Dalam bidang pembuatan semikonduktor, ketepatan adalah segalanya. Ketika teknologi pembuatan cip terus maju ke tahap nanometer dan bahkan tahap nanometer, sebarang ralat kecil boleh menyebabkan penurunan prestasi cip atau kegagalan sepenuhnya. Dalam persaingan untuk ketepatan muktamad ini, aksesori ketepatan granit, dengan sifat fizikal dan mekanikalnya yang unik, telah menjadi elemen utama dalam memastikan ketepatan nano pengeluaran cip.
Kestabilan yang luar biasa meletakkan asas untuk ketepatan
Persekitaran dalam bengkel pembuatan semikonduktor adalah kompleks, dan faktor luaran seperti getaran dan perubahan suhu sentiasa mengancam ketepatan pengeluaran. Aksesori ketepatan granit mempunyai kestabilan yang sangat tinggi, menyediakan asas yang kukuh untuk pengeluaran cip. Struktur dalamannya padat dan seragam, terbentuk melalui proses geologi selama ratusan juta tahun, dan ia mempunyai ciri redaman semula jadi yang tinggi. Apabila getaran luaran dihantar ke peralatan pengeluaran, bahagian ketepatan granit boleh menyerap dan melemahkan lebih 80% tenaga getaran dengan berkesan, sekali gus mengurangkan kesan getaran pada peralatan ketepatan dengan ketara.
Ciri ini amat penting dalam proses fotolitografi. Fotolitografi merupakan langkah penting dalam memindahkan corak reka bentuk cip ke atas wafer silikon, yang memerlukan meja kerja mesin fotolitografi mengekalkan kestabilan yang sangat tinggi. Meja kerja jitu granit boleh mengasingkan gangguan getaran daripada lantai bengkel dan peralatan lain, memastikan ralat kedudukan relatif antara wafer silikon dan topeng fotolitografi dikawal pada tahap nanometer semasa proses pendedahan mesin fotolitografi, sekali gus menjamin pemindahan corak yang tepat.
Di samping itu, pekali pengembangan haba granit adalah sangat rendah, biasanya antara 5 hingga 7×10⁻⁶/℃. Semasa proses pembuatan semikonduktor, haba yang dihasilkan oleh operasi peralatan dan turun naik suhu persekitaran bengkel boleh menyebabkan ubah bentuk haba bahan. Aksesori ketepatan granit hampir tidak terjejas oleh perubahan suhu dan sentiasa boleh mengekalkan dimensi dan bentuk yang stabil. Contohnya, dalam proses pengukiran cip, walaupun sedikit perubahan suhu boleh menyebabkan pengembangan haba komponen utama peralatan pengukiran, mengakibatkan sisihan dalam kedalaman dan ketepatan pengukiran. Walau bagaimanapun, menggunakan aksesori ketepatan granit sebagai komponen sokongan dan galas beban boleh mencegah situasi ini daripada berlaku dengan berkesan, memastikan ketepatan dan konsistensi proses pengukiran yang tinggi.
Kelebihan pemprosesan dan kualiti permukaan yang berketepatan tinggi
Teknologi pemprosesan ketepatan tinggi bahagian granit juga merupakan faktor penting dalam memastikan ketepatan pengeluaran cip. Melalui teknologi pemprosesan ultra-ketepatan yang canggih, kerataan permukaan, kelurusan dan petunjuk ketepatan lain aksesori granit boleh mencapai tahap yang sangat tinggi. Contohnya, dengan menggunakan teknik pengisaran dan penggilapan CNC, kekasaran permukaan granit boleh dikurangkan ke tahap nanometer, menjadikan kemasan permukaan menghampiri kesan seperti cermin.
Dalam peralatan pembuatan cip, kualiti permukaan komponen yang berketepatan tinggi seperti rel panduan dan gelangsar ketepatan granit dapat mengurangkan geseran dan haus antara bahagian yang bergerak dengan ketara. Ini bukan sahaja meningkatkan kestabilan dan ketepatan pergerakan peralatan, tetapi juga memanjangkan hayat perkhidmatan peralatan tersebut. Ambil peralatan pembungkusan cip sebagai contoh. Rel panduan granit yang tepat dapat memastikan bahawa ralat trajektori pergerakan kepala pembungkusan semasa mengambil dan meletakkan cip dikawal pada tahap mikrometer atau nanometer, sekali gus mencapai penjajaran yang tepat dan sambungan yang boleh dipercayai antara cip dan substrat pembungkusan.
Anti-haus dan kestabilan jangka panjang
Pembuatan semikonduktor merupakan proses pengeluaran yang berterusan dan jangka panjang, dan peralatan tersebut perlu beroperasi secara stabil untuk jangka masa yang lama. Granit mempunyai rintangan haus yang sangat baik, dengan kekerasan Mohs 6 hingga 7, mampu menahan pergerakan dan beban mekanikal jangka panjang. Dalam operasi harian peralatan pembuatan cip, bahagian ketepatan granit tidak mudah haus dan lusuh dan sentiasa boleh mengekalkan prestasi dan ketepatan yang stabil.
Berbanding dengan bahan lain, granit tidak mengalami ubah bentuk lesu atau penurunan prestasi semasa penggunaan jangka panjang. Ini bermakna peralatan pengeluaran cip yang menggunakan komponen ketepatan granit masih boleh mengekalkan ketepatan dan kestabilan yang tinggi selepas operasi jangka panjang, sekali gus mengurangkan kadar kecacatan produk yang disebabkan oleh penurunan ketepatan peralatan dengan berkesan. Bagi pengeluar semikonduktor, ini bukan sahaja meningkatkan kecekapan pengeluaran tetapi juga mengurangkan kos pengeluaran.
Kesimpulan
Dalam usaha mencapai ketepatan nano dalam pembuatan semikonduktor, bahagian ketepatan granit memainkan peranan yang tidak tergantikan dengan kestabilan, pemprosesan ketepatan tinggi dan kebolehpercayaan jangka panjang yang luar biasa. Daripada fotolitografi kepada pengukiran, daripada pembungkusan cip kepada pengujian, aksesori ketepatan granit melalui setiap pautan utama dalam pengeluaran cip, memberikan jaminan kukuh untuk pembuatan cip ketepatan tinggi. Dengan perkembangan berterusan teknologi semikonduktor, keperluan untuk ketepatan akan menjadi semakin tinggi. Bahagian ketepatan granit juga akan terus memainkan peranan penting dalam bidang ini, membantu industri semikonduktor untuk sentiasa mencapai tahap baharu. Sama ada sekarang atau pada masa hadapan, bahagian ketepatan granit akan sentiasa menjadi teras utama yang memastikan ketepatan tahap nanometer dalam pembuatan semikonduktor.
Masa siaran: 07-Mei-2025