Dalam bidang pembuatan mewah dan penyelidikan saintifik canggih, modul gerakan ultra-ketepatan apungan udara telah menjadi peralatan utama untuk operasi dan pengukuran halus dengan prestasi ketepatannya yang sangat baik. Tapak ketepatan granit, sebagai teras sokongan, mempunyai keperluan ketat untuk persekitaran kerja, dan keadaan persekitaran yang sesuai adalah asas untuk memastikan prestasinya yang stabil dan kesan terbaik.
Pertama, kawalan suhu: "penstabil" ketepatan
Walaupun granit dikenali kerana kestabilannya, ia tidak sepenuhnya kebal terhadap perubahan suhu. Walaupun pekali pengembangan habanya rendah, secara amnya 5-7 ×10⁻⁶/℃, dalam senario kawalan gerakan ultra-ketepatan, turun naik suhu yang halus masih boleh menyebabkan perubahan dimensi dan menjejaskan ketepatan modul. Dalam bengkel pembuatan cip semikonduktor, proses litografi memerlukan ketepatan kedudukan tahap danami, dan suhu ambien turun naik sebanyak 1°C, dan tapak granit dengan panjang sisi 1 meter boleh menghasilkan pengembangan atau pengecutan linear sebanyak 5-7 mikron. Perubahan kecil ini dihantar oleh modul gerakan ultra-ketepatan apungan udara, yang cukup untuk membuat sisihan corak litografi cip dan mengurangkan hasil dengan ketara. Oleh itu, dilengkapi dengan asas ketepatan granit modul gerakan ultra-ketepatan terapung udara, suhu persekitaran kerja yang ideal harus dikawal pada 20 ° C ± 1 ° C, dengan bantuan peralatan suhu malar ketepatan tinggi, seperti sistem penyaman udara suhu dan kelembapan malar, pemantauan berterusan dan pelarasan suhu ambien, untuk memastikan turun naik suhu dalam julat yang sangat kecil, mengekalkan kestabilan saiz asas, untuk memastikan modul beroperasi dengan ketepatan tinggi.
Kedua, pengurusan kelembapan: kunci kepada perlindungan kalis lembapan "batu"
Kelembapan merupakan satu lagi faktor penting yang mempengaruhi prestasi asas granit jitu. Dalam persekitaran kelembapan yang tinggi, granit mudah menyerap wap air, yang boleh menyebabkan pemeluwapan pada permukaan, yang bukan sahaja menjejaskan kestabilan sambungan granit dan modul gerakan ultra-jitu apungan udara, tetapi juga boleh menyebabkan hakisan permukaan dan mengurangkan kilauan dan ketepatan dalam jangka masa panjang. Dalam bengkel pengisaran kanta optik, jika kelembapan lebih tinggi daripada 60%RH untuk jangka masa yang lama, wap air yang terserap pada permukaan asas granit akan mengganggu pergerakan gelangsar apungan gas, supaya ketepatan pengisaran kanta berkurangan, dan permukaannya cacat. Oleh itu, kelembapan relatif persekitaran kerja harus dikawal ketat antara 40%-60%RH, yang boleh dipantau dan diselaraskan dalam masa nyata dengan memasang penyahlembap, sensor kelembapan dan peralatan lain untuk mengelakkan kerosakan pada asas granit akibat kelembapan yang tinggi, dan memastikan operasi modul gerakan ultra-jitu apungan udara yang lancar.
Ketiga, jaminan kebersihan: "penjaga" ketepatan
Kemudaratan zarah habuk terhadap asas granit jitu modul gerakan ultra-jitu pengapungan udara tidak boleh dipandang remeh. Sebaik sahaja zarah-zarah kecil memasuki jurang filem gas antara gelangsar apungan gas dan asas granit, ia boleh memusnahkan keseragaman filem gas, meningkatkan geseran, malah menggaru permukaan asas, mengakibatkan ketepatan pergerakan yang berkurangan. Dalam bengkel pemesinan ultra-jitu bahagian aeroangkasa, jika zarah habuk di udara jatuh ke atas asas granit, trajektori gerakan alat pemesinan mungkin menyimpang, menjejaskan ketepatan pemesinan bahagian. Oleh itu, kawasan kerja harus dijaga kebersihannya, mencapai 10,000 atau lebih tahap piawaian kebersihan, melalui pemasangan peralatan penulenan udara, seperti penapis udara kecekapan tinggi (HEPA), menapis zarah habuk di udara, pada masa yang sama, kakitangan perlu memakai pakaian bebas habuk, penutup kasut, dan sebagainya, untuk mengurangkan habuk yang dibawa oleh manusia. Mengekalkan persekitaran operasi ketepatan tinggi asas granit dan modul gerakan ultra-jitu apungan udara.
Empat, pengasingan getaran: operasi lancar "pad kejutan"
Getaran luaran adalah musuh ketepatan modul gerakan ultra-ketepatan apungan udara. Walaupun tapak granit ketepatan mempunyai keupayaan pelemahan getaran tertentu, getaran kekuatan tinggi masih boleh melanggar had penimbalnya. Getaran yang dihasilkan oleh lalu lintas di sekitar kilang dan operasi peralatan mekanikal yang besar dihantar ke tapak granit melalui tanah, yang akan mengganggu ketepatan gerakan modul gerakan ultra-ketepatan apungan udara. Dalam CMM mewah, getaran boleh menyebabkan sentuhan antara prob pengukur dan bahan kerja yang diukur menjadi tidak stabil, mengakibatkan sisihan data pengukuran. Untuk menyelesaikan masalah ini, adalah perlu untuk menerima pakai langkah pengasingan getaran yang berkesan, seperti meletakkan pad pengasingan getaran di kawasan pemasangan peralatan, membina asas pengasingan getaran, atau menggunakan sistem pengasingan getaran aktif untuk mengimbangi getaran luaran secara aktif, dan mewujudkan persekitaran kerja yang tenang dan stabil untuk tapak ketepatan granit dan modul gerakan ultra-ketepatan apungan udara.
Hanya dengan memenuhi sepenuhnya keperluan persekitaran suhu, kelembapan, kebersihan dan kawalan getaran, tapak ketepatan granit modul gerakan ultra-ketepatan apungan udara dapat memainkan peranan sepenuhnya terhadap kelebihan prestasinya, memberikan jaminan yang boleh dipercayai untuk operasi ultra-ketepatan dalam pelbagai bidang, dan membantu industri bergerak ke arah tahap pembuatan dan penyelidikan saintifik yang lebih tepat.
Masa siaran: 08-Apr-2025