Pembuatan semikonduktor: Dalam proses pembuatan cip, proses fotolitografi perlu memindahkan corak litar dengan tepat ke wafer. Tapak granit modul gerakan ultra-ketepatan terapung udara paksi tunggal boleh memberikan kedudukan ketepatan tinggi dan sokongan yang stabil untuk meja wafer dalam peralatan litografi. Contohnya, ASML dan pengeluar mesin litografi terkenal di peringkat antarabangsa yang lain menggunakan modul gerakan terapung udara asas granit dalam peralatan canggih mereka, yang boleh mengawal ketepatan kedudukan wafer pada tahap nanometer untuk memastikan ketepatan corak litografi, sekali gus meningkatkan integrasi dan prestasi cip.
Medan pengukuran ketepatan: CMM ialah peralatan pengukuran ketepatan yang biasa digunakan dalam pengeluaran perindustrian, yang digunakan untuk mengukur saiz, bentuk dan ketepatan kedudukan bahan kerja. Modul gerakan ultra-ketepatan apungan udara paksi tunggal pada asas granit boleh digunakan sebagai platform gerakan CMM, yang boleh merealisasikan gerakan linear ketepatan tinggi dan menyediakan trajektori gerakan yang stabil untuk prob pengukur. Contohnya, CMM mewah Hexagon menggunakan gabungan ini untuk mengukur bahagian yang besar dan kompleks dengan ketepatan pengukuran sehingga tahap mikron, memberikan jaminan yang kukuh untuk kawalan kualiti bahagian dalam industri automotif, aeroangkasa dan lain-lain.
Medan aeroangkasa: Dalam pemprosesan dan pengujian bahagian aeroangkasa, ketepatan tinggi diperlukan. Contohnya, pemesinan bilah enjin pesawat memerlukan kawalan tepat terhadap trajektori gerakan alat untuk memastikan ketepatan profil bilah. Tapak granit modul gerakan ultra-ketepatan apungan udara paksi tunggal boleh digunakan pada pusat pemesinan lima paksi dan peralatan lain untuk menyediakan kawalan gerakan ketepatan tinggi untuk alat dan memastikan ketepatan pemesinan bilah dapat memenuhi keperluan reka bentuk. Pada masa yang sama, dalam proses pemasangan enjin aeroangkasa, peralatan pengukur ketepatan tinggi juga perlu digunakan untuk mengesan ketepatan pemasangan bahagian. Modul gerakan apungan udara tapak granit boleh memberikan sokongan yang stabil dan pergerakan yang tepat untuk peralatan pengukur untuk memastikan kualiti pemasangan.
Bidang pemeriksaan optik: Dalam proses pembuatan dan pengujian komponen optik, adalah perlu untuk melakukan penentuan kedudukan dan pengukuran komponen optik dengan ketepatan tinggi. Contohnya, apabila mengeluarkan komponen optik berketepatan tinggi seperti cermin dan kanta, adalah perlu untuk menggunakan interferometer dan peralatan lain untuk mengesan ketepatan bentuk permukaan. Tapak granit modul gerakan ultra-ketepatan terapung udara paksi tunggal boleh digunakan sebagai platform pergerakan interferometer, yang boleh mencapai ketepatan kedudukan sub-mikron dan menyediakan sokongan data yang tepat untuk pengesanan komponen optik. Di samping itu, dalam peralatan pemprosesan laser, adalah juga perlu untuk menggunakan platform gerakan berketepatan tinggi untuk mengawal trajektori pengimbasan pancaran laser, tapak granit modul gerakan terapung udara boleh memenuhi keperluan ini, untuk mencapai pemprosesan laser berketepatan tinggi.
Masa siaran: 07-Apr-2025