Dalam bidang pembuatan jitu dan penyelidikan saintifik, kerataan platform jitu granit merupakan petunjuk utama untuk memastikan ketepatan peralatan. Berikut ialah pengenalan terperinci kepada beberapa kaedah pengesanan arus perdana dan prosedur operasinya untuk anda.
I. Kaedah pengesanan interferometer laser
Interferometer laser merupakan alat pilihan untuk pengesanan kerataan berketepatan tinggi. Ambil interferometer laser ZYGO GPI XP sebagai contoh, resolusinya boleh mencapai 0.1nm. Semasa menjalankan pengesanan, jajarkan sumber cahaya interferometer dengan platform terlebih dahulu dan bahagikan permukaan platform kepada kawasan grid 50mm×50mm. Seterusnya, data pinggir gangguan dikumpulkan titik demi titik, dan data dipasang dan dianalisis menggunakan polinomial Zernike untuk mendapatkan ralat kerataan. Kaedah ini boleh digunakan untuk platform berketepatan tinggi dan boleh mengesan ralat kerataan ≤0.5μm/m². Ia biasanya digunakan dalam pengesanan mesin fotolitografi dan platform mesin pengukur tiga koordinat mewah.
II. Kaedah Tatasusunan Aras Elektronik
Pengesanan tatasusunan aras elektronik mudah dikendalikan dan sangat cekap. Aras elektronik TESA A2 (dengan resolusi 0.01μm/m) telah dipilih dan disusun dalam tatasusunan 9×9 di sepanjang arah paksi X/Y platform. Dengan mengumpul data kecondongan setiap aras secara serentak dan kemudian menggunakan kaedah kuasa dua terkecil untuk pengiraan, nilai kerataan boleh diperoleh dengan tepat. Kaedah ini boleh mengenal pasti keadaan cekung dan cembung setempat platform dengan berkesan. Contohnya, turun naik 0.2μm dalam julat 50mm juga boleh dikesan, yang sesuai untuk pengesanan pantas dalam pengeluaran besar-besaran.
III. Kaedah Kristal Rata Optik
Kaedah kristal rata optik sesuai untuk pengesanan platform kawasan kecil. Lekatkan kristal rata optik dengan ketat pada permukaan yang akan diuji pada platform dan perhatikan pinggiran gangguan yang terbentuk di antara mereka di bawah pencahayaan sumber cahaya monokromatik (seperti lampu natrium). Jika jalur tersebut merupakan jalur lurus selari, ia menunjukkan kerataan yang baik. Jika jalur melengkung muncul, kirakan ralat kerataan berdasarkan tahap kelengkungan jalur. Setiap jalur melengkung mewakili perbezaan ketinggian 0.316μm, dan data kerataan boleh diperoleh melalui penukaran mudah.
Empat. Kaedah pemeriksaan Mesin Pengukur tiga koordinat
Mesin pengukur tiga koordinat boleh mencapai pengukuran ketepatan tinggi dalam ruang tiga dimensi. Letakkan platform granit di atas meja kerja mesin pengukur dan gunakan prob untuk mengumpul data secara seragam daripada pelbagai titik pengukuran pada permukaan platform. Sistem mesin pengukur memproses dan menganalisis data ini untuk menghasilkan laporan kerataan platform. Kaedah ini bukan sahaja boleh mengesan kerataan, tetapi juga mendapatkan parameter geometri platform yang lain secara serentak, dan sesuai untuk pengesanan komprehensif platform granit yang besar.
Menguasai kaedah pengesanan ini dapat membantu anda menilai kerataan platform ketepatan granit dengan tepat dan memberikan jaminan yang andal untuk operasi peralatan ketepatan yang stabil.
Masa siaran: 29 Mei 2025