Dalam dunia pembuatan semikonduktor yang tepat, ujian tanpa musnah wafer merupakan penghubung utama untuk memastikan kualiti cip. Tapak granit yang nampaknya tidak penting sebenarnya merupakan "wira yang tidak didendang" yang menentukan ketepatan pengesanan. Bagaimanakah ia mempengaruhi keputusan ujian? Artikel ini akan menjalankan analisis mendalam daripada dimensi seperti sifat bahan dan reka bentuk struktur.
1. Asas yang Stabil: Kelebihan semula jadi granit meletakkan asas yang kukuh untuk ketepatan
1. Prestasi seismik yang sangat baik
Semasa operasi peralatan ujian tanpa pemusnah wafer, putaran motor dan pergerakan komponen mekanikal akan menghasilkan getaran. Jika getaran ini tidak dikawal dengan berkesan, ia akan mengganggu ketepatan ujian dengan serius. Bahagian dalam granit berjalin rapat dengan kristal mineral seperti kuarza dan feldspar. Struktur uniknya memberikannya kapasiti penyerapan getaran semula jadi, yang mampu menyerap lebih 90% tenaga getaran peralatan. Data pengukuran sebenar pengeluar semikonduktor tertentu menunjukkan bahawa selepas menggunakan asas granit, amplitud getaran peralatan pengesanan telah dikurangkan daripada 12μm kepada 2μm, dengan berkesan mengelakkan sisihan isyarat pengesanan yang disebabkan oleh getaran.
2. Pekali pengembangan haba yang sangat rendah
Semasa proses pengesanan, faktor-faktor seperti pemanasan peralatan dan perubahan suhu persekitaran akan mempengaruhi kestabilan tapak mesin. Bahan biasa mengembang dengan ketara apabila dipanaskan, tetapi pekali pengembangan haba granit hanya 1/5 daripada keluli. Walaupun suhu ambien berubah-ubah sebanyak 10℃, ubah bentuknya boleh diabaikan. Ini membolehkan tapak granit menyediakan platform rujukan yang stabil untuk peralatan pemeriksaan, memastikan kedudukan relatif antara prob pemeriksaan dan wafer kekal tepat sepanjang masa dan mengelakkan ralat pemeriksaan yang disebabkan oleh ubah bentuk haba.
Kedua, reka bentuk yang tepat: Pengoptimuman struktur meningkatkan lagi kebolehpercayaan pengesanan
Jaminan pemprosesan dan kerataan berketepatan tinggi
Tapak granit berkualiti tinggi diproses oleh teknologi CNC penghubung lima paksi termaju, dengan kerataan ±0.5μm/m, memberikan rujukan pemasangan ultra rata untuk peralatan pemeriksaan. Dalam pemeriksaan wafer, ketegakkan dan kerataan prob pemeriksaan adalah penting untuk keputusan pemeriksaan. Tapak granit berketepatan tinggi dapat memastikan kedudukan prob yang tepat, menjadikan data pemeriksaan lebih tepat dan andal.
2. Penyesuaian struktur tersuai
Tapak mesin granit boleh disesuaikan untuk peralatan ujian dan keperluan proses wafer yang tidak merosakkan yang berbeza. Contohnya, untuk memenuhi keperluan peralatan pemeriksaan optik untuk pantulan cahaya, permukaan tapak mesin boleh dirawat khas; Untuk memenuhi keperluan pemasangan peralatan ujian ultrasonik, tapak boleh dibuat pasang siap dengan lubang pemasangan dan dulang kabel yang tepat, membolehkan pemasangan peralatan yang cepat dan tepat serta mengurangkan sisihan pengesanan yang disebabkan oleh ralat pemasangan.
III. Kestabilan jangka panjang: Mengurangkan kehilangan ketepatan yang disebabkan oleh penyelenggaraan peralatan
Granit mempunyai kekerasan yang tinggi dan rintangan haus yang kuat, dengan kekerasan Mohs 6 hingga 7, iaitu tiga kali ganda rintangan haus keluli biasa. Semasa operasi pemeriksaan jangka panjang, permukaan tapak mesin tidak mudah haus dan sentiasa boleh mengekalkan keadaan ketepatan yang baik. Sebaliknya, tapak yang diperbuat daripada bahan lain boleh menyebabkan perubahan dalam rujukan pemasangan peralatan akibat haus dan lusuh, sekali gus menjejaskan ketepatan pengesanan dan memerlukan penentukuran dan penyelenggaraan yang kerap. Hayat perkhidmatan yang panjang dan kestabilan tapak granit yang tinggi berkesan mengurangkan kekerapan penyelenggaraan peralatan dan mengurangkan risiko kehilangan ketepatan yang mungkin berlaku semasa proses penyelenggaraan.
Daripada rintangan hentakan, rintangan haba hinggalah reka bentuk yang tepat, setiap ciri asas granit melindungi ketepatan ujian wafer tanpa pemusnah. Dalam era pembuatan semikonduktor hari ini yang mengejar ketepatan tertinggi, memilih asas granit berkualiti tinggi adalah seperti menambah lapisan insurans yang kukuh kepada ketepatan dan kebolehpercayaan keputusan ujian.
Masa siaran: 18 Jun 2025