Ketika industri semikonduktor secara agresif mengejar nod proses sub-2nm, margin untuk ralat mekanikal hampir lenyap. Dalam persekitaran berisiko tinggi ini, kestabilan ruang proses bukan lagi menjadi kebimbangan kedua; ia adalah kesesakan utama untuk hasil. Di ZHHIMG, kami sedang memerhatikan perubahan asas dalam cara OEM global mendekati integriti struktur peralatan modal semikonduktor.
Fizik Kesunyian: Teknik Redaman Getaran Lanjutan
Dalam fabrikasi wafer moden, getaran yang pernah dianggap sebagai "bunyi latar belakang" kini menjadi bencana. Sama ada ayunan mikro daripada sistem HVAC kemudahan atau inersia dalaman peringkat pengimbasan berkelajuan tinggi, tenaga yang tidak terkawal secara langsung diterjemahkan kepada ralat tindanan dan corak kabur.
Teknik redaman getaran semasa dalam pembuatan semikonduktor telah berkembang menjadi seni bina berbilang lapisan. Walaupun redaman pasif—menggunakan bahan berjisim tinggi seperti tuangan mineral atau granit jitu—kekal menjadi asas, kita melihat lonjakan dalam integrasi redaman aktif.
Sistem aktif menggunakan penggerak piezoelektrik dan sensor masa nyata untuk "membatalkan" getaran dengan menjana frekuensi balas. Walau bagaimanapun, keberkesanan sistem aktif secara semula jadinya terhad oleh nisbah redaman bahan asas. Di sinilah kepakaran ZHHIMG dalam bahan struktur redaman tinggi menjadi kritikal. Dengan menggabungkan elektronik aktif dengan granit lengai semula jadi atau asas komposit, kami menyediakan "Zon Senyap" di mana penentuan kedudukan nano boleh berlaku tanpa gangguan.
Kebangkitan Gerakan Tanpa Geseran: Teknologi Galas Udara
Permintaan untuk daya pemprosesan yang lebih tinggi telah mendorong galas mekanikal tradisional ke hadnya. Geseran membawa kepada haba, dan haba membawa kepada pengembangan haba—musuh ketepatan. Ini telah membawa kepada penggunaan meluasteknologi galas udara untuk peringkat ketepatan.
Galas udara menyokong beban pada filem nipis udara bertekanan, biasanya hanya beberapa mikron tebal. Oleh kerana tiada sentuhan fizikal, geseran statik (geseran) sifar. Ini membolehkan:
-
Gerakan Bebas Histeresis: Memastikan peringkat kembali ke koordinat nanometer yang sama setiap masa.
-
Ketekalan Halaju: Kritikal untuk aplikasi pengimbasan seperti pemeriksaan E-beam yang mana "cogging" sedikit pun pada galas mekanikal akan memesongkan imej.
-
Jangka Panjang yang Ekstrem: Oleh kerana tiada bahagian yang bersentuhan, tiada haus dan tiada penjanaan zarah, menjadikannya sesuai untuk persekitaran bilik bersih Kelas 1.
Di ZHHIMG, kami mengeluarkan permukaan granit ultra rata yang berfungsi sebagai panduan untuk galas udara ini. Untuk berfungsi dengan betul, permukaan ini mesti diratakan sehingga diukur dalam pecahan panjang gelombang cahaya.
Trend dalam Peralatan Modal Semikonduktor: 2026 dan Seterusnya
Ketika kita menuju tahun 2026,trend dalam peralatan modal semikonduktordicirikan oleh "Tiga Tonggak": Modularisasi, Kemampanan dan Kawalan Terma.
-
Reka Bentuk Platform Modular: OEM sedang mencari modul asas "pasang dan guna". Daripada mereka bentuk tapak baharu untuk setiap alat, mereka menggunakan asas ketepatan ZHHIMG piawai yang boleh disesuaikan untuk litografi, metrologi atau pengetsaan.
-
Pengurusan Terma: Memandangkan sumber cahaya EUV (Ultraviolet Ekstrem) menghasilkan haba yang sangat tinggi, tapak mesin mesti bertindak sebagai sink haba yang besar. Kami sedang mengintegrasikan saluran penyejukan kompleks terus ke dalam komponen mineral dan granit kami untuk mengekalkan delta $<0.01^\circ\text{C}$.
-
Keserasian Vakum: Dengan lebih banyak proses beralih ke persekitaran vakum tinggi, bahan yang digunakan mestilah mempunyai sifar gas keluar. Pemprosesan granit dan seramik khusus kami memastikan integriti vakum tidak akan terjejas oleh asas struktur.
Perkongsian Strategik dengan ZHHIMG
ZHHIMG bukan sekadar pengeluar komponen; kami merupakan rakan kongsi strategik dalam rantaian bekalan kawalan gerakan. Kemudahan kami di China bekerjasama rapat dengan pasukan kejuruteraan di Silicon Valley dan Eindhoven untuk menyelesaikan cabaran kestabilan yang paling sukar dalam industri.
Dengan memanfaatkan teknik lapping proprietari kami dan pemahaman mendalam kami tentangteknik redaman getaran, kami membolehkan pelanggan kami melangkaui sempadan Hukum Moore. Sama ada anda sedang membangunkan alat ALD (Pemendapan Lapisan Atom) generasi akan datang atau prob wafer berkelajuan tinggi, asasnya bermula dengan ZHHIMG.
Kesimpulan
Evolusi pembuatan semikonduktor merupakan satu perlumbaan menentang hukum fizik. Ketika industri bergerak menuju tahun 2026, tumpuan pada ketepatan galas udara dan redaman canggih akan semakin meningkat. Kekal mendahului trend ini memerlukan asas—baik secara literal mahupun kiasan—yang dibina atas kepakaran dan inovasi.
Masa siaran: 26 Jan-2026