Dalam usaha mencapai generasi pembuatan semikonduktor dan metrologi sub-mikron yang seterusnya, "asas" dan "laluan" adalah dua pembolehubah yang paling kritikal. Ketika pereka mesin berusaha untuk daya pemprosesan yang lebih tinggi dan kebolehulangan tahap nanometer, pilihan antara apanduan galas udara granitdan panduan galas penggelek tradisional telah menjadi keputusan kejuruteraan yang penting. Tambahan pula, bahan tapak mesin itu sendiri—membandingkan granit dan seramik berprestasi tinggi—menentukan had terma dan getaran keseluruhan sistem.
Membandingkan Panduan Galas Udara Granit dan Panduan Galas Penggelek
Perbezaan asas antara kedua-dua sistem ini terletak pada kaedah mereka menyokong beban dan menguruskan geseran.
Panduan Galas Udara Granitmewakili puncak gerakan tanpa geseran. Dengan menggunakan filem nipis udara termampat—biasanya antara 5 hingga 20 mikron—gerabak yang bergerak secara literalnya terapung di atas rel panduan granit.
-
Sifar Geseran dan Haus:Oleh kerana tiada sentuhan fizikal, tiada "geseran statik" yang perlu diatasi, dan sistem tidak pernah haus. Ini membolehkan pengimbasan halaju malar yang sangat lancar.
-
Purata Ralat:Salah satu kelebihan galas udara yang paling ketara ialah keupayaannya untuk "menganggap purata" ketidakteraturan kemasan permukaan mikroskopik rel granit, yang membawa kepada gerakan yang lebih lurus daripada rel itu sendiri.
-
Kebersihan:Tanpa memerlukan pelinciran, panduan ini sememangnya serasi dengan bilik bersih, menjadikannya standard untuk pemeriksaan wafer dan pengeluaran paparan panel rata.
Panduan Galas Penggelek, sebaliknya, bergantung pada sentuhan fizikal penggelek atau bola keluli berketepatan tinggi.
-
Kapasiti Beban Superior:Bagi aplikasi yang melibatkan muatan berat atau daya pemotongan yang tinggi (seperti pengisaran jitu), galas penggelek menawarkan kekakuan dan kapasiti galas beban yang jauh lebih tinggi.
-
Kesederhanaan Operasi:Tidak seperti galas udara, yang memerlukan bekalan udara termampat dan sistem penapisan yang berterusan dan ultra bersih, galas penggelek adalah "pasang dan guna".
-
Reka Bentuk Kompak:Galas mekanikal selalunya boleh menyokong beban yang lebih tinggi dalam jejak yang lebih kecil berbanding luas permukaan yang lebih besar yang diperlukan untuk pad galas udara yang berkesan.
Walaupun galas penggelek kukuh dan kos efektif untuk ketepatan umum, galas udara adalah pilihan yang tidak boleh dirundingkan untuk aplikasi di mana "sentuhan" adalah musuh ketepatan.
Aplikasi Panduan Galas Udara: Di Mana Ketepatan Bertemu Kebendairan
Penggunaan panduan galas udara telah berkembang melangkaui makmal kepada pengeluaran perindustrian volum tinggi.
DalamIndustri Semikonduktor, galas udara digunakan dalam litografi dan probing wafer. Keupayaan untuk bergerak pada kelajuan tinggi dengan getaran sifar memastikan bahawa proses pengimbasan tidak memperkenalkan artifak ke dalam litar skala nanometer.
In Pengimejan Digital dan Pengimbasan Format Besar, halaju malar galas udara adalah penting. Sebarang "cogging" atau getaran daripada galas mekanikal akan mengakibatkan "jalur" atau herotan dalam imej resolusi tinggi akhir.
Mesin Pengukur Koordinat (CMM)bergantung pada panduan galas udara granit untuk memastikan prob boleh bergerak dengan sentuhan yang paling ringan. Kekurangan geseran membolehkan sistem kawalan mesin bertindak balas serta-merta terhadap perubahan permukaan yang paling kecil pada bahagian yang diukur.
Asas Bahan: Granit vs. Seramik untuk Tapak Mesin
Prestasi mana-mana sistem panduan adalah terhad oleh kestabilan tapak yang dipasang. Selama beberapa dekad, granit telah menjadi standard industri, tetapi seramik canggih (seperti Alumina atau Silikon Karbida) sedang mengukir niche dalam aplikasi berprestasi ekstrem.
Tapak Mesin Granitkekal sebagai pilihan utama untuk 90% aplikasi ketepatan tinggi.
-
Sifat Redaman:Granit secara semula jadi unggul dalam menyerap getaran frekuensi tinggi, yang penting untuk metrologi.
-
Keberkesanan Kos:Untuk tapak berskala besar (sehingga beberapa meter), granit jauh lebih menjimatkan untuk diperoleh dan diproses berbanding seramik teknikal.
-
Inersia Terma:Jisim granit yang tinggi bermakna ia bertindak balas secara perlahan terhadap perubahan suhu ambien, menyediakan persekitaran yang stabil untuk pengukuran jangka masa panjang.
Tapak Mesin Seramik(khususnya Alumina) digunakan apabila prestasi "muktamad" diperlukan.
-
Nisbah Kekakuan-ke-Berat yang Tinggi:Seramik jauh lebih keras daripada granit untuk berat yang sama. Ini membolehkan pecutan dan nyahpecutan yang lebih tinggi pada peringkat bergerak tanpa mengubah bentuk tapak.
-
Kestabilan Terma Ekstrem:Sesetengah seramik mempunyai pekali pengembangan haba (CTE) yang lebih rendah daripada granit, dan kekonduksian habanya yang lebih tinggi membolehkan tapak mencapai keseimbangan terma dengan lebih cepat.
-
Kekerasan:Seramik hampir kalis calar dan tahan terhadap hakisan kimia, walaupun ia lebih rapuh dan jauh lebih mahal untuk dihasilkan dalam format yang besar.
Komitmen ZHHIMG terhadap Sains Bahan
Di ZHHIMG, kami percaya bahawa penyelesaian terbaik jarang sekali merupakan pendekatan satu saiz untuk semua. Pasukan kejuruteraan kami pakar dalam penyepaduan hibrid teknologi ini. Kami sering menggunakan jisim peredam getaran tapak granit untuk menyokong gerakan tanpa geseran panduan galas udara, kadangkala menggabungkan sisipan seramik pada titik haus tinggi atau kekakuan tinggi yang kritikal.
Sebagai pengeluar terkemuka, kami menyediakan pasaran global dengan kepastian geologi granit gred premium dan kecanggihan teknikal sistem gerakan moden. Kemudahan pembuatan kami menggabungkan kepakaran lapping tangan tradisional—kemahiran yang diperlukan untuk mencapai kerataan yang diperlukan untuk galas udara—dengan pemesinan CNC yang canggih dan interferometri laser.
Kesimpulan: Merekayasa Kejayaan Anda
Pilihan antara granit dan seramik, atau antara galas udara dan mekanikal, akhirnya menentukan had operasi teknologi anda. Bagi jurutera dalam sektor aeroangkasa, semikonduktor dan metrologi, memahami keseimbangan ini adalah kunci kepada inovasi. ZHHIMG Group terus mendorong sempadan apa yang mungkin dalam gerakan tepat, memastikan mesin anda berdiri di atas asas kestabilan mutlak dan bergerak dengan ketepatan yang tiada tandingan.
Masa siaran: 22 Jan-2026