Usaha berterusan untuk mencapai ketepatan tahap nanometer dalam fabrikasi semikonduktor dan pemeriksaan optik berskala besar telah meletakkan tuntutan yang belum pernah terjadi sebelumnya pada sistem kawalan gerakan. Jurutera sering berhadapan dengan pilihan reka bentuk yang kritikal: keanggunan tanpa geseran peringkat galas udara atau kebolehpercayaan redaman getaran peringkat mekanikal berasaskan granit yang teguh. Di ZHHIMG Group, kami menyedari bahawa penyelesaian optimum selalunya terletak di persimpangan sains bahan dan dinamik bendalir.
Perbahasan Teras: Peringkat Galas Udara vs Peringkat Granit
Untuk memahami perbezaannya, seseorang mesti melihat mekanik sentuhan. Peringkat granit tradisional sering menggunakan galas mekanikal berketepatan tinggi—seperti penggelek silang atau gelongsor bola—yang disepadukan terus ke atasasas granitSistem ini dihargai kerana kapasiti beban yang tinggi dan kekakuan yang luar biasa. Sifat redaman semula jadi granit memastikan sebarang getaran sisa daripada motor atau persekitaran hilang dengan cepat, menjadikannya bahan ruji dalam metrologi tugas berat.
Sebaliknya, peringkat galas udara mewakili kemuncak kelancaran. Dengan menyokong pengangkutan bergerak pada filem nipis udara bertekanan—biasanya hanya beberapa mikron tebal—peringkat ini menghapuskan sentuhan fizikal. Kekurangan geseran ini diterjemahkan kepada sifar geseran dan sifar haus, membolehkan halaju yang sangat malar yang diperlukan dalam aplikasi pengimbasan. Walaupun galas udara menawarkan ketepatan geometri yang unggul, ia memerlukan bekalan udara yang bersih dan kering dan secara amnya lebih sensitif terhadap beban eksentrik berbanding rakan sejawat mekanikalnya.
Menganalisis Jenis Peringkat Optik untuk Aplikasi Khusus
Bidang optik memerlukan profil gerakan khusus, yang membawa kepada pembangunan pelbagai peringkat optik. Memilih jenis yang betul bergantung pada darjah kebebasan yang diperlukan dan persekitaran pemeriksaan.
Peringkat optik linear mungkin yang paling biasa, menggunakan sama ada skru plumbum untuk daya tinggi atau motor linear untuk pecutan tinggi. Apabila kelurusan aras nanometer diperlukan dalam perjalanan jauh, peringkat linear galas udara sering dipasangkan dengan interferometer laser untuk maklum balas.
Peringkat optik putar adalah penting untuk pengukuran yang bergantung pada sudut, seperti goniometri atau memeriksa pemusatan elemen kanta. Peringkat putar galas udara amat berfaedah di sini, kerana ia mempamerkan larian paksi dan jejari hampir sifar, memastikan paksi optik kekal sejajar dengan sempurna semasa putaran.
Sistem berbilang paksi, seperti susunan XY atau XYZ, kerap digunakan dalam pemeriksaan wafer automatik. Dalam konfigurasi ini, pilihan tapak granit tidak boleh dirundingkan. Granit menyediakan jisim dan inersia haba yang diperlukan untuk mengelakkan gerakan satu paksi daripada mengganggu ketepatan paksi yang lain.
Sinergi Granit dan Galas Udara
Adalah salah tanggapan umum bahawa peringkat danperingkat granitadalah saling eksklusif. Malah, sistem gerakan paling canggih adalah gabungan kedua-duanya. Peringkat galas udara mewah hampir secara eksklusif menggunakan granit sebagai permukaan panduan. Sebabnya terletak pada keupayaan granit untuk diratakan kepada kerataan sub-mikron di kawasan yang luas—satu pencapaian yang sukar dicapai dengan aluminium atau keluli.
Oleh kerana galas udara "menyeimbangkan" ketidakteraturan permukaan panduan, kerataan rasuk granit yang dihasilkan oleh ZHHIMG yang melampau membolehkan filem udara kekal konsisten sepanjang keseluruhan pergerakan. Sinergi ini menghasilkan sistem gerakan yang memberikan yang terbaik dari kedua-dua dunia: pergerakan udara tanpa geseran dan kestabilan granit yang sepejal batu.
Pertimbangan Penyelenggaraan dan Alam Sekitar
Mengendalikan sistem ini memerlukan kawalan persekitaran yang ketat. Peringkat granit mekanikal agak teguh tetapi memerlukan pelinciran dan pembersihan trek galas secara berkala untuk mengelakkan pengumpulan serpihan. Sistem galas udara, walaupun bebas penyelenggaraan dari segi pelinciran, bergantung pada kualiti bekalan pneumatik. Sebarang kelembapan atau minyak dalam saluran udara boleh menyebabkan "penyumbatan orifis", yang boleh menjejaskan filem udara dan menyebabkan sentuhan permukaan yang dahsyat.
Tambahan pula, pengurusan haba adalah penting. Kedua-dua sistem mendapat manfaat daripada jisim haba granit yang tinggi, yang bertindak sebagai penyerap haba untuk motor linear. Walau bagaimanapun, dalam aplikasi skala nanometer, turun naik satu darjah Celsius pun boleh menyebabkan pengembangan yang ketara. Makmal profesional sering menggunakan kandang granit khusus untuk mengekalkan iklim mikro yang stabil di sekitar pentas.
Kesimpulan: Memilih Asas yang Tepat untuk Inovasi Anda
Sama ada aplikasi anda memerlukan kapasiti galas beban yang tinggi seperti peringkat granit mekanikal atau kawalan halaju ultra lancar sistem galas udara, asas kekal sebagai komponen yang paling kritikal. Di ZHHIMG, kami bukan sahaja menyediakan peringkat; kami menyediakan kepastian geologi dan mekanikal yang diperlukan untuk projek anda yang paling bercita-cita tinggi. Ketika industri semikonduktor dan optik bergerak ke arah toleransi yang lebih ketat, komitmen kami terhadap kecemerlangan bahan dan kejuruteraan ketepatan memastikan bahawa sistem kawalan gerakan anda tidak akan menjadi faktor pengehad dalam penyelidikan atau pengeluaran anda.
Masa siaran: 22 Jan-2026