan pengukuran laluan cahaya yang dipantulkan).
3. Penentukuran Profesional: Teras mengekalkan ketepatan secara saintifik
Tetapan kitaran penentukuran
Senario penggunaan konvensional: Kalibrasi sekali setiap suku tahun dan gunakan interferometer laser untuk mengesan kerataan (dengan ketepatan ±0.5μm/m).
Penggunaan frekuensi tinggi atau persekitaran yang keras: Penentukuran bulanan, dengan tumpuan pada memantau kawasan sensitif suhu (seperti pinggir platform berhampiran sumber haba).
Pemprosesan pasca penentukuran
Jika sisihan kerataan ditemui (seperti > ±1μm/m), ia mesti dikisar dan dibaiki oleh juruteknik profesional menggunakan serbuk mikro W1.5. Mengisar sendiri dengan kertas pasir adalah dilarang sama sekali.
Selepas penentukuran, data hendaklah direkodkan dan diarkibkan, dan keluk pengecilan ketepatan platform harus diwujudkan untuk meramalkan keperluan penyelenggaraan terlebih dahulu.
4. Penyimpanan dan Pengangkutan: Elakkan kehilangan ketepatan tersembunyi
Perkara utama untuk penyimpanan jangka panjang
Semasa menyimpan, ia hendaklah ditutup dengan penutup kalis lembapan dan kalis debu. Bahagian bawah harus disokong oleh tiga titik (titik sokongan terletak pada 2/9 daripada panjang platform) untuk mengelakkan ubah bentuk lenturan yang disebabkan oleh graviti (platform 1 meter mungkin melorot sebanyak 0.3μm disebabkan oleh sokongan titik tunggal jangka panjang).
Gerakkan kedudukan mata sokongan platform secara kerap (bulanan) untuk mengelakkan tekanan tempatan jangka panjang.
Pelan perlindungan pengangkutan
Pengangkutan jarak dekat: Balut dengan buih menyerap hentakan, tetapkan dalam bingkai tegar, dan pastikan pecutan dalam 2g.
Pengangkutan jarak jauh: Ia perlu dibungkus dengan vakum dan diisi dengan nitrogen kering. Selepas ketibaan, ia harus dibiarkan selama 24 jam sehingga suhu mencapai keseimbangan sebelum dibongkar untuk mengelakkan air pemeluwapan daripada menjejaskan ketepatan.
5. Ramalan Kesalahan: Teknik Mengenalpasti Masalah Awal
Pemeriksaan visual: Selalu perhatikan permukaan dengan kaca pembesar 40x. Jika calar berterusan atau penurunan ketara dalam gloss ditemui, ia mungkin menunjukkan penurunan dalam ketepatan.
Pengesanan bunyi: Ketik platform perlahan-lahan. Jika bunyi menjadi serak (biasanya bunyi yang jelas), mungkin terdapat retakan mikro di dalamnya. Berhenti menggunakannya serta-merta untuk pengesanan.
Melalui sistem penyelenggaraan ini, platform granit ZHHIMG® boleh mengekalkan kerataan ±1μm/m selama 10 tahun, iaitu lebih tiga kali ganda lebih lama daripada hayat ketepatan platform yang tidak diselenggara dengan betul. Amalan telah membuktikan bahawa selepas kilang semikonduktor tertentu menggunakan penyelesaian ini, kekerapan penentukuran platform dikurangkan sebanyak 50%, dan kos penyelenggaraan tahunan telah dijimatkan sebanyak lebih daripada 150,000 yuan.
Masa siaran: Jun-18-2025