Pertama, kelebihan asas granit
Ketegaran tinggi dan ubah bentuk haba yang rendah
Ketumpatan granit adalah tinggi (kira-kira 2.6-2.8 g/cm³), dan modulus Young boleh mencapai 50-100 GPa, jauh melebihi bahan logam biasa. Ketegaran yang tinggi ini berkesan dapat menghalang getaran luaran dan ubah bentuk beban, dan memastikan kerataan panduan apungan udara. Pada masa yang sama, pekali pengembangan linear granit adalah sangat rendah (kira-kira 5×10⁻⁶/℃), hanya 1/3 daripada aloi aluminium, hampir tiada ubah bentuk haba dalam persekitaran turun naik suhu, terutamanya sesuai untuk makmal suhu malar atau pemandangan perindustrian dengan perbezaan suhu yang besar antara siang dan malam.
Prestasi redaman yang sangat baik
Struktur polikristalin granit menjadikannya mempunyai ciri-ciri redaman semula jadi, dan masa pelemahan getaran adalah 3-5 kali lebih cepat daripada keluli. Dalam proses pemesinan jitu, ia boleh menyerap getaran frekuensi tinggi seperti permulaan dan pemberhentian motor, pemotongan alat dengan berkesan, dan mengelakkan pengaruh resonans pada ketepatan kedudukan platform bergerak (nilai tipikal sehingga ±0.1μm).
Kestabilan dimensi jangka panjang
Selepas ratusan juta tahun proses geologi membentuk granit, tegasan dalamannya telah dilepaskan sepenuhnya, tidak seperti bahan logam akibat tegasan baki yang disebabkan oleh ubah bentuk perlahan. Data eksperimen menunjukkan bahawa perubahan saiz asas granit adalah kurang daripada 1μm/m dalam tempoh 10 tahun, yang jauh lebih baik daripada struktur besi tuang atau keluli yang dikimpal.
Tahan kakisan dan bebas penyelenggaraan
Granit mempunyai toleransi yang kuat terhadap asid dan alkali, minyak, kelembapan dan faktor persekitaran lain, tidak perlu menyalut lapisan anti karat sekerap asas logam. Selepas pengisaran dan penggilapan, kekasaran permukaan boleh mencapai Ra 0.2μm atau kurang, yang boleh digunakan secara langsung sebagai permukaan galas rel panduan apungan udara untuk mengurangkan ralat pemasangan.
Kedua, batasan asas granit
Kesukaran pemprosesan dan masalah kos
Granit mempunyai kekerasan Mohs 6-7, memerlukan penggunaan alat berlian untuk pengisaran tepat, kecekapan pemprosesan hanya 1/5 daripada bahan logam. Struktur alur dovetail yang kompleks, lubang berulir dan ciri-ciri lain kos pemprosesan adalah tinggi, dan kitaran pemprosesan adalah panjang (contohnya, pemprosesan platform 2m × 1m mengambil masa lebih daripada 200 jam), mengakibatkan kos keseluruhan adalah 30% -50% lebih tinggi daripada platform aloi aluminium.
Risiko patah rapuh
Walaupun kekuatan mampatan boleh mencapai 200-300MPa, kekuatan tegangan granit hanya 1/10 daripadanya. Retakan rapuh mudah berlaku di bawah beban impak yang melampau, dan kerosakannya sukar dibaiki. Adalah perlu untuk mengelakkan kepekatan tegasan melalui reka bentuk struktur, seperti menggunakan peralihan sudut bulat, meningkatkan bilangan titik sokongan, dan sebagainya.
Berat membawa batasan sistem
Ketumpatan granit adalah 2.5 kali ganda daripada aloi aluminium, mengakibatkan peningkatan ketara dalam berat keseluruhan platform. Ini meletakkan keperluan yang lebih tinggi pada kapasiti galas struktur sokongan, dan prestasi dinamik mungkin terjejas oleh masalah inersia dalam senario yang memerlukan pergerakan berkelajuan tinggi (seperti meja wafer litografi).
Anisotropi bahan
Taburan zarah mineral granit semula jadi adalah berarah, dan kekerasan serta pekali pengembangan haba bagi kedudukan yang berbeza adalah sedikit berbeza (kira-kira ±5%). Ini boleh menyebabkan ralat yang tidak boleh diabaikan untuk platform ultra-ketepatan (seperti kedudukan nano), yang perlu diperbaiki melalui pemilihan bahan yang ketat dan rawatan homogenisasi (seperti pengkalsinan suhu tinggi).
Sebagai komponen teras peralatan perindustrian berketepatan tinggi, platform terapung udara tekanan statik ketepatan digunakan secara meluas dalam pembuatan semikonduktor, pemprosesan optik, pengukuran ketepatan dan bidang lain. Pemilihan bahan asas secara langsung mempengaruhi kestabilan, ketepatan dan jangka hayat platform. Granit (granit semula jadi), dengan sifat fizikalnya yang unik, telah menjadi bahan popular untuk tapak platform sedemikian dalam beberapa tahun kebelakangan ini.
Masa siaran: 9-Apr-2025