Platform granit, sebagai alat rujukan untuk pengukuran dan pemprosesan yang tepat, penyelenggaraan ketepatannya secara langsung mempengaruhi kualiti pengeluaran. Berikut adalah pelan penyelenggaraan sistematik yang merangkumi kawalan alam sekitar, penyelenggaraan harian dan penentukuran profesional untuk memastikan platform mengekalkan ketepatan tahap nanometer untuk jangka masa yang lama.
1. Kawalan Alam Sekitar: Bina penghalang perlindungan ketepatan
Pengurusan suhu dan kelembapan
Suhu persekitaran kerja perlu distabilkan pada 20±1℃. Setiap turun naik 1℃ akan menyebabkan ubah bentuk haba platform granit pada 0.5-1μm/m. Sistem suhu malar boleh dipasang di bengkel untuk mengelakkan saluran keluar penghawa dingin daripada bertiup terus ke platform.
Kelembapan perlu dikawal antara 40% dan 60%. Kelembapan yang berlebihan boleh menyebabkan karat pada bahagian logam dengan mudah, manakala kelembapan yang terlalu rendah boleh menyebabkan gangguan elektrik statik dalam pengukuran.
Pengasingan getaran
Platform tersebut hendaklah dijauhkan daripada sumber getaran seperti mesin pengecap dan mesin penggilingan. Adalah disyorkan untuk mengekalkan jarak lebih daripada 3 meter dari peralatan getaran.
Jika getaran tidak dapat dielakkan, penyerap hentakan spring udara boleh dipasang di bahagian bawah platform untuk mengurangkan kesan getaran persekitaran terhadap kerataan platform (yang boleh mengurangkan getaran luaran sebanyak lebih daripada 80%).
2. Penyelenggaraan Harian: Kawalan teliti daripada pembersihan hingga perlindungan
Spesifikasi pembersihan permukaan
Penyingkiran habuk: Lap permukaan dengan kulit rusa atau kain bebas habuk ke arah yang sama setiap hari untuk mengelakkan zarah habuk (≥5μm) daripada menggaru platform. Noda degil boleh dilap dengan lembut menggunakan etanol anhidrus (kesucian ≥99.7%). Pelarut kuat seperti aseton tidak boleh digunakan.
Penyahgris: Jika ia terkena kesan minyak, lap dengan pembersih neutral yang dicairkan, kemudian bilas dengan air ternyahion dan keringkan dengan udara untuk mengelakkan minyak mineral daripada menembusi liang-liang kecil platform.
Perlindungan beban dan perlanggaran
Kapasiti galas beban platform hendaklah dikawal dalam lingkungan 70% daripada beban yang dinilai (contohnya, untuk platform 1000kg, disyorkan agar beban tersebut ≤700kg) untuk mengelakkan ubah bentuk kekal yang disebabkan oleh beban lampau setempat.
Dilarang sama sekali untuk memukul benda kerja di atas platform. Semasa mengendalikan alat, pakai sarung tangan lembut untuk mengelakkan objek tajam daripada menggaru permukaan (calar dengan kedalaman lebih daripada 20μm akan menjejaskan pengukuran laluan cahaya yang dipantulkan).
3. Penentukuran Profesional: Teras untuk mengekalkan ketepatan secara saintifik
Tetapan kitaran penentukuran
Senario penggunaan konvensional: Kalibrasi sekali setiap suku tahun dan gunakan interferometer laser untuk mengesan kerataan (dengan ketepatan ±0.5μm/m).
Penggunaan frekuensi tinggi atau persekitaran yang keras: Penentukuran bulanan, dengan tumpuan pada pemantauan kawasan sensitif suhu (seperti tepi platform berhampiran sumber haba).
Pemprosesan selepas penentukuran
Jika sisihan kerataan ditemui (seperti > ±1μm/m), ia mesti dikisar dan dibaiki oleh juruteknik profesional menggunakan serbuk mikro W1.5. Pengisaran sendiri menggunakan kertas pasir adalah dilarang sama sekali.
Selepas penentukuran, data perlu direkodkan dan diarkibkan, dan lengkung pelemahan ketepatan platform perlu diwujudkan untuk meramalkan keperluan penyelenggaraan terlebih dahulu.
4. Penyimpanan dan Pengangkutan: Elakkan kehilangan ketepatan tersembunyi
Perkara penting untuk penyimpanan jangka panjang
Semasa menyimpan, ia hendaklah ditutup dengan penutup kalis lembapan dan kalis habuk. Bahagian bawah hendaklah disokong oleh tiga titik (titik sokongan terletak pada 2/9 daripada panjang platform) untuk mengelakkan ubah bentuk lenturan yang disebabkan oleh graviti (platform 1 meter mungkin kendur sebanyak 0.3μm disebabkan oleh sokongan titik tunggal jangka panjang).
Gerakkan kedudukan titik sokongan platform secara berkala (bulanan) untuk mengelakkan tekanan tempatan jangka panjang.
Pelan perlindungan pengangkutan
Pengangkutan jarak dekat: Balut dengan busa penyerap hentakan, pasangkan dalam bingkai tegar, dan pastikan pecutan dalam lingkungan 2g.
Pengangkutan jarak jauh: Ia perlu dibungkus vakum dan diisi dengan nitrogen kering. Selepas tiba, ia perlu dibiarkan selama 24 jam sehingga suhu mencapai keseimbangan sebelum dibuka untuk mengelakkan air pemeluwapan daripada menjejaskan ketepatan.
5. Ramalan Kerosakan: Teknik untuk Mengenal Pasti Masalah Awal
Pemeriksaan visual: Perhatikan permukaan secara berkala dengan kanta pembesar 40x. Jika terdapat calar berterusan atau penurunan kilauan yang ketara, ia mungkin menunjukkan penurunan ketepatan.
Pengesanan bunyi: Ketuk platform perlahan-lahan. Jika bunyi menjadi serak (biasanya ia sepatutnya bunyi yang jelas), mungkin terdapat rekahan mikro di dalamnya. Hentikan penggunaannya dengan segera untuk pengesanan.
Melalui sistem penyelenggaraan ini, platform granit ZHHIMG® dapat mengekalkan kerataan ±1μm/m selama 10 tahun, iaitu lebih daripada tiga kali ganda lebih lama daripada jangka hayat ketepatan platform yang tidak diselenggara dengan betul. Amalan telah membuktikan bahawa selepas kilang semikonduktor tertentu menerima pakai penyelesaian ini, kekerapan penentukuran platform dikurangkan sebanyak 50%, dan kos penyelenggaraan tahunan dijimatkan lebih daripada 150,000 yuan.
Masa siaran: 18 Jun 2025